废气净化装置及处理设备的制作方法

1.本实用新型涉及废气处理技术领域，尤其是涉及一种废气净化装置及处理设备。


背景技术：

2.在半导体、面板显示器、发光二极管(light emitting diode，led)、太阳能等领域中，化学气相沉积(chemical vapour deposition，cvd)/蚀刻(etch)/模内装饰技术(in-mold decoration，imp)(离子注入)、扩散(diff)等生产工序过程中都会产生工艺废气。以半导体制造为例，半导体设备在生产时产生的工艺废气可以分为如下三类：第一类是易燃易爆气体，如氢气(h2)、甲烷(ch4)、硅烷(sih4)等；第二类是有毒腐蚀性气体，如砷化氢(ash3)、磷化氢(ph3)、三氟化硼(bf3)、三氟化氮(nf3)、四氟化硅(sif4)、氯气(cl2)、氟化氢(hf)、氟气(f2)、氨气(nh3)等；第三类是温室效应气体如氢氟碳化合物(hfcs)、全氟碳化合物(pfcs)、甲烷(ch4)、一氧化二氮(n2o)、六氟化硫(sf6)等。
3.这些工艺废气可以通过加热后的高温环境下，发生化学反应，产生无毒、无危害性的高温气体，实现净化。然而，目前的废气净化过程中，废气会对加热件造成腐蚀。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种废气净化装置及处理设备，能够防止废气对加热件的腐蚀。
5.第一方面，本实用新型提供了一种废气净化装置，包括：
6.导热管，所述导热管的第一端用于进气，所述导热管的第二端用于出气；其中，所述导热管的内周壁设有多个导热翅片；
7.外管，套设于所述导热管外，且所述外管的内周壁和所述导热管的外周壁之间形成加热腔；
8.加热件，伸入所述加热腔内。
9.上述技术方案，通过将外管套设在导热管外以使导热管的外周壁与外管的内周壁之间形成加热腔，而加热件伸入该加热腔内，如此，在废气由导热管的第一端进入导热管内后，加热件透过导热管以对导热管内的废气加热产生化学反应，实现净化废气的目的，净化后的气体则由导热管的第二端排出，其中，由于导热管的隔离作用使加热件不与废气直接接触，因此能够防止废气对加热件的腐蚀，此外，由于在导热管的内周壁设置了多个导热翅片，因此可以增加废气在导热管内的受热面积，废气受热更加充分，加快废气高温反应速度，提高废气净化处理效率。
10.在可选的实施方式中，所述废气净化装置还包括：
11.第一连接板，连接于所述外管的第一端和所述导热管的第一端，且所述第一连接板设有与所述导热管的内腔相连通的进气口，所述加热件由所述第一连接板伸入所述加热腔内；
12.第二连接板，连接于所述外管的第二端和所述导热管的第二端，且所述第二连接
板设有与所述导热管的内腔相连通的出气口；
13.其中，所述第一连接板、所述第二连接板、所述外管和所述导热管共同围成所述加热腔。
14.上述技术方案中，通过第一连接板和第二连接板分别连接在外管和导热管，以共同形成一个密闭式的加热腔，由此使得通过第一连接板伸入加热腔的加热件能够使得加热腔整体升温，保证对导热管内废气的加热均匀性，温度更为稳定，同时，第一连接板还实现了对加热件的固定。
15.在可选的实施方式中，所述加热件在所述加热腔内的部分与所述导热管和所述外管均间隔。
16.上述技术方案，由于加热件在加热腔内的部分与导热管和外管均间隔，即加热件不与导热管和外管接触，从而加热件先加热加热腔，再通过热传递的方式将热量依次传递至导热管和翅片，进而达到加热导热管内废气的作用，热量分布更为均匀，使得废气更为均匀受热。
17.在可选的实施方式中，所述加热件沿着所述导热管的周向环绕于所述导热管之外。
18.上述技术方案，由于加热件周向环绕于导热管之外，能够使得热量分布更为均匀，废气更为均匀受热。
19.在可选的实施方式中，所述加热件包括多个加热棒，多个所述加热棒沿着所述导热管的周向间隔环绕于所述导热管之外。
20.上述技术方案，加热件的每个加热棒固定于第一连接板，以实现加热棒的安装固定，同时，由于多个加热棒周向间隔环绕于导热管之外，因此能够使得热量分布的更为均匀，由此废气更为均匀受热。
21.在可选的实施方式中，每个所述导热翅片包括相背的第一边和第二边，所述第一边连接于所述导热管的内周壁，所述第二边靠近所述导热管的中心轴线，且所述第二边相对于所述第一边靠近所述导热管的第二端。
