面板过渡设备的制作方法

1.本发明涉及显示装置制造设备技术领域，尤其涉及一种面板过渡设备。


背景技术：

2.显示装置的面板加工时，需要利用面板过渡设备将面板运输到真空的处理腔室内进行处理(例如对光刻后的面板进行烘干，或对面板表面进行蒸镀等处理)。
3.参照图1，面板过渡设备包括两个相对独立的过渡腔室1＇，过渡腔室1＇用于放置待处理的面板100＇，两个过渡腔室1＇分别在竖直方向上间隔分布，上方的过渡腔室1＇顶部和下方的过渡腔室1＇底部均连接有抽气泵2＇和吸气部件3＇，抽气泵2＇用于抽出过渡腔室1＇内的气体，吸气部件3＇用于向过渡腔室1＇内部输送洁净的气体。面板100＇进入过渡腔室1＇之后，利用抽气泵2＇对过渡腔室1＇抽真空，然后将面板100＇送入处理腔室内，待面板100＇处理完成后，面板100＇由处理腔室回到过渡腔室1＇，再利用吸气部件3＇向过渡腔室1＇内输入洁净气体，使过渡腔室1＇内由真空状态恢复至大气状态后，将面板100＇输出过渡腔室1＇外。抽气泵2＇运转时内部零部件的磨损会产生碎屑等异物，异物在重力作用下会从过渡腔室1＇顶部的抽气口4＇掉落到在过渡腔室1＇内部的面板100＇上，影响面板100＇的质量。
4.现有技术中，为了防止抽气泵2＇内部的异物会掉落到上方的过渡腔室1＇内，在上方的过渡腔室1＇内部设置挡板5＇，挡板5＇位于抽气口4＇的正下方，通过挡板5＇拦截从抽气口4＇掉落的异物。现有技术存在以下缺陷：吸气部件3＇运转时，在过渡腔室1＇气流的影响下，挡板5＇上的异物还是容易从挡板5＇的边沿掉落至过渡腔室1＇内部面板100＇上，也会影响面板100＇的质量。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于：提供一种面板过渡设备，其能避免抽气部件内部的异物掉落到过渡腔室内部的面板上。
6.为达上述目的，本发明采用以下技术方案：
7.提供一种面板过渡设备，包括用于容纳面板的过渡腔室和位于所述过渡腔室外部的抽气部件，所述抽气部件设置在所述过渡腔室的顶部，用于对所述过渡腔室抽真空，所述过渡腔室通过抽气通道与所述抽气部件连通，所述抽气通道内部设置有过滤件，所述过滤件贯穿设置有通孔，所述通孔包括第一孔和与第一孔连通的第二孔，所述第一孔位于所述第二孔的上方，且所述第一孔连通所述过滤件的顶部，所述第一孔的截面尺寸大于所述第二孔的截面尺寸，以使所述第一孔和所述第二孔连接处形成限位台阶面，所述第一孔的内部设置有能够阻挡所述第二孔的阻挡件，所述阻挡件的尺寸小于所述第一孔尺寸，且所述阻挡件的尺寸大于所述第二孔的尺寸，所述阻挡件阻挡所述第二孔时，所述第一孔与所述过渡腔室不连通，所述抽气部件抽气时，所述阻挡件沿竖直方向移动至所述过滤件的上方，以使所述通孔与所述过渡腔室连通。
8.作为面板过渡设备的一种优选方案，所述过滤件上方间隔设置有网板，当所述阻
挡件移出至所述过滤件的上方时，所述阻挡件能够抵接在所述网板的下表面，以将所述阻挡件限制在所述网板的下方。
9.作为面板过渡设备的一种优选方案，所述通孔具有多个，多个所述通孔间隔分布在所述过滤件上，每个所述通孔中的所述第一孔内均设置有所述阻挡件，所述网板覆盖所有所述第一孔，相邻两个所述第一孔通过气体通道连通。
10.作为面板过渡设备的一种优选方案，还包括环绕在所述网板周部的支撑板，所述支撑板远离所述网板的一端与所述过滤件连接。
11.作为面板过渡设备的一种优选方案，所述支撑板通过紧固件与所述过滤件可拆卸连接。
12.作为面板过渡设备的一种优选方案，所述紧固件为紧固螺钉，所述支撑板远离所述网板的一端凸出设置有凸出部，所述凸出部朝向背离所述过滤件的中心的一侧凸出，所述凸出部贯穿设置有第一紧固孔，所述过滤件对应所述第一紧固孔的位置设置有第二紧固孔，所述紧固螺钉的一端穿过所述第一紧固孔拧紧在所述第二紧固孔内。
13.作为面板过渡设备的一种优选方案，所述阻挡件为阻挡球。
