一种晶圆切割清洗液加工用混合装置的制作方法

文档序号:32485769发布日期:2022-12-10 01:01阅读:172来源:国知局
一种晶圆切割清洗液加工用混合装置的制作方法

1.本实用新型属于清洗液加工设备技术领域,具体涉及一种晶圆切割清洗液加工用混合装置。


背景技术:

2.清洗剂是一个很大的范畴,种类繁多,包括无机清洗和有机清洗两大类,有机清洗剂与无机清洗剂的区别简单地说,有机清洗剂就是含碳的化合物制成的清洗剂,无机清洗剂就是不含碳的化合物制成的清洗剂,因此它们属于无机物。清洗剂的分类方法也很多,各国都不尽相同,我们通常分成水系,半水系、非水系清洗剂三大类。
3.清洗剂在进行加工时,需要利用混合装置将混合后的多种溶剂进行搅拌,然而市面上各种的混合装置仍存在各种各样的问题,如现有技术中的需要将混合后的多种溶剂进行搅拌,在进行注料时,固态和液态的原料在注料口易造成堵塞的现象,从而对实际的混合效果和混合质量有较大的影响,具有一定的局限性,为此,我们提出一种晶圆切割清洗液加工用混合装置。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种晶圆切割清洗液加工用混合装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种晶圆切割清洗液加工用混合装置,包括筒体,还包括:
6.六个对称设置的喷淋机构:六个所述喷淋机构关于所述筒体的圆心呈圆周对称设置,每个所述喷淋机构包括连接管,所述连接管的输入端连接有料仓,每个所述料仓的内端面均匀安装有十四个注料管,每个所述注料管的输出端均安装有料嘴;
7.顶盖:所述顶盖可拆卸安装在所述筒体内壁的顶部;
8.混合机构:所述混合机构包括电机,所述电机的电机轴下端可拆卸安装有连接柱,所述连接柱的圆周表面安装有多个横板,每个所述横板的上端面和下端面均安装有多个搅拌板,所述连接柱的下端面安装有支撑柱;
9.多个注料口:多个所述注料口安装在所述顶盖的内部,且多个所述注料口的下端均延伸至所述顶盖的下端;
10.多个卸料口:多个所述卸料口安装在所述筒体侧壁的偏下部。
11.优选的,所述筒体的下端面安装有两个对称设置且为工字型结构的支脚。
12.优选的,每个所述连接管的输入端均连接有输料管道。
13.优选的,所述筒体的圆周侧壁开设有卡槽,所述料仓的内端面安装在卡槽内。
14.优选的,所述支撑柱的下端安装有轴承,所述轴承设置在所述筒体的内底壁。
15.优选的,所述顶盖的中心处开设有与所述电机外径过盈配合的通孔,所述电机安装在通孔内。
16.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
17.该晶圆切割清洗液加工用混合装置,当连接管接通输料管道后,能够将液体原料引入至料仓内,再通过注料管和料嘴注入至筒体的内部,从而能够实现液体原料的输入目的,在注料口和喷淋机构的配合下能够实现固态原料和液态原料的分开注入目的,不会造成堵塞的现象,从而不会影响到实际的加工效果和加工质量,实用性强,使用效果佳。
附图说明
18.图1为本实用新型的立体示意图;
19.图2为本实用新型的正剖视图;
20.图3为本实用新型中喷淋机构的立体示意图;
21.图4为本实用新型中混合机构的立体示意图。
22.图中:1、筒体;2、支脚;3、喷淋机构;301、连接管;302、料仓;303、注料管;304、料嘴;4、顶盖;5、混合机构;501、电机;502、连接柱;503、横板;504、搅拌板;505、支撑柱;506、轴承;6、注料口;7、卸料口。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
24.请参阅图1-图4,本实用新型提供一种晶圆切割清洗液加工用混合装置,包括筒体1,还包括:
