一种熔融石英坩埚高效涂层喷涂装置的制作方法

本发明涉及熔融石英坩埚，具体为一种熔融石英坩埚高效涂层喷涂装置。

背景技术：

1、石英坩埚具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源和质量稳定等优点，应用越来越广泛，石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节，而且石英坩埚的检测朝向现场检测方向发展，石英坩埚可在1450度以下使用，分透明和不透明两种，用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料，当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚，他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源和质量稳定等优点。

2、目前，市场中的石英坩埚在进行涂层喷涂加工时，先将涂料喷涂至石英坩埚的内壁，然后利用高温加热对涂料进行烘干，从而完成涂层的加工，但是，在喷涂涂料的过程中容易发生涂料堆积而流淌，影响涂层表面的质量，且喷涂后烘干也延长了喷涂加工的时间。为此提出一种熔融石英坩埚高效涂层喷涂装置。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术不足，本发明提供了一种熔融石英坩埚高效涂层喷涂装置，解决了：现有石英坩埚涂层喷涂加工时容易存在涂料流淌而影响涂层质量的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种熔融石英坩埚高效涂层喷涂装置，包括固定座、夹持机构、烘干机构以及喷涂机构，所述固定座的上表面设有垂直分布的左立柱、右立柱，所述左立柱的端部固定连接有夹持机构，所述夹持机构包括夹持外筒、吸附内筒以及伸缩气缸，所述夹持外筒与左立柱固定连接，所述夹持外筒的内部设有滑动连接的吸附内筒，所述吸附内筒的左端与伸缩气缸的固定连接，所述右立柱的顶部固定连接有垂直分布的固定桩，所述固定桩的端部设有转动连接的安装板，所述安装板的端部固定连接有喷涂机构和烘干机构，所述喷涂机构包括喷头、喷嘴以及涂料泵，所述喷头固定连接在安装板的表面，所述喷头的侧壁设有线性分布的喷嘴，所述涂料泵与喷头之间连接有软管，所述烘干机构包括集中罩、加热线圈以及热电偶，所述集中罩位于喷嘴的表面且与安装板固定连接，所述集中罩的内壁固定连接有均匀分布的加热线圈，所述热电偶分布于集中罩不同位置且与集中罩固定连接。

5、作为本发明的进一步优选方式，所述吸附内筒的右端表面套接连接有皮碗，所述吸附内筒与皮碗的连接处开设有扣合槽，所述皮碗的边缘处呈喇叭状向外扩张。

6、作为本发明的进一步优选方式，所述夹持外筒的端口处固定连接有的胶圈，所述夹持外筒的外侧壁开设有导向槽，所述导向槽的表面设有滑动连接的滑块，所述滑块与吸附内筒固定连接。

7、作为本发明的进一步优选方式，所述固定座与右立柱的连接处开设有滑槽，所述滑槽的表面设有滑动连接的限位块，所述限位块的表面开设有对称分布的锁紧螺栓。

8、作为本发明的进一步优选方式，所述固定桩尾部的表面固定连接有管夹，所述管夹的表面开设有走线槽，所述走线槽的边缘处设有错位分布的固定卡。

9、作为本发明的进一步优选方式，所述安装板与固定桩的连接处设有步进电机，所述步进电机的输出端与安装板固定连接，所述步进电机的转动角度为度。

10、作为本发明的进一步优选方式，所述固定桩的表面设有转动连接的支撑环，所述支撑环的边缘处固定连接有插接筒。

11、作为本发明的进一步优选方式，所述固定桩的表面还固定连接有控制器，所述控制器分别与加热线圈、热电偶、步进电机以及涂料泵相连接。

12、(三)有益效果

13、本发明提供了一种熔融石英坩埚高效涂层喷涂装置。具备以下有益效果：

14、1、本发明通过在固定座的表面设有气压固定的夹持机构，方便快速对石英坩埚进行吸附、固定，提高拆装的方便性，通过在喷涂机构的喷涂口处直接安装烘干机构，方便对喷出的涂料直接加热，便于在涂料附着在石英坩埚表面后直接进行冷却附着，避免了涂料喷涂过量而发生流淌的现象，同时缩短喷涂后烘干的等待时间，提高了喷涂加工的效率。

15、2、本发明通过在安装板与固定桩的连接处设有步进电机，方便带动喷涂机构进行转动，便于对石英坩埚的内壁进行均匀喷涂，提高涂料喷涂的均匀性。

16、3、本发明通过在固定底座与有立柱的连接处开设有滑槽，配合滑槽表面带有锁紧螺栓的限位块，方便对喷涂机构的位置进行调节和限位，便于更换石英坩埚，同时便于适配不同深度的石英坩埚，提高加工的通用性。