14.作为面板过渡设备的一种优选方案，所述网板与所述过滤件之间设置导向件，所述导向件的上、下端贯穿设置有导向孔，所述导向孔与所述第一孔和所述网板上的第一气孔连通，所述阻挡件能够在所述导向孔内上、下移动。
15.作为面板过渡设备的一种优选方案，所述阻挡件通过弹性件与所述第一孔的内壁连接，所述弹性件的一端与所述阻挡件固定，另一端与所述第一孔的内壁固定。
16.作为面板过渡设备的一种优选方案，所述过滤件通过螺纹结构可拆卸设置在所述抽气通道中，或所述过滤件通过螺钉可拆卸设置在所述抽气通道中。
17.本发明的有益效果为：此种结构的面板过渡腔室，利用过滤件和阻挡件可以有效地阻挡抽气部件产生的异物，避免抽气部件的异物掉落到过渡腔室内部的面板上而影响面板的质量。
附图说明
18.下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。
19.图1为现有技术中的真空过渡设备的结构图。
20.图2为本发明一实施例所述面板过渡设备的结构示意图。
21.图3为本发明另一实施例所述面板过渡设备的结构示意图。
22.图4为本发明一实施例所述的过滤件、阻挡件、网板和支撑板结构图(阻挡件阻挡第二孔时)。
23.图5为图4中a处的放大图。
24.图6为本发明一实施例所述的过滤件、阻挡件网板和支撑板结构图(阻挡件移除至过滤件的上方时)。
25.图7为本发明另一实施例所述的过滤件、阻挡件网板和支撑板结构图。
26.图8为本发明所述的过滤件的截面图。
27.图9为本发明实施例所述的过滤件、阻挡件、网板、支撑板和导向件的结构图。
28.图10为发明实施例所述导向件的结构图。
29.图1：
30.100＇、面板；1＇、过渡腔室；2＇、抽气部件；3＇、吸气泵；4＇、抽气口；5＇、挡板。
31.图2至图10中：
32.1、过渡腔室；2、抽气部件；3、吸气部件；4、抽气通道；5、吸气通道；6、过滤件；601、通孔；6011、第一孔；6012、第二孔；602、第二紧固孔；603、外螺纹；604、气体通道；605、安装板；6051、第一安装孔；606、第二安装孔；607、限位台阶面；7、网板；701、第一气孔；702、本体；703、凸柱；8、支撑板；801、凸出部；8011、第一紧固孔；9、导向件；901、导向孔；902、第二气孔；10、阻挡件；11、牵引件；12、紧固螺钉；13、安装螺钉；100、面板；200、异物。
具体实施方式
33.参考下面结合附图详细描述的实施例，本发明的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本发明不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本发明的公开并且使本领域技术人员充分地了解本发明的范围，并且本发明仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
34.本实施例中，参照图2至图4和图6，提供一种面板过渡设备，包括用于容纳面板100的过渡腔室1和位于过渡腔室1外部的抽气部件2，抽气部件2设置在过渡腔室1的顶部，用于对过渡腔室1抽真空，过渡腔室1通过抽气通道4与抽气部件2连通。抽气通道4内部设置有过滤件6，过滤件6贯穿设置有通孔601，通孔601包括第一孔6011和连通的第二孔6012，第一孔6011位于第二孔6012的上方，且第一孔6011连通过滤件6的顶部，第一孔6011的截面尺寸大于第二孔6012的截面尺寸，以使第一孔6011和第二孔6012连接处形成限位台阶面607。第一孔6011的内部设置有能够阻挡第二孔6012的阻挡件10，阻挡件10的尺寸小于第一孔6011尺寸，且阻挡件10的尺寸大于第二孔6012的尺寸。阻挡件10阻挡第二孔6012时，第一孔6011与过渡腔室1不连通，抽气部件2抽气时，阻挡件10沿竖直方向移动至过滤件10的上方，以使通孔601与过渡腔室1连通。本示例中，抽气部件2为抽气泵，在他的示例中，抽气部件2也可以为抽气风机等，在此并不对抽气部件2作具体限制，方式能实现对过渡腔室的抽气设备均可。
