一种喷涂均匀的旋转式扫描电镜喷金装置

1.本发明涉及喷金装置技术领域，具体为一种喷涂均匀的旋转式扫描电镜喷金装置。


背景技术：

2.扫描电子显微镜是一种电子显微镜，它通过用聚焦电子束扫描表面来产生样品的图像，电子与样品中的原子相互作用，产生包含样品表面形貌和成分信息的各种信号，电子束的扫描路径形如光栅，将电子束的位置与检测信号的强度相结合即可输出图像。在最常见的sem模式下，用艾弗哈特-索恩利探测器可以检测到由电子束轰击原子所激发的二次电子，不考虑其它因素，可以检测到的二次电子数以及信号强度取决于样品形貌；样品进行扫描电镜观察前，通常需要对其表面镀一层金属膜，以便减少观察时产生的荷电，并增强二次电子或背散射电子信号，获得更好的信噪比，在对样品喷金时需要用到喷金装置，但是现有的喷金装置在使用时依旧存在着一定的缺陷。
3.现有技术中喷金装置存在的缺陷是：1、在现有的喷金装置在对样品喷金时，由于样品直接放置在喷金装置的喷金仓内，不能够对样品进行翻转和转动，不能够对样品进行全面的喷金，且降低样品喷金的效率，使得样品在后续扫描时存在一定的缺陷，不方便工作人员进行使用；2、在现有的喷金装置在对样品喷金时，由于检查样品的规格不同，喷金装置不具备相应的夹具，不能够对不同规格的样品进行夹持，工作人员对样品夹持喷金时较为麻烦，不方便工作人员进行使用；3、在现有的喷金装置在对样品喷金时，喷金装置的喷金仓密封性较差，工作人员需要将喷金仓上方的密封盖按住，以保证喷金仓在使用时的密封性，但是这样会增加工作人员的工作量，且可能由于工作人员的疏忽，导致喷金仓没有完全密封，从而降低喷金装置对样品喷金的质量，使得样品在后续扫描时存在一定的缺陷。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种喷涂均匀的旋转式扫描电镜喷金装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案，一种喷涂均匀的旋转式扫描电镜喷金装置，包括喷金仪主体，所述喷金仪主体的顶部固定安装有底座，所述底座的顶部固定安装有喷金仓，所述底座的内部转动安装有转盘，所述转盘的顶部固定安装有连接座，所述连接座的顶部滑动安装有支撑架，所述支撑架的外壁固定安装有安装盒，所述喷金仪主体的固定安装有直线电机，所述直线电机的输出端安装有连接板，所述连接板的外壁固定安装有安装台架，所述安装台架的顶部固定安装有气缸，且气缸的底端贯穿在安装台架的底部，所述气缸的底端固定安装有密封盖。
6.优选的，所述喷金仓的内侧壁固定安装有第一密封条，所述喷金仓的外壁固定安
装有第一连接盘，所述第一连接盘的顶部固定安装有第二密封条。
7.优选的，所述喷金仪主体的顶部安装有喷金头，所述喷金头的顶端贯穿在喷金仓的内部，且喷金头位于转盘的内侧，所述底座的内部固定安装有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端安装有第一转杆，所述转盘的外壁与第一转杆的外壁均安装有传动轮，两组所述传动轮的外壁连接有传动带，所述底座的内底壁固定安装有限位套，且第一转杆的底端转动连接在限位套的内侧。
8.优选的，所述连接座的顶部开设有连接槽，且支撑架的底端嵌合在连接槽的内侧，所述支撑架的底端外壁开设有限位槽，且限位槽与连接槽的内侧壁嵌合连接。
9.优选的，所述安装盒的顶部固定安装有蓝牙控制器，所述安装盒的内部固定安装有第二伺服电机，所述安装盒的内部安装有蓄电池，且蓄电池与第二伺服电机和蓝牙控制器电性连接，所述第二伺服电机的输出端安装有第二转杆，且第二转杆的顶端贯穿在安装盒的外部。
