一种升降旋转装置的制作方法

本发明涉及半导体湿制程工艺领域，具体地说是一种升降旋转装置。

背景技术：

1、在半导体湿制程领域，随着工艺的更新与发展，半导体湿制程工艺设备中部分装置，例如流体喷淋头，需要既能控制旋转又能控制升降的升降旋转装置带动，以完成指定工艺动作。现有技术主要采用中空旋转摆台(dg马达)实现旋转功能，另外采用电机+丝杠+直线导轨导向实现升降功能；上述组合方式造价昂贵且结构过于复杂，安装维护困难。

技术实现思路

1、针对上述问题，本发明的目的在于提供一种升降旋转装置。

2、本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

3、一种升降旋转装置，包括机架、旋转驱动件、升降驱动件及滚珠花键副，所述滚珠花键副分为滚珠花键母法兰及位于滚珠花键母法兰内侧的滚珠花键螺母与滚珠花键轴，所述滚珠花键母法兰安装于所述机架上；

4、所述旋转驱动件安装于所述机架上，所述旋转驱动件的驱动端通过传动组件带动所述滚珠花键螺母在所述滚珠花键母法兰中转动，进而带动所述滚珠花键轴转动；

5、所述升降驱动件安装于所述机架上，所述升降驱动件的驱动端与所述滚珠花键轴的下端连接、并带动所述滚珠花键轴在所述滚珠花键母法兰中升降。

6、所述滚珠花键轴的内部开设有上下两端均开口的中空孔道。

7、所述滚珠花键轴的上端开设有用于与流体喷淋头卡接的卡接口。

8、所述传动组件包括主动带轮、从动带轮及同步带，所述主动带轮安装于所述旋转驱动件的驱动端上，所述从动带轮套设于所述滚珠花键轴外侧、并与所述滚珠花键螺母连接，所述主动带轮与所述从动带轮通过所述同步带连接。

9、所述机架上安装有张紧轮支架，所述张紧轮支架上安装有用于张紧所述同步带的张紧轮。

10、所述机架上安装有旋转驱动件安装座，所述旋转驱动件通过所述旋转驱动件安装座安装于所述机架上。

11、所述机架上设有限位螺钉安装块，所述限位螺钉安装块上设有若干个限位螺钉，各所述限位螺钉的一端分别抵住旋转驱动件安装座，各所述限位螺钉的轴向中心线在竖直平面的投影均垂直于所述旋转驱动件的驱动端的轴向中心线在竖直平面的投影。

12、所述升降驱动件的驱动端通过浮动结构与所述滚珠花键轴的下端连接。

13、所述浮动结构包括升降拨叉及升降拨轮，所述升降拨轮安装于所述滚珠花键轴的下端，所述升降拨轮的外周开设有拨叉插槽，所述升降拨叉的一端与所述升降驱动件的驱动端连接、另一端为拨叉主体，所述升降拨叉的拨叉主体插入至所述升降拨轮的拨叉插槽中。

14、所述升降拨叉位于所述滚珠花键副的滚珠花键母法兰的下方。

15、本发明的优点与积极效果为：

16、本发明通过旋转驱动件、升降驱动件及滚珠花键副的配合设置结构，可分别实现滚珠花键轴的旋转动作及升降动作，滚珠花键副本身具有导向效果，运行更准确顺畅，且集成度高，结构相对简单且造价低，使安装维护更加方便，更加适合半导体湿制程工艺设备使用。

技术特征：

1.一种升降旋转装置，其特征在于：包括机架(1)、旋转驱动件(2)、升降驱动件(3)及滚珠花键副(4)，所述滚珠花键副(4)分为滚珠花键母法兰(401)及位于滚珠花键母法兰(401)内侧的滚珠花键螺母与滚珠花键轴(402)，所述滚珠花键母法兰(401)安装于所述机架(1)上；

2.根据权利要求1所述的一种升降旋转装置，其特征在于：所述滚珠花键轴(402)的内部开设有上下两端均开口的中空孔道(403)。

3.根据权利要求1所述的一种升降旋转装置，其特征在于：所述滚珠花键轴(402)的上端开设有用于与流体喷淋头(001)卡接的卡接口(404)。

4.根据权利要求1所述的一种升降旋转装置，其特征在于：所述传动组件包括主动带轮(5)、从动带轮(6)及同步带(7)，所述主动带轮(5)安装于所述旋转驱动件(2)的驱动端上，所述从动带轮(6)套设于所述滚珠花键轴(402)外侧、并与所述滚珠花键螺母连接，所述主动带轮(5)与所述从动带轮(6)通过所述同步带(7)连接。

5.根据权利要求4所述的一种升降旋转装置，其特征在于：所述机架(1)上安装有张紧轮支架(8)，所述张紧轮支架(8)上安装有用于张紧所述同步带(7)的张紧轮(9)。

6.根据权利要求1所述的一种升降旋转装置，其特征在于：所述机架(1)上安装有旋转驱动件安装座(10)，所述旋转驱动件(2)通过所述旋转驱动件安装座(10)安装于所述机架(1)上。

7.根据权利要求6所述的一种升降旋转装置，其特征在于：所述机架(1)上设有限位螺钉安装块(11)，所述限位螺钉安装块(11)上设有若干个限位螺钉，各所述限位螺钉的一端分别抵住旋转驱动件安装座(10)，各所述限位螺钉的轴向中心线在竖直平面的投影均垂直于所述旋转驱动件(2)的驱动端的轴向中心线在竖直平面的投影。

8.根据权利要求1所述的一种升降旋转装置，其特征在于：所述升降驱动件(3)的驱动端通过浮动结构与所述滚珠花键轴(402)的下端连接。

9.根据权利要求8所述的一种升降旋转装置，其特征在于：所述浮动结构包括升降拨叉(12)及升降拨轮(13)，所述升降拨轮(13)安装于所述滚珠花键轴(402)的下端，所述升降拨轮(13)的外周开设有拨叉插槽，所述升降拨叉(12)的一端与所述升降驱动件(3)的驱动端连接、另一端为拨叉主体，所述升降拨叉(12)的拨叉主体插入至所述升降拨轮(13)的拨叉插槽中。

10.根据权利要求9所述的一种升降旋转装置，其特征在于：所述升降拨叉(12)位于所述滚珠花键副(4)的滚珠花键母法兰(401)的下方。

技术总结
本发明涉及半导体湿制程工艺领域，具体地说是一种升降旋转装置，包括机架、旋转驱动件、升降驱动件及滚珠花键副。旋转驱动件安装于机架上，旋转驱动件的驱动端通过传动组件带动滚珠花键螺母在滚珠花键母法兰中转动，进而带动滚珠花键轴转动；升降驱动件安装于机架上，升降驱动件的驱动端通过浮动结构与滚珠花键轴的下端连接、并带动滚珠花键轴在滚珠花键母法兰中升降。本发明通过旋转驱动件、升降驱动件及滚珠花键副的配合设置结构，可分别实现滚珠花键轴的旋转动作及升降动作，滚珠花键副本身具有导向效果，运行更准确顺畅，且集成度高，结构相对简单且造价低，使安装维护更加方便，更加适合半导体湿制程工艺设备使用。

技术研发人员：王本义,刘迟,于宏嘉,戴红峰
受保护的技术使用者：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12