过滤装置和撕金设备的制作方法

1.本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种过滤装置和撕金设备。


背景技术：

2.在半导体加工过程中，经常需要去除晶圆表面的不需要的金属，即进行撕金工艺。
3.现有技术中，撕金设备的在撕金过程中产生的金属碎屑会在晶圆旋转的离心力或冲洗液的冲击力作用下粘附在腔室的内壁面上，在设备维护时不仅需要拆除排废口的滤网还需要将腔室内壁上的金属碎屑清除，造成维护时间长，影响工艺效率。
4.因此，有必要开发一种新型过滤装置和撕金设备，以改善现有技术中存在的上述部分问题。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种过滤装置和撕金设备，能够减少撕金工艺中金属碎屑粘附在腔室侧壁。
6.为实现上述目的，本发明提供的过滤装置包括过滤件和驱动机构；所述过滤件为空心结构，所述过滤件包括侧壁和设置于所述侧壁的滤孔；所述驱动机构连接所述过滤件，以驱动所述过滤件移动。
7.本发明提供的过滤装置的有益效果在于：需要对晶圆进行撕金工艺时，所述驱动机构驱动所述过滤件移动，使空心的所述过滤件以一定距离围绕于所述晶圆的四周，当晶圆表面的大量金属碎屑被冲出或甩出晶圆时，金属碎屑会粘附在所述过滤件的侧壁上，液体从所述滤孔流出，实现金属碎屑的过滤和回收；同时，当撕金工艺完成时，所述驱动机构驱动所述过滤件返回原位，有利于避免了所述过滤件在其他工艺过程中干涉设备内的其他可活动机构的移动；此外，撕金过程中产生的金属碎屑数量多，当部分金属碎屑被粘附在所述过滤件侧壁时，从设备底部排废口排出的金属碎屑相对减少，有利于减少排废口被堵塞的风险，便于维护。
8.可选的，所述过滤件为柔性件，所述侧壁包括沿第一方向的第一端和第二端，所述第一端固定设置，所述驱动机构连接所述第二端，以驱动所述第二端沿所述第一方向或其反方向运动并使所述柔性件发生形变。其有益效果在于：由于所述过滤件可移动，当柔性件能够受力形变时，有利于需要移动的零部件的安装，刚性件在移动过程中可能发生机械干涉，柔性件相比刚性件不必预留出额外的用于移动的空间，有利于提升利用率减小设备体积。
9.可选的，所述过滤件还包括设置于所述第一端的第一支撑部和设置于所述第二端的第二支撑部，所述第一支撑部和所述第二支撑部用于保持所述过滤件两端的形状。其有益效果在于：有利于柔性的所述过滤件维持自身形状。
10.可选的，所述过滤件还包括设置于所述第一端内侧的凸出部，所述第一支撑部设置于所述凸出部。其有益效果在于：便于未粘附在所述侧壁上的金属碎屑或从所述侧壁上
脱落的金属碎屑的回收。
11.可选的，所述过滤件还包括设置于所述第一端和所述第二端之间的第三支撑部，所述第三支撑部用于保持所述过滤件中部的形状。其有益效果在于：当所述过滤件较长时，有利于柔性的所述过滤件中间部分维持自身形状。
12.可选的，所述过滤件上所述第一支撑部至所述第三支撑部之间的部分柔性大于所述第三支撑部至所述第二支撑部的部分。其有益效果在于：当所述过滤件返回至初始位置时，所述过滤件上所述第一支撑部至所述第三支撑部的部分发生形变而折叠，使所述第一支撑部与所述第三支撑部之间的距离减小，而所述第三支撑部至所述第二支撑部的之间的部分不发生变化，继续维持原本的形状，实现在清洗液冲击力不大或旋转离心力不大时收集随液体流入晶圆下方的金属碎屑。
13.可选的，所述过滤件的材料为聚丙烯、聚四氟乙烯或不锈钢。其有益效果在于：有利于减小撕金所使用的工艺药剂腐蚀所述过滤件。
14.可选的，所述过滤装置还包括第二连接件，用于连接所述第二端和所述驱动机构；所述第二连接件的上表面为阶梯形，较低的阶梯面上开设有若干通孔，所述通孔用于排出积聚在所述第二连接件上表面的液体。其有益效果在于：有利于减小撕金药剂在所述第二连接件的表面积聚。
