一种手自一体型干吸附式尾气处理器的制作方法

本技术涉及尾气处理领域，特别涉及一种手自一体型干吸附式尾气处理器。

背景技术：

1、半导体产业中的有机废气主要来源于清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影工序，其中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，主要成分为异丙醇、光刻胶等有机物，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。

2、挥发性有机气体简称vocs，由于vocs具有渗透、脂溶及挥发等作用，对人体直接的影响很大，人体与vocs接触或经呼吸进入人体，可能对人体之呼吸道、肺、肾、神经系统等造成危害，所以须加以处理后方可直接排放到大气中，与此同时，vocs污染物通常为有机化合物，在vocs浓度较高且有火花或静电情况下，极易发生闪爆现象，且由于这些废气会有易燃易爆，有毒有害，且不溶于水的特点，难以处理。

3、现有技术中半导体制程中针对于可以用吸附剂反应处理的气体，可用吸附剂反应处理的气体，而现有市面上的吸附处理装置存在安全性低，吸附效率差的缺陷，本技术人构想一种尾气处理器，以实现半导体生产过程中产生的有害气体吸附作业，其可手自一体切换填料罐，以实现一备一用的高效率、高安全性的转换使用。

技术实现思路

1、本技术目的在于设计一种尾气处理器，以实现半导体生产过程中产生的有害气体吸附作业，其可手自一体切换填料罐，以实现一备一用的高效率、高安全性的转换使用，相比现有技术提供一种手自一体型干吸附式尾气处理器，通过包括箱体和两个对称设置在箱体内的填料罐，填料罐的顶部设有底座，底座与填料罐间连通且夹接有过滤网板，填料罐内填充有吸附填料，底座内填充有吸附剂垫层，两组填料罐的顶部通过三通管组并连有设有出气管道，两组底座的底部一侧通过三通管组并连有进气管道，进气管道的支管上均固定有进气阀，进气管道的输入端还固定有进气包，进气包上设有多个进气接口，出气管道的支管上均固定出气控制阀；

2、填料罐上还安装有压力传感器、温度传感器，填料罐的一侧设有罐体观察窗，箱体上设有与罐体观察窗相对应的箱体观察窗，箱体的一侧箱门上还固定有控制单元，箱体的顶部固定有警示灯。

3、实现通过两个对称设置的填料罐设置，一备一用，半导体生产的废气通过进气阀的控制由进气管道的支管进入单一填料罐，在该填料罐的吸附填料进行反应，通过吸附剂吸收，达到尾气处理的目的，维护人员可依次通过箱体观察窗、罐体观察窗对填料罐内吸附填料的吸附状态进行观察，直到吸附填料的颜色达到指定的颜色，说明吸附剂已反应完，可由手动输入控制单元进行进气管道的支管的进气阀的启闭，切换到另外一个填料罐进行吸附，同时本发明也可通过压力传感器、温度传感器采集的气压数据和温度数据，由控制单元进行自动切换填料罐的动作，可实现手动和自动操作，吸附安全性高，能满足半导体生产的有害气体排放标准，具有市场前景，适合推广应用。

4、进一步的，控制单元为plc控制单元，出气控制阀、进气阀、警示灯、压力传感器、温度传感器均通过导线与控制单元电性连接，出气控制阀、进气阀均为电磁阀门结构。

5、进一步的，箱体为密闭箱体结构，箱体的底部一侧设有通风孔，箱体通过负压风机从通风孔吸附外部空气并保持箱体内部气压小于外界气压，箱体顶部对应设置有气体检测模块，气体检测模块通过导线与控制单元电性连接。

6、进一步的，底座与填料罐通过螺栓进行固定连接，箱体内设有移动座，移动座的底部四角均固定有滑轮，填料罐的罐体通过固定箍环可拆卸式连接在箱体内。

7、进一步的，出气管道的输出端上还连接有出气取样口，进气管道输入端上还连接有进气取样口。

8、进一步的，填料罐内填充的吸附填料根据尾气处理需求包括hcl、cl2吸附剂或ch4、c2h4吸附剂中的一种或多种。

9、进一步的，填料罐内还设有颗粒循环机构和除杂机构，颗粒循环机构包括循环内管，循环内管转动连接在填料罐与底座间，底座内还固定有驱动循环内管旋转的驱动电机，循环内管的外侧套接有循环外管，循环外管与循环内管间固定有内螺旋片，循环外管的外壁套接有外螺旋片，循环内管的顶部固定有集气仓；

