一种涂布控制装置及涂布机的制作方法

1.本实用新型涉及涂布机技术领域，尤其涉及一种涂布控制装置及涂布机。


背景技术：

2.涂布机的吐胶控制泵主要用于光刻制程，吐胶控制泵内部为真空状态并设置有树脂杯，用于排除吐胶控制泵内部光刻胶中的气泡，使喷涂出的光刻胶用量更为精准。
3.然而，目前的吐胶控制泵当出现内部压力骤降为零的情况时，其内部的树脂杯会产生褶皱，长此以往，会造成吐胶控制泵内部的树脂杯破裂，进而影响涂布机的正常生产。


技术实现要素：

4.本实用新型实施例提供了一种涂布控制装置及涂布机，用以解决现有技术中的吐胶控制泵内部压力骤降为零造成涂布机损坏的问题。
5.本实用新型实施例提供的技术方案如下：
6.一方面，本实用新型实施例提供了一种涂布控制装置，包括：至少一个吐胶单元、阀门控制单元、通断控制阀和控制器；每个吐胶单元的真空支路连接到真空管路，真空管路上设置有通断控制阀，通断控制阀与阀门控制单元连接，阀门控制单元与控制器连接；每个吐胶单元包括吐胶控制泵、真空保持阀、第一压力传感器和出料控制阀，吐胶控制泵的真空入口连接到真空支路，真空保持阀设置在真空支路上且与阀门控制单元连接，第一压力传感器设置在真空支路上且位于吐胶控制泵的真空入口和真空保持阀之间，出料控制阀分别与吐胶控制泵的出料口和阀门控制单元连接。
7.在一种可能的实施方式中，每个吐胶单元还包括与阀门控制单元连接的检修阀，检修阀设置在真空支路上且位于吐胶控制泵的真空入口和真空保持阀之间。
8.在一种可能的实施方式中，通断控制阀、各真空保持阀和各出料控制阀为气动阀，各检修阀为手动阀。
9.在一种可能的实施方式中，阀门控制单元包括与通断控制阀、各真空保持阀和各出料控制阀一一对应连接的电动阀，每个电动阀与控制器连接。
10.在一种可能的实施方式中，每个吐胶单元还包括液位传感器，液位传感器设置在真空支路上且位于吐胶控制泵的真空入口和压力传感器之间。
11.在一种可能的实施方式中，涂布控制装置还包括真空存液槽，真空存液槽设置在真空管路上且位于通断控制阀后面。
12.在一种可能的实施方式中，涂布控制装置还包括管路转换接口，管路转换接口设置在真空管路的末端。
13.在一种可能的实施方式中，涂布控制装置还包括第二压力传感器，第二压力传感器设置在真空管路上且位于真空存液槽和管路转换接口之间。
14.在一种可能的实施方式中，涂布控制装置还包括触摸屏，触摸屏与控制器电连接。
15.另一方面，本实用新型实施例还提供了一种涂布机，包括本实用新型实施例提供
的上述涂布控制装置，搬送装置，以及干燥装置。
16.本实用新型实施例的有益效果如下：
17.本实用新型实施例中，通过在真空支路上设置真空保持阀，可以在吐胶控制泵出现内部压力骤降的情况下，保持吐胶控制泵内的真空状态，避免树脂杯因压力骤降产生褶皱而破裂，延长设备的使用时间。并且，每个吐胶控制泵对应设置真空保持阀，可以有效的减少出现故障的吐胶控制泵对其他吐胶控制泵的不良影响，提高设备可靠性。同时，在真空支路上设置的检修阀可以方便操作人员对吐胶控制泵的拆解与维修。
附图说明
18.图1为本实用新型实施例中包含一个吐胶单元的涂布控制装置的一种结构示意图；
19.图2为本实用新型实施例中包含两个吐胶单元的涂布控制装置的一种结构示意图；
20.图3为本实用新型实施例中包含一个吐胶单元的涂布控制装置的另一种结构示意图；
21.图4为本实用新型实施例中包含两个吐胶单元的涂布控制装置的另一种结构示意图。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，并不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.本实用新型实施例提供了一种涂布控制装置，该涂布控制装置至少包括：至少一个吐胶单元100、阀门控制单元110、通断控制阀120和控制器130，为了能够清楚的描述该涂布控制装置中各单元以及各组件之间的结构关系，下面仅以包含一个吐胶单元100的涂布控制装置和包含两个吐胶单元100的涂布控制装置为例，对涂布控制装置的内部结构进行详细说明。
24.参阅图1和图2所示，分别为包含一个吐胶单元的涂布控制装置和包含两个吐胶单元的涂布控制装置的主要结构示意图，本实用新型实施例提供的涂布控制装置中，每个吐胶单元100的真空支路连接到真空管路，真空管路上设置有通断控制阀120，通断控制阀120与阀门控制单元110连接，阀门控制单元110与控制器130连接；每个吐胶单元100包括吐胶控制泵101、真空保持阀102、第一压力传感器103和出料控制阀104，吐胶控制泵101的真空入口105连接到真空支路，真空保持阀102设置在真空支路上且与阀门控制单元110连接，第一压力传感器103设置在真空支路上且位于吐胶控制泵101的真空入口105和真空保持阀102之间，出料控制阀104分别与吐胶控制泵101的出料口106和阀门控制单元110连接。