35.其中，面板过渡设备还包括位于在过渡腔室1外部的吸气部件3，吸气部件3设置在过渡腔室1的顶部，且吸气部件3通过吸气通道5与过渡腔室1连通。吸气部件3用于向过渡腔室1抽入洁净气体，使过渡腔室1由真空状体切换至大气状态。具体地，吸气部件3也可以是吸气泵或风机。
36.可以理解的是，在重力的影响下抽气部件2内部产生的异物200(例如碎屑等)会掉落到抽气通道4内。在抽气通道4内部设置过滤件6，过滤件6的内部设置可移动的阻挡件10，阻挡件10具有一定的重力，在抽气部件2未运转时阻挡件10是阻挡在第一孔6011与第二孔6012连通的位置，此时第一孔6011与过渡腔室1不连通，从抽气部件2掉落异物200被拦截在第一孔6011内不能穿过第二孔6012进入到过渡腔室1内部，在抽气部件2运转时(即抽气部件2抽气时)，被拦截的异物200向随气流上抽出到抽气通道4的外部，同时气流作用也使阻挡件10向上移动，使第一孔6011、第二孔6012和过渡腔室1三者连通，实现对过渡腔室1内部抽真空，对过渡腔室1完成抽真空后，在重力作用下阻挡件10下降到第一孔6011内并阻挡第
二孔6012。此种结构的面板100过渡腔室1，利用过滤件6和阻挡件10可以有效地阻挡抽气部件2产生的异物200，避免抽气部件2的异物200掉落到过渡腔室1内部的面板100上而影响面板100的质量。
37.优选阻挡件10为阻挡球，球形体表面无棱角，避免异物200粘附在阻挡件10表面。在其他的示例中，阻挡件10也可以选用其他的结构，例如立方体或圆柱体等。
38.一实施例中，参照图4和图6，过滤件6上方间隔设置有网板7，当阻挡件10移出至过滤件6的上方时，阻挡件10能够抵接在网板7的下表面，以将阻挡件10限制在网板7的下方。网板7贯穿设置有若干第一气孔701，气体从第一孔6011排出穿过第一气孔701进入抽气通道4位于网板7上方的位置。在过滤件6的上方设置网板7，当阻挡件10移出至过滤件6的上方一定距离时，阻挡件10抵接到网板7的下表面，通过网板7限制阻挡件10上升的高度，从而限定阻挡件10在竖直方向移动的行程，便于阻挡件10复位。
39.优选地，参照图4、图6和图8，通孔601具有多个，多个通孔601间隔分布在过滤件6上，每个通孔601中的第一孔6011内均设置有阻挡件10，网板7覆盖所有第一孔6011的孔口。设置多个通孔601，抽气部件2抽气时，可在过滤件6上的多个位置排出过渡腔室1内部的气体，在部分通孔601被堵塞的情况下，过滤件6通过其余的通孔601继续正常使用。将网板7覆盖所有的第一孔6011，可减少网板7数量，便于网板7的组装。
40.进一步地，相邻两个第一孔6011通过气体通道604连通。相邻的两个通孔601中，其中一个通孔601的连通口被堵塞后，气体能够在另一通孔601的第一孔6011通过气体通道604进入到被堵塞通孔601的第一孔6011内，使气体从该第一孔6011从过滤件6的顶部排出，这样使得过滤件6具有良好的通气性能。
41.本实施例中，参照图4和图6，面板过渡设备还包括环绕在网板7周部的支撑板8，支撑板8远离网板7的一端与过滤件6连接。支撑板8为网板7提供支撑的作用，使网板7被间隔设置在过滤件6的上方，网板7通过支撑板8与过滤件6连接，使得网板7、支撑板8和过滤件6三者形成一组成体，安装时先通过支撑板8将网板7与过滤件6固定形成一组合体，然后将该组合体整体固定在抽气通道4的内部，便于组装。
42.优选地，支撑板8通过紧固件与过滤件6可拆卸连接，支撑板8与过滤件6的此种连接方式，便于组装。
43.具体地，参照图5，紧固件为紧固螺钉12，支撑板8远离网板7的一端凸出设置有凸出部801，凸出部801朝向背离过滤件6的中心一侧凸出，凸出部801贯穿设置有第一紧固孔8011，过滤件6对应第一紧固孔8011的位置设置有第二紧固孔602，紧固螺钉12的一端穿过第一紧固孔8011拧紧在第二紧固孔602内。凸出部801为支撑板8与过滤件6的组装提供了空间，并且便于在凸出部801上开孔。