15.可选的，所述过滤装置还包括第一连接件，用于所述第一端固定连接于外部设备；所述第一连接件的上表面具有环形凸起部，所述环形凸起部与所述凸出部之间密封连接。其有益效果在于：所述环形凸起部有利于所述第一连接件与空心的所述过滤件相互定位并连接。
16.本发明还提供了一种撕金设备，包括上述的过滤装置，能够减少撕金工艺中金属碎屑粘附在腔室侧壁，便于金属的过滤和回收。
附图说明
17.图1为本发明实施例中过滤装置的结构示意图；
18.图2为图1所示的过滤件的结构示意图；
19.图3为图2所示的过滤件的结构透视图；
20.图4为图1所示的第二连接件的结构示意图；
21.图5为图1所示的第一连接件的结构示意图。
22.附图标记：
23.1、过滤装置；101、侧壁；1021、第一支撑部；1022、第二支撑部；1023、第三支撑部；103、凸出部；2、驱动机构；3、第一连接件；301、环形凸起部；4、第二连接件；401、第一阶梯面；402、第二阶梯面；5、晶圆。
具体实施方式
24.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术
语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。
25.现有技术中，撕金设备的排废和回收金属方式是将金属碎屑连同药液一并通过排废管路排出，在排废管路的前端或末端设置过滤网进行金属碎屑的分离回收。由于滤网面积有限，大量的金属碎屑特别容易在滤网处累积并造成排废堵塞。
26.为解决现有技术存在的问题，本发明实施例提供了一种过滤装置。
27.图1为本发明实施例中过滤装置的结构示意图；图2为图1所示的过滤件的结构示意图；图3为图2所示的过滤件的结构透视图；图4为图1所示的第二连接件的结构示意图；图5为图1所示的第一连接件的结构示意图。
28.本发明一些实施例中，所述过滤装置应用于对半导体加工技术领域，对固体材料进行回收。
29.本发明一些具体实施例中，所述过滤装置应用于对晶圆5进行撕金工艺的设备中，对金属碎屑进行回收。
30.本发明一些实施例中，参照图1和图2，所述过滤装置包括过滤件1和驱动机构2；所述过滤件1为空心结构，所述过滤件1包括侧壁101和设置于所述侧壁101的滤孔(图中未示出)；所述驱动机构2连接所述过滤件1，以驱动所述过滤件1移动。
31.本发明一些实施例中，参照图1和图2，所述过滤件1为圆筒状零件，其具有图示竖直方向上的两端开口；所述过滤件1的初始位置设置于晶圆5的下方，当所述驱动机构2驱动所述过滤件1移动时，所述过滤件1沿竖直方向向上运动并移动至所述晶圆5的四周；当晶圆5旋转的离心力不强或液体对晶圆5冲击力不强时，金属碎屑随液体流动从晶圆5表面落入晶圆5下方的处于初始位置的所述过滤件1中，当晶圆5旋转的离型力强或液体对晶圆5冲击力强时，所述驱动机构2提前驱动所述过滤件1向上移动至所述晶圆5四周，此时金属碎屑受较大的作用力从所述晶圆5表面飞出并粘附在所述过滤件1的侧壁101上实现回收。
32.在本发明另一些实施例中，所述过滤件1的也可以具有水平方向上的两端开口，所述驱动机构2驱动所述过滤件1沿水平方向移动，使所述过滤件1移动至所述晶圆5的四周。
33.本发明一些实施例中，所述过滤件1为柔性件，当所述过滤件1处于初始位置时，所述第一端和所述第二端之间的部分受重力作用而折叠在一起，当所述过滤件1移动至所述晶圆5四周时，所述第一端和所述第二端之间的部分伸展并保持筒状。
34.本发明一些具体实施例中，所述过滤件1为柔性件，能够在第一方向上受力拉伸并产生弹性形变。
35.具体的，所述过滤件1可以为对聚丙烯或聚四氟乙烯大量刻孔降低其刚性后获得。
36.具体的，所述过滤件1可以为易发生形变不锈钢金属丝编织获得。
37.具体的，所述过滤件1为滤网。
38.本发明一些实施例中，参照图1和图2，所述侧壁101包括沿第一方向的第一端和第二端，即图示竖直向上方向的下端和上端，所述第一端固定设置，所述驱动机构2连接所述第二端，以驱动所述第二端沿所述第一方向或其反方向运动，即图示竖直方向运动，并使所述柔性件发生形变。