技术特征：

1.一种熔融石英坩埚高效涂层喷涂装置，包括固定座(1)、夹持机构(2)、烘干机构(3)以及喷涂机构(4)，其特征在于：所述固定座(1)的上表面设有垂直分布的左立柱(5)、右立柱(6)，所述左立柱(5)的端部固定连接有夹持机构(2)，所述夹持机构(2)包括夹持外筒(7)、吸附内筒(8)以及伸缩气缸(9)，所述夹持外筒(7)与左立柱(5)固定连接，所述夹持外筒(7)的内部设有滑动连接的吸附内筒(8)，所述吸附内筒(8)的左端与伸缩气缸(9)的固定连接，所述右立柱(6)的顶部固定连接有垂直分布的固定桩(10)，所述固定桩(10)的端部设有转动连接的安装板(11)，所述安装板(11)的端部固定连接有喷涂机构(4)和烘干机构(3)，所述喷涂机构(4)包括喷头(12)、喷嘴(13)以及涂料泵(14)，所述喷头(12)固定连接在安装板(11)的表面，所述喷头(12)的侧壁设有线性分布的喷嘴(13)，所述涂料泵(14)与喷头(12)之间连接有软管(15)，所述烘干机构(3)包括集中罩(16)、加热线圈(17)以及热电偶(18)，所述集中罩(16)位于喷嘴(13)的表面且与安装板(11)固定连接，所述集中罩(16)的内壁固定连接有均匀分布的加热线圈(17)，所述热电偶(18)分布于集中罩(16)不同位置且与集中罩(16)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种熔融石英坩埚高效涂层喷涂装置，其特征在于：所述吸附内筒(8)的右端表面套接连接有皮碗(19)，所述吸附内筒(8)与皮碗(19)的连接处开设有扣合槽(20)，所述皮碗(19)的边缘处呈喇叭状向外扩张。

3.根据权利要求2所述的一种熔融石英坩埚高效涂层喷涂装置，其特征在于：所述夹持外筒(7)的端口处固定连接有的胶圈(21)，所述夹持外筒(7)的外侧壁开设有导向槽(22)，所述导向槽(22)的表面设有滑动连接的滑块(23)，所述滑块(23)与吸附内筒(8)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种熔融石英坩埚高效涂层喷涂装置，其特征在于：所述固定座(1)与右立柱(6)的连接处开设有滑槽(24)，所述滑槽(24)的表面设有滑动连接的限位块(25)，所述限位块(25)的表面开设有对称分布的锁紧螺栓(26)。

5.根据权利要求1所述的一种熔融石英坩埚高效涂层喷涂装置，其特征在于：所述固定桩(10)尾部的表面固定连接有管夹(27)，所述管夹(27)的表面开设有走线槽(28)，所述走线槽(28)的边缘处设有错位分布的固定卡(29)。

6.根据权利要求5所述的一种熔融石英坩埚高效涂层喷涂装置，其特征在于：所述安装板(11)与固定桩(10)的连接处设有步进电机(30)，所述步进电机(30)的输出端与安装板(11)固定连接，所述步进电机(30)的转动角度为360度。

7.根据权利要求6所述的一种熔融石英坩埚高效涂层喷涂装置，其特征在于：所述固定桩(10)的表面设有转动连接的支撑环(31)，所述支撑环(31)的边缘处固定连接有插接筒(32)。

8.根据权利要求7所述的一种熔融石英坩埚高效涂层喷涂装置，其特征在于：所述固定桩(10)的表面还固定连接有控制器(33)，所述控制器(33)分别与加热线圈(17)、热电偶(18)、步进电机(30)以及涂料泵(14)相连接。

技术总结
本发明公开了一种熔融石英坩埚高效涂层喷涂装置，包括固定座、夹持机构、烘干机构以及喷涂机构，所述固定座的上表面设有垂直分布的左立柱、右立柱，所述左立柱的端部固定连接有夹持机构，所述夹持机构包括夹持外筒、吸附内筒以及伸缩气缸，所述右立柱的顶部固定连接有垂直分布的固定桩，所述固定桩的端部设有转动连接的安装板，所述安装板的端部固定连接有喷涂机构和烘干机构，所述喷涂机构包括喷头、喷嘴以及涂料泵，所述烘干机构包括集中罩、加热线圈以及热电偶。本发明通过在喷涂机构的喷涂口处直接安装烘干机构，方便对喷出的涂料直接加热，便于在涂料附着后直接进行冷却附着，避免了涂料喷涂过量而发生流淌的现象，提高了喷涂加工的效率。

技术研发人员：郭文富,刘理想
受保护的技术使用者：徐州泰和硅材料有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12