22.上述技术方案，通过导热翅片的第一边与热管的内周壁连接，且由于导热翅片的第二边相对于第一边靠近导热管的第二端，因此可以减少导热翅片对废气的阻力。
23.在可选的实施方式中，所述第一边的中点和所述第二边的中点之间的连线与所述导热管的中心轴线所成的角度为30～60
°
。
24.上述技术方案，将导热翅片第一边的中点和第二边的中点之间的连线与导热管的中心轴线所成的角度为30～60
°
，即导热翅片与导热管的中心轴线呈30～60
°
设置，以避免导热翅片与导热管的中心轴线所成角度过大导致对废气流速造成影响，也避免角度过小导致导热翅片与废气的基础面积过小，从而保证导热翅片对废气的加热效果。
25.在可选的实施方式中，多个所述导热翅片分为多个翅片组，多个所述翅片组沿所述导热管的轴向间隔分布，每个所述翅片组包括沿着所述导热管的周向间隔分布的至少两个所述导热翅片。
26.上述技术方案，通过周向间隔分布的至少两个导热翅片绕着导热管形成一个环形圈，整体通联，且多个翅片组轴向间隔分布形成多道环形圈，以使得多个导热翅片呈一定规则均匀分布在导热管的内周壁上，增加废气的受热面积，从而使得废气受热更为均匀，有利
于增大加热效率。
27.在可选的实施方式中，所述导热管和所述外管均为圆形管。
28.上述技术方案，通过将导热管和外管均设置呈圆管状，以使得废气受热更为均匀。
29.第二方面，本实用新型提供了一种废气处理设备，包括上述实施方式的废气净化装置。
附图说明
30.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
31.图1为本实用新型实施例废气净化装置的示意图之一；
32.图2为本实用新型实施例废气净化装置的示意图之二。
33.图标：10-外管；12-加热腔；20-导热管；21-导热翅片；22-第二边；30-加热件；40-第一连接板；41-进气口；50-第二连接板；51-出气口。
具体实施方式
34.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
35.因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
36.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
37.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
38.此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
39.在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介
间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
40.下面结合附图1和图2，对本实用新型的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
41.本实用新型实施例提供了一种废气净化装置，包括导热管20、外管10和加热件30。导热管20的第一端用于进气，导热管20的第二端用于出气；其中，导热管20的内周壁设有多个导热翅片21；外管10套设于导热管20外，且外管10的内周壁和导热管20的外周壁之间形成加热腔12；加热件30，伸入加热腔12内。
42.在本实施例中，通过将外管10套设在导热管20外以使导热管20的外周壁与外管10的内周壁之间形成加热腔12，而加热件30伸入该加热腔12内，如此，在废气由导热管20的第一端进入导热管20内后，加热件30透过导热管20以对导热管20内的废气加热产生化学反应，实现净化废气的目的，净化后的气体则由导热管20的第二端排出，其中，由于导热管20的隔离作用使得加热件30不与废气直接接触，因此能够防止废气对加热件30的腐蚀，此外，由于在导热管20的内周壁设置了多个导热翅片21，因此可以增加废气在导热管20内的受热面积，废气受热更加充分，加快废气高温反应速度，提高废气净化处理效率。
43.其中，导热管20和外管10均可以为圆形管。以通过将导热管20和外管10均设置呈圆管状，以使得废气受热更为均匀。