39.本发明一些实施例中，参照图2和图3，所述过滤件1还包括设置于所述第一端的第
一支撑部1021和设置于所述第二端的第二支撑部1022，所述第一支撑部1021和所述第二支撑部1022为金属环，所述金属环分别支撑于所述过滤件1的两端，使所述过滤件1在重力或拉力作用下伸展后保持筒状。
40.本发明一些实施例中，参照图1和图3，所述过滤件1还包括设置于所述第一端内侧的凸出部103，所述凸出部103为自所述第一端内侧沿水平方向的向内凸起，所述凸出部103为环形，具有内部空心，所述第一支撑部1021设置于环形的所述凸出部103的内圈位置处，所述凸出部103用于回收没有从晶圆5表面飞溅出去而是随液体流入晶圆5下方的金属碎屑和从所述过滤件1侧壁101脱落的金属碎屑。
41.本发明一些实施例中，参照图3，所述过滤件1还包括设置于所述第一端和所述第二端之间的第三支撑部1023，所述第三支撑部1023为金属环，所述第三支撑部1023用于保持所述过滤件1中部的形状。
42.本发明一些具体实施例中，所述金属环的材料为不锈钢。
43.本发明一些实施例中，参照图1和图3，所述过滤件1上第一支撑部1021至第三支撑部1023之间的部分柔性大于所述第三支撑部1023至所述第二支撑部1022的部分，以实现所述过滤件1上部分保持筒状，下部分折叠，能够根据工艺的实际需要，当没有金属碎屑从晶圆5侧面飞溅出去时，仅通过所述第三支撑部1023至所述第二支撑部1022的部分在所述晶圆5下方进行金属回收，有利于灵活调整所述过滤件1的位置，避免影响设备内其他可活动部件的移动。
44.本发明一些实施例中，参照图1、图3和图4，所述过滤装置还包括第二连接件4，用于连接所述第二端和所述驱动机构2；所述第二连接件4的上表面为阶梯形，较低的阶梯面上开设有若干通孔，所述通孔用于排出积聚在所述第二连接件4上表面的液体。
45.具体的，参照图4，所述第二连接件4环形零件，所述第二连接件4的上表面为阶梯形，所述上表面包括较高的第一阶梯面401和较低的第二阶梯面402；所述第一阶梯面401上开设若干螺纹孔用于与所述驱动机构2连接。
46.具体的，所述过滤件1的所述第二支撑部1022的外圈直径大于所述第二连接件4的所述第二阶梯面402处的内圈直径，使所述第二支撑部1022能够抵接于所述第二阶梯面402上，实现所述第二连接件4与所述过滤件1之间的相互连接。
47.具体的，参照图4，所述第一阶梯面401具有向内侧的倾斜度，所述第二阶梯面402上设置有若干通孔，积聚在所述第二连接件4上表面的液体能够通过从所述第一阶梯面401上流至所述第二阶梯面402上，并从所述通孔排出或回流。
48.本发明一些实施例中，参照图1、图3和图5，所述过滤装置还包括第一连接件3，用于所述第一端固定连接于外部设备；所述第一连接件3的上表面具有环形凸起部301，所述环形凸起部301与所述凸出部103之间密封连接。
49.一些具体实施例中，参照图1和图5，所述第一连接件3为环形零件，所述第一连接件3还包括承载部302，所述承载部302为自所述第一连接件3的外侧环面沿水平方向上向外的凸起，所述承载部302与所述过滤件1相抵接，用于承载所述过滤件1。
50.具体的，参照图1和图5，所述环形凸起部301自所述第一连接件3的上表面向上凸起，在安装过程中，所述环形凸起部301的外侧面密封连接于所述过滤件1的所述凸出部103。
51.具体的，所述过滤件1的所述第一支撑部1021的内径大于所述环形凸起部301的外径。
52.虽然在上文中详细说明了本发明的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本发明的范围和精神之内。而且，在此说明的本发明可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。