10.优选的，所述第二转杆的顶端固定连接有安装板，所述安装板的外壁开设有两组滑槽，两组所述滑槽的内部滑动安装有滑块，所述滑块的一侧外壁螺纹连接有第一紧固栓，所述滑块的另一侧外壁固定安装有支撑板，所述支撑板的外壁螺纹连接有第二紧固栓，所述支撑板的内侧滑动安装有限位板，所述限位板的内侧壁固定安装有防滑垫。
11.优选的，所述安装台架的顶部固定安装有固定板，所述固定板的顶部固定安装有气泵，所述气泵的吸气端固定连接有抽气管。
12.优选的，所述密封盖的顶部安装有固定座，且固定座与抽气管的底端固定连接，所述密封盖的内顶壁固定安装有连接套，所述密封盖的底端固定安装有第二连接盘，所述第二连接盘的底部固定安装有第三密封条。
13.优选的，该扫描电镜喷金装置的使用方法如下：s1、在扫描电镜喷金装置在使用时，将支撑架从喷金仓的内部取出，通过将两组滑块在安装板外壁两组滑槽的内部进行滑动，从而对两组支撑板之间的距离进行调整，通过限位板在支撑板的内侧进行滑动，从而对限位板的长度进行调整，在调整之后，再通过转动第二紧固栓将限位板固定住，通过限位板对样品进行夹持，再通过转动第一紧固栓将滑块固定住，保证两组限位板的稳定性，从而保证样品的稳定性，然后再将支撑架放入喷金仓的内部；s2、在样品放入喷金仓的内部之后，通过启动直线电机，直线电机运行带动安装台架进行上下移动，通过安装台架向下移动，从而带动气缸与密封盖向下移动，再通过气缸运行，气缸运行时可带动密封盖下压，使得密封盖与喷金仓的连接，通过第一连接盘与第二连接盘连接，再通过第二密封条与第三密封条连接，从而保证密封盖与喷金仓连接的密封性；s3、在对喷金仓内部的样品进行喷金时，通过启动气泵，气泵运行时通过抽气管将喷金仓的内部抽至真空，在启动喷金仪主体，喷金仪主体运行时通过喷金头对喷金仓内部的样品进行喷金；s4、在对样品进行喷金时，通过启动第一伺服电机，第一伺服电机运行通过传动轮与传动带带动转盘进行转动，通过转盘转动可带动支撑架进行转动，再启动第二伺服电机，第二伺服电机运行时通过第二转杆带动安装板进行转动，通过安装板转动可带动限位板进行转动，通过限位板与转盘纵向和横向进行转动，从而带动样品进行纵向和横向转动，从而
使得喷金头能够更加全面高效的对样品进行喷金。
14.与现有技术相比，本发明的有益效果如下：1、本发明通过启动第一伺服电机，第一伺服电机运行通过传动轮与传动带带动转盘进行转动，通过转盘转动可带动支撑架进行转动，再启动第二伺服电机，第二伺服电机运行时通过第二转杆带动安装板进行转动，通过安装板转动可带动限位板进行转动，通过限位板与转盘纵向和横向进行转动，从而带动样品进行纵向和横向转动，从而使得喷金头能够更加全面高效的对样品进行喷金。
15.2、本发明通过支撑架的底端嵌合在连接槽的内侧，再通过支撑架底端外壁的限位槽与连接槽的内侧壁嵌合连接，从而保证支撑架与连接座连接的稳定性，且方便工人员将支撑架从喷金仓的内部取出，方便工作人员对样品进行夹持，通过将两组滑块在安装板外壁两组滑槽的内部进行滑动，从而对两组支撑板之间的距离进行调整，通过限位板可对样品进行夹持，通过限位板在支撑板的内侧进行滑动，从而对限位板的长度进行调整，使得限位板能够对不同大小的样品进行夹持，方便工作人员进行使用。
