一种用于光刻胶生产的循环过滤装置的制作方法

1.本实用新型涉及光刻胶技术领域，尤其涉及一种用于光刻胶生产的循环过滤装置。


背景技术：

2.光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中，用作抗腐蚀涂层材料。半导体材料在表面加工时，若采用适当的有选择性的光刻胶，可在表面上得到所需的图像。光刻胶按其形成的图像分类有正性、负性两大类。
3.光刻胶在生产时需要进行过滤，现有的光刻胶过滤存在以下缺陷：1.仅是通过多层滤网进行过滤，过滤效果差；2.如需再次过滤，需要工人将过滤完成的胶水再次倾倒至过滤装置内部，不仅费时费力，而且效率低下，所以我们提出一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，用以解决上述所提到的问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的光刻胶过滤仅是通过多层滤网进行过滤，过滤效果差，如需再次过滤，需要工人将过滤完成的胶水再次倾倒至过滤装置内部，不仅费时费力，而且效率低下的缺点，而提出的一种用于光刻胶生产的循环过滤装置。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，包括第一箱体和第二箱体，所述第一箱体和第二箱体相互靠近的一侧均开设有相连通的第一通孔，所述第一箱体和第二箱体相互靠近的一侧均开设有相连通的第二通孔，所述第二箱体的底部固定连接有支撑杆，所述第二箱体的顶部固定连通有进料漏斗，所述第二箱体的内部设置有用于过滤胶水的过滤组件；
7.所述第一箱体的内部滑动连接有滑动板，所述滑动板的顶部固定连接有第二三角板，所述第二三角板的顶部转动连接有丝杆，所述丝杆的顶部螺纹贯穿第一箱体，所述第一箱体的顶部设置有用于驱动丝杆转动的驱动组件。
8.优选地，所述过滤组件包括分别固定连接在第二箱体两侧内壁的多个固定块，所述固定块的一侧开设有卡槽，相对应的两个所述卡槽的内部卡合有同一个滤网，用于过滤胶水。
9.优选地，所述驱动组件包括固定连接在第一箱体顶部的u型板，所述u型板的底部固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定连接有转轴，所述转轴的底部固定连接有第一齿轮，所述第一箱体的顶部转动连接有与第一齿轮相啮合的第二齿轮，所述丝杆滑动贯穿第二齿轮，用于驱动丝杆转动。
10.优选地，所述第二箱体的一侧铰接有箱门，所述箱门的一侧固定连接有挂钩，所述第一箱体的一侧固定连接有与挂钩配合使用的搭扣，用于更换滤网。
11.优选地，所述第二箱体的底部内壁固定连接有第一三角板，所述第一箱体的一侧内壁固定连接有密封板，所述第二箱体的底部固定连通有出液管，所述出液管上设置有阀门，用于出料。
12.优选地，所述第一箱体的一侧内壁滑动连接有挡板，所述挡板与滑动板的一侧相抵触，所述挡板的底部固定连接有横板，所述横板的底部与第一箱体的底部内壁之间固定连接有同一个压簧，用于带动挡板上升。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
14.1、将需要过滤的胶水通过进料漏斗投入至第二箱体的内部，并通过多个孔径不同的滤网后，实现过滤功能，过滤完成后的胶水通过第二通孔进入第一箱体的内部；
15.2、启动伺服电机，伺服电机的输出轴带动转轴转动，转轴带动第一齿轮转动，第一齿轮带动第二齿轮转动，第二齿轮带动丝杆转动，丝杆带动滑动板和第二三角板竖直向上移动，滑动板和第二三角板将胶水竖直向上推动；
16.3、同时挡板和横板在压簧的弹力作用下竖直向上移动，堵住第二通孔，胶水逐渐上升通过第一通孔再次回流至第二箱体的内部，此时使得伺服电机的输出轴反转，进而将滑动板和第二三角板恢复至初始位置，同时滑动板在移动到最低点时会带动横板竖直向下移动，横板带动挡板竖直向下移动并挤压压簧，便于继续使用。
17.本实用新型中，通过设置过滤组件可以实现基本的过滤功能，同时可以轻松改变滤网的数量，也能方便拆卸和安装，通过驱动组件可以将过滤后的胶水进行再次过滤，提升过滤效果，同时不需要人工搬运，减少工人的工作量，使用方便。
附图说明
18.图1为本实用新型提出的一种用于光刻胶生产的循环过滤装置第一视角的三维结构示意图；
19.图2为本实用新型提出的一种用于光刻胶生产的循环过滤装置第二视角的三维结构示意图；
20.图3为本实用新型提出的一种用于光刻胶生产的循环过滤装置的三维剖视结构示意图；
21.图4为本实用新型中滑动板和第二三角板的三维结构示意图。