10、除杂机构包括与出气管道输入端连通的除杂内管，除杂内管的外侧套接有除杂外管，除杂外管与除杂内管间设有若干等角度均分排布的导气管，导气管的一端延伸至集气仓，导气管的另一端穿过除杂外管与除杂内管的间隙，并延伸至除杂内管的底部，除杂外管与除杂内管间填充有除杂液。

11、进一步的，内螺旋片与外螺旋片的螺旋走向呈镜像对称设置，填料罐与循环外管间、循环外管与循环内管间均填充有饱和的吸附填料，吸附填料的颗粒均呈球形结构，循环外管的长度小于循环内管。

12、进一步的，集气仓的内壁还固定有若干负压叶片，负压叶片在旋转过程中，对填料罐内产生负压吸附力。

13、进一步的，除杂外管的外径小于循环内管的内径，循环内管旋转套接在除杂外管的外壁上，除杂液为等离子水。

14、相比于现有技术，本技术的优点在于：

15、(1)本发明通过两个对称设置的填料罐设置，一备一用，半导体生产的废气通过进气阀的控制由进气管道的支管进入单一填料罐，在该填料罐的吸附填料进行反应，通过吸附剂吸收，达到尾气处理的目的，维护人员可依次通过箱体观察窗、罐体观察窗对填料罐内吸附填料的吸附状态进行观察，直到吸附填料的颜色达到指定的颜色，说明吸附剂已反应完，可由手动输入控制单元进行进气管道的支管的进气阀的启闭，切换到另外一个填料罐进行吸附，同时本发明也可通过压力传感器、温度传感器采集的气压数据和温度数据，由控制单元进行自动切换填料罐的动作，可实现手动和自动操作，吸附安全性高，能满足半导体生产的有害气体排放标准，具有市场前景，适合推广应用。

16、(2)通过带有气体检测模块和警示灯的箱体结构设计，在常态运行的过程中，箱体内的气体被负压风机从通风孔吸附外部空气并保持箱体内部的负压状态，以防止有害的尾气发生泄漏，对工作人员造成伤害，同时可利用气体检测模块对箱体内的有害气体进行实时监测，避免发生有害气体泄漏的现象，同时当泄漏的有害气体达设计阀值时，可通过气体检测模块检测反馈至控制单元，并由控制单元控制警示灯进行声光预警，以提升实际使用的安全性。

17、(3)通过带有滑轮的移动座和固定箍环的结构设计，一方面在安装填料罐时，可通过固定箍环的螺栓固定，达到保持填料罐稳定的状态，另一方，当需要拆卸填料罐时，可松卸固定箍环的螺栓，直接拖运移动座，即可实现填料罐的转运更换，提升了维护的便捷性。

18、(4)通过不同吸附填料的设计，使填料罐()能满足不同半导体生产中产生的尾气进行适应性的吸附，能满足不同气体的吸附需求，吸附填料更换简单，提升了其吸附适用范围。

19、(5)本发明通过带有循环外管与循环内管的颗粒循环机构设计，使颗粒循环机构整体在驱动电机的驱动下发生旋转，填充在循环外管两侧的吸附填料发生循环交换，即在外螺旋片的旋转作用下上升，在内螺旋片的旋转作用下下降，两侧的吸附填料在循环外管的上下两端间隙进行交换，相比于传统的固定堆料方案，其使吸附填料产生混动交换，使尾气能更均匀的与吸附填料进行接触，进而在吸附填料量不变的情况下，有效提升吸附效率。

20、(6)通过带有负压叶片的集气仓和带有等离子水的除杂机构间的相互配合，在颗粒循环机构旋转的条件下，负压叶片对填料罐内的尾气产生负压吸附力，并产生正压将集气仓内的气体由导气管推送至除杂内管内，通过等离子水的脱附，一方面去除了处理完毕后尾气中含有的吸附填料颗粒杂质，另一方面通过等离子水的水洗，使处理完毕后尾气进一步得到处理，提升了无害化处理程度。