44.在本实施例中，废气净化装置还包括第一连接板40和第二连接板50。第一连接板40连接于外管10的第一端和导热管20的第一端，且第一连接板40设有与导热管20的内腔相连通的进气口41，加热件30由第一连接板40伸入加热腔12内。第二连接板50连接于外管10的第二端和导热管20的第二端，且第二连接板50设有与导热管20的内腔相连通的出气口51。其中，第一连接板40、第二连接板50、外管10和导热管20共同围成加热腔12。
45.通过第一连接板40和第二连接板50分别连接在外管10和导热管20，以共同形成一个密闭式的加热腔12，由此使得通过第一连接板40伸入加热腔12的加热件30能够使得加热腔12整体升温，保证对导热管20内废气的加热均匀性，温度更为稳定，同时，第一连接板40还实现了对加热件30的固定。
46.其中，多个进气口41绕导热管20的中心轴呈环形间隔分布，以与废气输入管相适配。而出气口51的内径尺寸与导热管20的第二端的内径尺寸相同，以大量通过净化后的气体。
47.加热件30在加热腔12内的部分与导热管20和外管10均间隔。因此，由于加热件30在加热腔12内的部分与导热管20和外管10均间隔，即加热件30不与导热管20和外管10接触，从而加热件30先加热加热腔12，再通过热传递的方式将热量依次传递至导热管20和翅片，进而达到加热导热管20内废气的作用，热量分布更为均匀，使得废气更为均匀受热。
48.在本实施例中，加热件30沿着导热管20的周向环绕于导热管20之外。因此，由于加热件30周向环绕于导热管20之外，能够使得热量分布更为均匀，废气更为均匀受热。
49.具体来说，加热件30包括多个加热棒，多个加热棒沿着导热管20的周向间隔环绕于导热管20之外，每个加热棒固定于第一连接板40。从而加热件30的每个加热棒固定于第一连接板40，以实现加热棒的安装固定，同时，由于多个加热棒周相间隔环绕于导热管20之外，因此能够使得热量分布的更为均匀，由此废气更为均匀受热。其中，选用加热棒来进行
加热，由于加热棒的功率易于控制，因此也能够保证对废气的加热温度的可控性。
50.当然，在一些实施例中，加热件30也可以是加热线圈、加热丝等其他能够加热的元件，也能够达到均匀加热的技术效果。
51.在本实施例中，多个导热翅片21分为多个翅片组，多个翅片组沿导热管20的轴向间隔分布，每个翅片组包括沿着导热管20的周向间隔分布的至少两个导热翅片21。从而通过周向间隔分布的至少两个导热翅片21绕着导热管20形成一个环形圈，整体通联，且多个翅片组轴向间隔分布形成多道环形圈，以使得多个导热翅片21呈一定规则均匀分布在导热管20的内周壁上，增加废气的受热面积，从而使得废气受热更为均匀，有利于增大加热效率。
52.在本实施例中，每个导热翅片21包括相背的第一边和第二边22，第一边连接于导热管20的内周壁，第二边22靠近导热管20的中心轴线，且第二边22相对于第一边靠近导热管20的第二端。通过导热翅片21的第一边与热管的内周壁连接，且由于导热翅片21的第二边22相对于第一边靠近导热管20的第二端，即导热翅片21相对于导热管20的中心轴线呈倾斜的锐角(0-90
°
，其中不含0
°
和90
°
)设置，因此可以减少导热翅片21对废气的阻力。
53.将导热翅片21第一边的中点和第二边22的中点之间的连线与导热管20的中心轴线所成的角度为30～60
°
，即导热翅片21与导热管20的中心轴线呈30～60
°
设置，以避免导热翅片21与导热管20的中心轴线所成角度过大导致对废气流速造成影响，也避免角度过小导致导热翅片21与废气的基础面积过小，从而保证导热翅片21对废气的加热效果。
54.此外，本实用新型实施例提供了一种废气处理设备，包括上述实施例的废气净化装置。
55.综上，本实用新型实施例的废气净化装置和废气处理设备，由于由于导热管20的隔离作用而使得加热件30不与废气直接接触，因此能够防止废气对加热件30的腐蚀，此外，由于在导热管20的内周壁设置了多个导热翅片21，因此可以增加废气在导热管20内的受热面积，废气受热更加充分，加快废气高温反应速度，提高废气净化处理效率。
56.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。