25.实际应用中，在如图1所示的包含一个吐胶单元100的涂布控制装置正常运转时，通断控制阀120、真空保持阀102和出料控制阀104在控制器130和阀门控制单元110的作用下处于开通状态，真空经过真空管路和真空支路，从真空入口105进入到吐胶控制泵101中，
吐胶控制泵101控制出胶进行涂布。第一压力传感器103实时检测吐胶控制泵101的压力，并将检测的数据上传到控制器130进行数据处理。当第一压力传感器103检测值低于预警值或者第一压力传感器103检测值低于警报值时，控制器130控制阀门控制单元110关闭真空保持阀102，从而起到保持吐胶控制泵101内部真空压力的作用。
26.在具体实施时，当第一压力传感器103检测值低于预警值时，控制器130控制阀门控制单元110关闭真空保持阀102，涂布设备停止工作，操作人员判断是否存在真空压力不稳或者管路漏气等情况，并选择是否需要打开真空保持阀102。当第一压力传感器103检测值低于警报值时，控制器130控制阀门控制单元110关闭真空保持阀102，涂布设备关机，操作人员介入处理。通过及时关闭真空保持阀102有效的避免因真空压力不稳、管路漏气、人员误触等情况造成吐胶控制泵101内部断真空的情况，减少树脂杯产生褶皱的可能性。并且，当涂布设备控制柜断电时，控制器130控制阀门控制单元110关闭真空保持阀102，这可以使吐胶控制泵101保持一定负压，减少对树脂杯的损伤。
27.实际应用中，在如图2所示的包含两个吐胶单元100的涂布控制装置正常运转时，两个真空支路上的通断控制阀120、通断控制阀120和出料控制阀104在控制器130和阀门控制单元110的作用下处于开通状态，真空经过真空管路分进入到两个真空支路，分别经真空入口105进入到相应的吐胶控制泵101中，两个吐胶控制泵101均处于工作状态。两个第一压力传感器103实时检测吐胶控制泵101的压力，并将检测的数据上传到控制器130进行数据处理。当两个第一压力传感器103中存在检测值低于预警值或者警报值的情况，控制器130会控制阀门控制单元110关闭对应支路的真空保持阀102，从而起到保持对应吐胶控制泵101内部真空压力的作用。在具体实施时，当左侧的第一压力传感器103检测值低于预警值时，控制器130控制阀门控制单元110关闭左侧真空保持阀102涂布设备停止工作，操作人员判断是否存在真空压力不稳或者管路漏气等情况，并选择是否需要打开左侧真空保持阀102。当左侧的第一压力传感器103检测值低于警报值时，控制器130控制阀门控制单元110关闭左侧的真空保持阀102，涂布设备关机，操作人员介入处理。同样的操作也适用于右侧的吐胶单元100。通过及时关闭两侧真空保持阀102有效的避免因真空压力不稳、管路漏气、人员误触等情况造成两侧吐胶控制泵101内部断真空的情况，减少两侧树脂杯产生褶皱的可能性。并且，当涂布设备控制柜断电时，控制器130控制阀门控制单元110关闭两侧真空保持阀102，这可以使两侧的吐胶控制泵101保持一定负压，减少对两侧树脂杯的损伤。
28.在一种可能的实施方式中，每个吐胶单元100还包括与阀门控制单元110连接的检修阀140，检修阀140设置在真空支路上且位于吐胶控制泵101的真空入口105和真空保持阀102之间。
29.实际应用中，在如图3所示的包含一个吐胶单元100的涂布控制装置中，检修阀140用于解除吐胶控制泵101中的真空状态，当吐胶控制泵101设备需要维修时，可以打开检修阀140对吐胶控制泵101进行解压，解压后可以拆解吐胶控制泵101进行后续的维修工作。
30.实际应用中，在如图4所示的包含两个吐胶单元100的涂布控制装置中，检修阀140用于解除对应真空支路的吐胶控制泵101的真空状态，可以通过打开对应的吐胶控制泵101的检修阀140实现解压，并进行拆解维修。
31.在一种可能的实施方式中，通断控制阀120、各真空保持阀102和各出料控制阀104为气动阀，各检修阀140为手动阀。
32.实际应用中，在如图3所示的包含一个吐胶单元100的涂布控制装置和如图4所示的包含两个吐胶单元100的涂布控制装置中，通断控制阀120、各真空保持阀102和各出料控制阀104均为气动阀，需要通过气体控制阀门的驱动；包含一个吐胶单元100或两个吐胶单元100的涂布控制装置中的检修阀140均为手动阀，可以在设备断电的情况下，人工手动打开对应真空管路的检修阀140进行解压，使设备拆解与维修更加方便。
33.在一种可能的实施方式中，阀门控制单元110包括与通断控制阀120、各真空保持阀102和各出料控制阀104一一对应连接的电动阀，每个电动阀与控制器130连接。