22.图中：1、第一箱体；2、u型板；3、进料漏斗；4、第二箱体；5、箱门；6、支撑杆；7、阀门；8、出液管；9、挂钩；10、搭扣；11、转轴；12、第一齿轮；13、伺服电机；14、丝杆；15、第二齿轮；16、第一通孔；17、固定块；18、滤网；19、卡槽；20、第一三角板；21、第二通孔；22、挡板；23、滑动板；24、第二三角板；25、密封板；26、横板；27、压簧。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
24.实施例一
25.参照图1-4，一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，包括第一箱体1和第二箱体4，
第一箱体1和第二箱体4相互靠近的一侧均开设有相连通的第一通孔16，第一箱体1和第二箱体4相互靠近的一侧均开设有相连通的第二通孔21，第二箱体4的底部固定连接有支撑杆6，第二箱体4的顶部固定连通有进料漏斗3，第二箱体4的内部设置有用于过滤胶水的过滤组件；
26.第一箱体1的内部滑动连接有滑动板23，滑动板23的顶部固定连接有第二三角板24，第二三角板24的顶部转动连接有丝杆14，丝杆14的顶部螺纹贯穿第一箱体1，第一箱体1的顶部设置有用于驱动丝杆14转动的驱动组件。
27.实施例二
28.参照图1-4，一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，包括第一箱体1和第二箱体4，第一箱体1和第二箱体4相互靠近的一侧均开设有相连通的第一通孔16，第一箱体1和第二箱体4相互靠近的一侧均开设有相连通的第二通孔21，第二箱体4的底部固定连接有支撑杆6，第二箱体4的顶部固定连通有进料漏斗3，第二箱体4的内部设置有用于过滤胶水的过滤组件，过滤组件包括分别固定连接在第二箱体4两侧内壁的多个固定块17，固定块17的一侧开设有卡槽19，相对应的两个卡槽19的内部卡合有同一个滤网18，用于过滤胶水；
29.第一箱体1的内部滑动连接有滑动板23，滑动板23的顶部固定连接有第二三角板24，第二三角板24的顶部转动连接有丝杆14，丝杆14的顶部螺纹贯穿第一箱体1，第一箱体1的顶部设置有用于驱动丝杆14转动的驱动组件，驱动组件包括固定连接在第一箱体1顶部的u型板2，u型板2的底部固定连接有伺服电机13，伺服电机13的输出轴固定连接有转轴11，转轴11的底部固定连接有第一齿轮12，第一箱体1的顶部转动连接有与第一齿轮12相啮合的第二齿轮15，丝杆14滑动贯穿第二齿轮15，用于驱动丝杆14转动，第二箱体4的一侧铰接有箱门5，箱门5的一侧固定连接有挂钩9，第一箱体1的一侧固定连接有与挂钩9配合使用的搭扣10，用于更换滤网18，第二箱体4的底部内壁固定连接有第一三角板20，第一箱体1的一侧内壁固定连接有密封板25，第二箱体4的底部固定连通有出液管8，出液管8上设置有阀门7，用于出料，第一箱体1的一侧内壁滑动连接有挡板22，挡板22与滑动板23的一侧相抵触，挡板22的底部固定连接有横板26，横板26的底部与第一箱体1的底部内壁之间固定连接有同一个压簧27，用于带动挡板22上升。
30.工作原理：在使用时，将需要过滤的胶水通过进料漏斗3投入至第二箱体4的内部，并通过多个孔径不同的滤网18后，实现过滤功能，过滤完成后的胶水通过第二通孔21进入第一箱体1的内部，启动伺服电机13，伺服电机13的输出轴带动转轴11转动，转轴11带动第一齿轮12转动，第一齿轮12带动第二齿轮15转动，第二齿轮15带动丝杆14转动，丝杆14带动滑动板23和第二三角板24竖直向上移动，滑动板23和第二三角板24将胶水竖直向上推动，同时挡板22和横板26在压簧27的弹力作用下竖直向上移动，堵住第二通孔21，胶水逐渐上升通过第一通孔16再次回流至第二箱体4的内部，此时使得伺服电机13的输出轴反转，进而将滑动板23和第二三角板24恢复至初始位置，同时滑动板23在移动到最低点时会带动横板26竖直向下移动，横板26带动挡板22竖直向下移动并挤压压簧27，便于继续使用。
31.然而，如本领域技术人员所熟知的，伺服电机13的工作原理和接线方法是司空见惯的，其均属于常规手段或者公知常识，在此就不再赘述，本领域技术人员可以根据其需要或者便利进行任意的选配。
32.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不
局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。