25.六个对称设置的喷淋机构3:六个喷淋机构3关于筒体1的圆心呈圆周对称设置,每个喷淋机构3包括连接管301,连接管301的输入端连接有料仓302,每个料仓302的内端面均匀安装有十四个注料管303,每个注料管303的输出端均安装有料嘴304;当连接管301接通外界管道后,能够将液体原料引入至料仓302内,再通过注料管303和料嘴304注入至筒体1的内部,从而能够实现液体原料的输入目的。
26.顶盖4:顶盖4可拆卸安装在筒体1内壁的顶部;通过设置顶盖4能够保证电机501的安装稳定性,从而能够保证实际的使用效果,实用性,筒体1内壁的上端开设有与顶盖4尺寸相适配的凹槽,顶盖4坐落在凹槽内,通过设置凹槽能够保证顶盖4的安装稳定性,且能够设置筒体1与顶盖4的拆分。
27.混合机构5:混合机构5包括电机501,电机501的电机轴下端可拆卸安装有连接柱502,连接柱502的圆周表面安装有多个横板503,每个横板503的上端面和下端面均安装有多个搅拌板504,连接柱502的下端面安装有支撑柱505;启动电机501,能够带动连接柱502做圆周运动,从而能够带动其圆周表面的横板503转动,进而能够带动搅拌板504做圆周运动,从而能够实现原料的搅拌混合目的,通过设置支撑柱505则能够保证连接柱502的支撑稳定性,从而能够保证实际的使用效果。
28.多个注料口6:多个注料口6安装在顶盖4的内部,且多个注料口6的下端均延伸至顶盖4的下端;通过设置注料口6能够实现固态原料的输入目的。
29.多个卸料口7:多个卸料口7安装在筒体1侧壁的偏下部;通过设置卸料口7便于将完成混合后的清洗液引出筒体1。
30.本实施例中,优选的,筒体1的下端面安装有两个对称设置且为工字型结构的支脚2;通过设置两个支脚2能够保证筒体1的工作稳定性,从而能够保证实际的使用效果。
31.本实施例中,优选的,每个连接管301的输入端均连接有输料管道;输料管道用于输送液体原料,当连接管301接通输料管道后,能够实现液体原料注入的目的。
32.本实施例中,优选的,筒体1的圆周侧壁开设有卡槽,料仓302的内端面安装在卡槽内;通过设置卡槽能够保证料仓302的安装稳定性,从而能够保证料仓302的使用效果。
33.本实施例中,优选的,支撑柱505的下端安装有轴承506,轴承506设置在筒体1的内底壁;通过设置轴承506能够保证支撑柱505的安装稳定性,且不会影响到支撑柱505的使用效果。
34.本实施例中,优选的,顶盖4的中心处开设有与电机501外径过盈配合的通孔,电机501安装在通孔内;通过设置通孔能够保证电机501的安装稳定性,从而能够保证实际的使用效果。
35.本实用新型的工作原理及使用流程:该装置使用时,通过注料口6往筒体1的内部注入固态原料,每个连接管301的输入端均连接有输料管道,输料管道用于输送液体原料,当连接管301接通输料管道后,能够将液体原料引入至料仓302内,再通过注料管303和料嘴304注入至筒体1的内部,从而能够实现液体原料的输入目的,在注料口6和喷淋机构3的配合下能够实现固态原料和液态原料的分开注入目的,不会造成堵塞的现象,从而不会影响到实际的加工效果和加工质量,实用性强,使用效果佳;
36.完成注料后,启动电机501,能够带动连接柱502做圆周运动,从而能够带动其圆周表面的横板503转动,进而能够带动搅拌板504做圆周运动,从而能够实现原料的搅拌混合目的,通过设置支撑柱505则能够保证连接柱502的支撑稳定性,支撑柱505的下端安装有轴承506,轴承506设置在筒体1的内底壁,通过设置轴承506能够保证支撑柱505的安装稳定性,且不会影响到支撑柱505的使用效果;
37.完成搅拌混合后,通过卸料口7能够将完成混合后的清洗液引出筒体1。
38.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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