16.3、本发明通过第一连接盘与第二连接盘连接，再通过第二密封条与第三密封条连接，从而保证密封盖与喷金仓连接的密封性，通过连接套嵌合在喷金仓的内侧，通过第一密封条可将连接套与喷金仓的连接处密封，通过气缸带动密封盖下压，能够使得密封盖紧密的与喷金仓连接，从而进一步保证密封盖与喷金仓连接的密封性，从而避免喷金仓在对样品喷金时，喷金仓内部漏气，从而导致样品喷金的质量降低。
附图说明
17.图1为本发明的喷金装置整体结构示意图；图2为本发明的喷金仓结构示意图；图3为本发明的底座主体结构示意图；图4为本发明的底座剖视结构示意图；图5为本发明的支撑架结构示意图；图6为本发明的限位架剖视结构示意图；图7为本发明的传动机构结构示意图；图8为本发明的密封盖底部结构示意图。
18.图中：1、喷金仪主体；2、底座；3、喷金仓；4、第一密封条；5、第一连接盘；6、第二密封条；7、喷金头；8、转盘；9、传动轮；10、第一伺服电机；11、第一转杆；12、限位套；13、传动带；14、连接座；15、连接槽；16、支撑架；17、限位槽；18、安装盒；19、蓝牙控制器；20、第二伺服电机；21、第二转杆；22、安装板；23、滑槽；24、滑块；25、第一紧固栓；26、支撑板；27、第二紧固栓；28、限位板；29、防滑垫；30、直线电机；31、连接板；32、安装台架；33、固定板；34、气泵；35、抽气管；36、气缸；37、密封盖；38、固定座；39、第二连接盘；40、第三密封条；41、连接套；42、蓄电池。
具体实施方式
19.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于
本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
20.请参阅图1至8，一种喷涂均匀的旋转式扫描电镜喷金装置；包括喷金仪主体1，喷金仪主体1的顶部固定安装有底座2，底座2的顶部固定安装有喷金仓3，喷金仪主体1的顶部安装有喷金头7，喷金头7的顶端贯穿在喷金仓3的内部，且喷金头7位于转盘8的内侧，底座2的内部固定安装有第一伺服电机10，第一伺服电机10的输出端安装有第一转杆11，转盘8的外壁与第一转杆11的外壁均安装有传动轮9，两组传动轮9的外壁连接有传动带13，底座2的内底壁固定安装有限位套12，且第一转杆11的底端转动连接在限位套12的内侧；通过底座2可给喷金仓3提供安装位置，通过喷金仪主体1与喷金头7可对喷金仓3内部的样品进行喷金，在对样品进行喷金时，通过启动第一伺服电机10，第一伺服电机10运行通过传动轮9与传动带13带动转盘8进行转动，通过转盘8转动可带动支撑架16进行转动，通过限位套12可对第一转杆11进行限位，从而使得的第一转杆11能够稳定的进行转动。
21.转盘8的顶部固定安装有连接座14，连接座14的顶部开设有连接槽15，且支撑架16的底端嵌合在连接槽15的内侧，支撑架16的底端外壁开设有限位槽17，且限位槽17与连接槽15的内侧壁嵌合连接，连接座14的顶部滑动安装有支撑架16；通过连接座14可给支撑架16提供安装位置，通过支撑架16的底端嵌合在连接槽15的内侧，再通过支撑架16底端外壁的限位槽17与连接槽15的内侧壁嵌合连接，从而保证支撑架16与连接座14连接的稳定性，且方便工人员将支撑架16从喷金仓3的内部取出，方便工作人员对样品进行夹持。