34.实际应用中，在如图3所示的包含一个吐胶单元100的涂布控制装置和如图4所示的包含两个吐胶单元100的涂布控制装置中，控制器130均与电动控制阀之间电连接，阀门控制单元110中的电动阀通过气体管路与通断控制阀120、各真空保持阀102和各出料控制阀104一一对应连接。控制器130均通过控制电磁阀的接通或截断，控制气体管路中是否有气体通入，进而可以控制管路中的气动阀，即通断控制阀120、各真空保持阀102和各出料控制阀104。
35.在一种可能的实施方式中，每个吐胶单元100还包括液位传感器150，液位传感器150设置在真空支路上且位于吐胶控制泵101的真空入口105和压力传感器之间。
36.实际应用中，在如图3所示的包含一个吐胶单元100的涂布控制装置中，液位传感器150设置于吐胶控制泵101的真空入口105和压力传感器之间，主要用于检测真空支路中是否存在液体，检测的液位信息会上传到控制器130进行数据处理。当液位传感器150检测到管路中存在液体时,控制器130会瞬时控制对应管路上的真空保持阀102关闭，可以实现真空保压，避免吐胶控制泵101内部树脂杯因压力骤降产生褶皱而无法使用。
37.实际应用中，在如图4所示的包含两个吐胶单元100的涂布控制装置中，液位传感器150分别设置于两个真空支路上，具体设置于每个支路上的吐胶控制泵101的真空入口105和压力传感器之间，主要用于检测所在真空支路中是否存在液体。当液位传感器150检测到所在真空支路中存在液体时,控制器130会瞬时控制对应支路上的真空保持阀102关闭。一方面，可以保持对应吐胶控制泵101内的真空状态，避免树脂杯因压力骤降产生褶皱而无法使用，另一方面，可以有效的减少因一侧吐胶控制泵101漏液对另一侧吐胶控制泵101造成的不良影响。
38.在一种可能的实施方式中，涂布控制装置还包括真空存液槽160，真空存液槽160设置在真空管路上且位于通断控制阀120后面。
39.实际应用中，在如图3所示的包含一个吐胶单元100的涂布控制装置和如图4所示的包含两个吐胶单元100的涂布控制装置中，真空存液槽160均位于通断控制阀120之后，该单元可以包含分支的支路，支路与其他需要真空的装置的管路连接，用于将管路中的真空同时提供给需要真空的装置；并且，该真空存液槽160也可以用于在管路中有漏液的情况下，对漏液进行存放。
40.在一种可能的实施方式中，参阅图3和图4所示，涂布控制装置还包括管路转换接口170，包含一个吐胶单元100或两个吐胶单元100的涂布控制装置中的管路转换接口170均设置在真空管路的末端，均用于真空管路与外部抽真空装置管路之间的转换连接。
41.在一种可能的实施方式中，参阅图3和图4所示，涂布控制装置还包括第二压力传感器180，包含一个吐胶单元100或两个吐胶单元100的涂布控制装置中的第二压力传感器
180均设置在真空管路上且位于真空存液槽160和管路转换接口170之间，均用于检测外部抽真空装置的供给压力。
42.在一种可能的实施方式中，参阅图3和图4所示，涂布控制装置还包括触摸屏190，包含一个吐胶单元100或两个吐胶单元100的涂布控制装置中的触摸屏190均与控制器130电连接，均用于操作人员控制装置中的气动阀。
43.本实用新型实施例提供的涂布控制装置中，通过在真空支路上设置真空保持阀102，可以在吐胶控制泵101出现内部压力骤降的情况下，保持吐胶控制泵101内的真空状态，避免树脂杯因压力骤降产生褶皱而破裂，延长设备的使用时间；并且，每个吐胶控制泵101对应设置真空保持阀102，可以有效的减少出现故障的吐胶控制泵101对其他吐胶控制泵101的不良影响，提高设备可靠性。同时，在真空支路上设置的检修阀140可以方便操作人员对吐胶控制泵101的拆解与维修。
44.基于同一构思，本实用新型实施例还提供了一种涂布机，包括本实用新型实施例提供的上述涂布控制装置，搬送装置，以及干燥装置。
45.本实用新型实施例提供的涂布机中，由于涂布控制装置能够在吐胶控制泵101出现内部压力骤降的情况下，保持吐胶控制泵101内的真空状态，避免树脂杯因压力骤降产生褶皱而破裂，延长设备的使用时间；每个吐胶控制泵101对应设置真空保持阀102，可以有效的减少出现故障的吐胶控制泵101对其他吐胶控制泵101的不良影响，提高设备可靠性。因此，使用涂布控制装置的涂布机也具有相应的优点，在这里不再赘述。
46.尽管已描述了本实用新型的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本实用新型范围的所有变更和修改。
47.显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型实施例的精神和范围。这样，倘若本实用新型实施例的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。