44.在其他的示例中，网板7与抽气通道4位于抽气部件2与过滤件6之间内侧壁焊接，通过焊接的方式将网板7固定在抽气通道4内，在气流的带动下使网板7不易松动，可靠性高。
45.另一实施例中，参照图7，网板7包括本体702以及间隔且凸出设置在本体702下表面的凸柱703，本体702贯穿上下表面设置有多个第一气孔701，凸柱703的一端与网板7连接，另一端朝向过滤件6的方向延伸，且凸柱703与过滤件6的顶部间隔。当阻挡件10移动至网板7的下表面时，阻挡件10与凸出下端抵接，这样可以防止阻挡件10贴紧本体702的下表
面而阻塞第一气孔701，使阻挡件10与网板7下表面抵接时在本体702与阻挡件10之具有通气空间，保证过渡腔室1被快速抽真空。
46.优选地，凸柱703为采用弹性材料制成(例如弹性橡胶等)，使凸柱703具有一定的弹性形变能力，防止阻挡件10被撞坏。
47.一实施例中，阻挡件10通过牵引件11与第一孔6011的内壁连接，通过牵引件11对阻挡件10进行限位，使阻挡件10在一定的范围内运动，这样在气流的带动下阻挡件10不会移动到距离网板7距离第一孔6011的孔口较远的区域，便于阻挡件10复位。
48.优选地，牵引件11为弹性件，弹性件的一端与阻挡件10固定，另一端与第一孔6011的内壁固定。本示例中，弹性件为压缩弹簧。弹性件为具有一定的弹性形变能力的部件，抽气部件2抽气时，气流带动阻挡件10移出到过滤件6顶部的过程中，弹性件被逐渐拉长，通过弹性件的弹性作用力可以对阻挡件10的移动进行缓冲，防止阻挡件10的移动速度撞坏网板7。
49.另外的示例中，牵引件11也可以为柔性的牵引绳等。
50.另一实施例中，也可以在网板7与过滤件6之间设置导向件9，通过引导件替代牵引件11。参照图9和图10，导向件9的上、下端贯穿设置有导向孔901，导向孔901与第一孔6011和网板7上的第一气孔701连通。阻挡件10能够在导向孔901内上、下移动，导向孔901呈喇叭状，导向孔901的小端部连接在第一孔6011的顶部，导向孔901的大端部连接网板7的下表面，抽气部件2运转时，气流作用下阻挡件10沿着竖直方向移动的过程，阻挡件10依次从第一孔6011依次通过导向孔901的小端部和大端部与网板7抵接，抽气部件2停止抽气后，阻挡件10在重力的作用下，从网板7的下表面依次经过第一孔6011的大端部和小端部进入到第一孔6011内阻挡连通口，使阻挡件10顺利复位。
51.为防止导向件9阻挡气流，可以将导向件9设置为镂空结构，使得导向孔901的侧壁具有多个第二气孔902，保证气流在网板7与过滤件6之间流通顺畅。
52.随着过滤件6的长时间使用，过滤件6上的孔有可能会被堵塞，为了便于将过滤件6从抽气通道4内拆卸清洁，实际设计时，将过滤件6可拆卸设置在抽气通道4中。
53.一实施例中，参照图2，过滤件6通过螺纹结构可拆卸设置在抽气通道4中，过滤件6的侧面设置有外螺纹603，抽气通道4的内侧壁设置有内螺纹，外螺纹603与内螺纹旋接配合。设置螺纹结构将过滤件6与抽气通道4的内侧壁可拆卸连接，便于组装，且过滤件6与抽气通道4的内侧壁连接可靠。
54.另一实施例中，参照图3，过滤件6的底部设置有安装板605，安装板605朝向远离抽气通道4的轴心线凸出，安装板605贯穿设置有第一安装孔6051，过渡腔室1的内侧壁邻近抽气通道4的位置设置有第二安装孔606，安装螺钉13穿过第一安装孔6051拧紧在第二安装孔606内，此种结构的过滤件6，也可实现过滤件6可拆卸设置在抽气通道4中。
55.尽管上面已经参考附图描述了本发明的实施例，但是本发明不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本发明的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本发明。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。