22.支撑架16的外壁固定安装有安装盒18，安装盒18的顶部固定安装有蓝牙控制器19，安装盒18的内部固定安装有第二伺服电机20，安装盒18的内部安装有蓄电池42，且蓄电池42与第二伺服电机20和蓝牙控制器19电性连接，第二伺服电机20的输出端安装有第二转杆21，且第二转杆21的顶端贯穿在安装盒18的外部，第二转杆21的顶端固定连接有安装板22，安装板22的外壁开设有两组滑槽23，两组滑槽23的内部滑动安装有滑块24，滑块24的一侧外壁螺纹连接有第一紧固栓25，滑块24的另一侧外壁固定安装有支撑板26，支撑板26的外壁螺纹连接有第二紧固栓27，支撑板26的内侧滑动安装有限位板28，限位板28的内侧壁固定安装有防滑垫29；通过将两组滑块24在安装板22外壁两组滑槽23的内部进行滑动，从而对两组支撑板26之间的距离进行调整，通过限位板28可对样品进行夹持，通过限位板28在支撑板26的内侧进行滑动，从而对限位板28的长度进行调整，使得限位板28能够对不同大小的样品进行夹持，方便工作人员进行使用，在调整之后，再通过转动第二紧固栓27将限位板28固定住，通过防滑垫29可提高限位板28对样品夹持的稳定性，再通过转动第一紧固栓25将滑块24固定住，保证两组限位板28的稳定性，从而保证样品的稳定性，通过安装盒18可给第二伺服电机20与蓄电池42提供安装位置，通过蓄电池42可给蓝牙控制器19与第二伺服电机20供电，从而使得蓝牙控制器19与第二伺服电机20能够正常的运行，通过蓝牙控制器19可使得喷金仪主体1能够无线控制第二伺服电机20运行，通过第二伺服电机20运行，第二伺服电机20运行时通过第二转杆21带动安装板22进行转动，通过安装板22转动可带动限位板28进行转动，通过限位板28转动可带动样品进行转动。
23.喷金仪主体1的固定安装有直线电机30，直线电机30的输出端安装有连接板31，连接板31的外壁固定安装有安装台架32，安装台架32的顶部固定安装有固定板33，固定板33的顶部固定安装有气泵34，气泵34的吸气端固定连接有抽气管35，安装台架32的顶部固定安装有气缸36，且气缸36的底端贯穿在安装台架32的底部，气缸36的底端固定安装有密封盖37，密封盖37的顶部安装有固定座38，且固定座38与抽气管35的底端固定连接，密封盖37的内顶壁固定安装有连接套41，密封盖37的底端固定安装有第二连接盘39，第二连接盘39的底部固定安装有第三密封条40，喷金仓3的内侧壁固定安装有第一密封条4，喷金仓3的外壁固定安装有第一连接盘5，第一连接盘5的顶部固定安装有第二密封条6，底座2的内部转动安装有转盘8；通过连接板31可给安装台架32提供安装位置，通过安装台架32可给固定板33与气缸36提供安装位置，通过安装台架32可给气泵34提供安装位置，通过启动气泵34，气泵34运行时通过抽气管35将喷金仓3的内部抽至真空，通过启动直线电机30，直线电机30运行带动安装台架32进行上下移动，通过安装台架32向下移动，从而带动气缸36与密封盖37向下移动，再通过气缸36运行，气缸36运行时可带动密封盖37下压，使得密封盖37与喷金仓3的连接，通过第一连接盘5与第二连接盘39连接，再通过第二密封条6与第三密封条40连接，通过连接套41嵌合在喷金仓3的内侧，通过第一密封条4可将连接套41与喷金仓3的连接处密封，从而保证密封盖37与喷金仓3连接的密封性，通过气缸36带动密封盖37下压，能够使得密封盖37紧密的与喷金仓3连接，从而进一步保证密封盖37与喷金仓3连接的密封性。
24.该扫描电镜喷金装置的使用方法如下：s1、在扫描电镜喷金装置在使用时，将支撑架16从喷金仓3的内部取出，通过将两组滑块24在安装板22外壁两组滑槽23的内部进行滑动，从而对两组支撑板26之间的距离进行调整，通过限位板28在支撑板26的内侧进行滑动，从而对限位板28的长度进行调整，在调整之后，再通过转动第二紧固栓27将限位板28固定住，通过限位板28对样品进行夹持，再通过转动第一紧固栓25将滑块24固定住，保证两组限位板28的稳定性，从而保证样品的稳定性，然后再将支撑架16放入喷金仓3的内部；s2、在样品放入喷金仓3的内部之后，通过启动直线电机30，直线电机30运行带动安装台架32进行上下移动，通过安装台架32向下移动，从而带动气缸36与密封盖37向下移动，再通过气缸36运行，气缸36运行时可带动密封盖37下压，使得密封盖37与喷金仓3的连接，通过第一连接盘5与第二连接盘39连接，再通过第二密封条6与第三密封条40连接，从而保证密封盖37与喷金仓3连接的密封性；s3、在对喷金仓3内部的样品进行喷金时，通过启动气泵34，气泵34运行时通过抽气管35将喷金仓3的内部抽至真空，在启动喷金仪主体1，喷金仪主体1运行时通过喷金头7对喷金仓3内部的样品进行喷金；s4、在对样品进行喷金时，通过启动第一伺服电机10，第一伺服电机10运行通过传动轮9与传动带13带动转盘8进行转动，通过转盘8转动可带动支撑架16进行转动，再启动第二伺服电机20，第二伺服电机20运行时通过第二转杆21带动安装板22进行转动，通过安装板22转动可带动限位板28进行转动，通过限位板28与转盘8纵向和横向进行转动，从而带动样品进行纵向和横向转动，从而使得喷金头7能够更加全面高效的对样品进行喷金。
25.工作原理，通过连接座14可给支撑架16提供安装位置，通过支撑架16的底端嵌合
在连接槽15的内侧，再通过支撑架16底端外壁的限位槽17与连接槽15的内侧壁嵌合连接，从而保证支撑架16与连接座14连接的稳定性，且方便工人员将支撑架16从喷金仓3的内部取出，方便工作人员对样品进行夹持，通过将两组滑块24在安装板22外壁两组滑槽23的内部进行滑动，从而对两组支撑板26之间的距离进行调整，通过限位板28可对样品进行夹持，通过限位板28在支撑板26的内侧进行滑动，从而对限位板28的长度进行调整，使得限位板28能够对不同大小的样品进行夹持，通过启动气泵34，气泵34运行时通过抽气管35将喷金仓3的内部抽至真空，通过启动直线电机30，直线电机30运行带动安装台架32进行上下移动，通过安装台架32向下移动，从而带动气缸36与密封盖37向下移动，再通过气缸36运行，气缸36运行时可带动密封盖37下压，使得密封盖37与喷金仓3的连接，通过第一连接盘5与第二连接盘39连接，再通过第二密封条6与第三密封条40连接，从而保证密封盖37与喷金仓3连接的密封性，通过底座2可给喷金仓3提供安装位置，通过喷金仪主体1与喷金头7可对喷金仓3内部的样品进行喷金，在对样品进行喷金时，通过启动第一伺服电机10，第一伺服电机10运行通过传动轮9与传动带13带动转盘8进行转动，通过转盘8转动可带动支撑架16进行转动，通过限位套12可对第一转杆11进行限位，从而使得的第一转杆11能够稳定的进行转动，通过安装盒18可给第二伺服电机20与蓄电池42提供安装位置，通过蓄电池42可给蓝牙控制器19与第二伺服电机20供电，从而使得蓝牙控制器19与第二伺服电机20能够正常的运行，通过蓝牙控制器19可使得喷金仪主体1能够无线控制第二伺服电机20运行，通过第二伺服电机20运行，第二伺服电机20运行时通过第二转杆21带动安装板22进行转动，通过安装板22转动可带动限位板28进行转动，通过限位板28转动可带动样品进行转动。
26.对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。