一种过滤装置的制作方法

1.本实用新型涉及过滤设备领域，具体涉及一种多级过滤装置。


背景技术：

2.在需要使用光致抗蚀剂以及在光致抗蚀剂表面接触式真空曝光的领域，由于光致抗蚀剂存在氧阻聚及粘连光罩的问题，所以在曝光前需要在光刻胶涂层的表面涂布一层保护涂层，同时起到阻隔氧气以及防止粘连光罩的作用。
3.为了实现较好的防粘连效果，保护涂层涂布液配方中通常含有一定比例的防黏连剂，其中防黏连剂为具有纳米级的不同粒径的颗粒，但是因为颗粒的不均匀性或团聚造成过大的颗粒会在制备精细的线条结构时导致曝光缺陷，从而造成精细的线条结构断线造成不良。因此在涂布之前需要对涂布液进行过滤，但是为了达到防止粘连的效果，还需要保留一定量的颗粒。
4.如现有技术中，授权公告号为cn201632106u中公布的一种双层复合折叠滤芯，主要包括柱状粗过滤折叠滤芯和精滤折叠滤芯，柱状粗过滤滤芯套设在精滤折叠滤芯上。
5.在上述方技术方案中，采用了折叠滤芯过滤面积增大，但是该种过滤器只有两层滤芯，过滤范围比较窄，运行一段时间后，滤网容易发生堵塞的情况，会造成过滤器的进出口压力差明显增大，存在滤芯炸裂失效的风险；而且在涂布液需要保留一定颗粒的情况下，滤芯使用寿命较短，更换周期快，在实际生产中由中途停机的情况会产生很大的经济损失。
6.如现有技术中，授权公告号为cn213853330u中公布的串联多级过滤器，包括磁过滤桶、60目粗过滤桶、100目精过滤桶和200目精过滤桶，主要用在工业废液处理设备中，工业废液先经过磁过滤桶，再依次经过60目过滤桶、100目过滤桶和200目过滤桶；最终完成过滤。
7.在上述技术方案中，过滤桶的精度已经固定，过滤精度不能满足要求。
8.综上所述，现有技术中存在过滤精度不够、单个过滤器的过滤范围小容易发生堵塞或者整个过滤装置过滤精度不能满足需要求的问题。


技术实现要素：

9.本实用新型的目的就在于为了解决现有技术中存在的问题提出一种过滤装置，详见下文阐述。
10.一种过滤装置，包括多级过滤器，所述多级过滤器包括若干个依次连接的单级过滤器，上一级单级过滤器的过滤精度小于下一级单级过滤器的过滤精度；单级过滤器包括容器和滤芯，滤芯设置在容器的内部，滤芯由外向内设置有至少三层滤膜，滤芯包括外层滤膜、内层滤膜和至少一层中间层滤膜；外层滤膜的过滤精度大于等于中间层滤膜的过滤精度，中间层滤膜的过滤精度大于等于内层滤膜的过滤精度。
11.在上述技术方案中，先根据过滤需求设置合适数量的单级过滤器，单级过滤器由过滤精度由低到高的顺序串联起来。接着由泵将待过滤液体输送至单级过滤器内，最后待
过滤液体在压力的作用下输送至后续的单级过滤器中。
12.进一步的，例如当滤膜设置有三层时，最外层滤膜为外层滤膜，最内层滤膜为内层滤膜，介于最外层滤膜和最内层滤膜之间的一层滤膜为中间层滤膜；当滤膜设置有六层时，最外层滤膜为外层滤膜，最内层的滤膜为内层滤膜，位于最外层滤膜和最内层滤膜之间的四层滤膜为中间层滤膜。上一级单级过滤器的内层滤膜的过滤精度小于等于下一级单级过滤器的外层滤膜。
13.在上述方案中，将上一级滤芯内层滤膜的过滤精度小于或等于下一级滤芯外层滤膜的过滤精度，可以使整个过滤系统的过滤精度更加平滑，待过滤液体在过滤装置内流通更加流畅。
14.进一步的，在滤芯上设置有安装盘，安装盘分为顶部安装盘和底部安装盘，顶部安装盘设置在滤芯的顶部，底部安装盘设置在滤芯的底部；底部安装盘上开设有通孔，底部安装盘与容器相连接；在两个安装板之间设置有支撑架。
15.在上述方案中，通过设置安装盘，将滤芯和容器连接在一起，避免了在泵输送液体时的冲击下，改变滤芯在容器内部的位置，影响过滤效果。通过设置支撑架，可以避免单独的滤膜无法承受安装盘的重量，以免压坏滤芯。
16.进一步的，支撑架包括内部支撑架和外部支撑架，内部支撑架位于滤芯的内部，外部支撑架位于滤芯的外部；支撑架采用网格栅栏结构；使用时可以单独使用外部支撑架或者内部支撑架，也可以外部支撑架和内部支撑架结合起来用。
17.在上述方案中，通过设置网格栅栏格式的支撑架，可以在起到支撑安装板的同时还能保证液体能够继续经过滤芯过滤。
18.进一步的，滤膜均采用折叠结构，材料选择pp材质
19.在上述方案中，通过采用折叠滤膜可以增大滤芯的过滤面积，采用pp材质可以增加滤芯的使用寿命。
20.进一步的，过滤装置包括泵，泵和第一级单级过滤器，即过滤精度最低的单级过滤器，相串联；泵用于待过滤液体输送至第一级单级过滤器中。
21.在上述方案中，通过设置泵提高待过滤液体进入过滤装置的速度。
22.进一步的，容器包括底盘和壳体，壳体安装在底盘上，壳体和底盘之间形成一个密封的容器。
23.在上述方案中，容器是由壳体和底盘两个可拆分的零部件组成，形成一个可以分离的空间，便于安装和更换设置在容器内部的滤芯。
24.进一步的，在底盘上开设容器入口和容器出口，泵与第一级容器的容器入口串联。各级容器之间通过上一级的容器出口与下一级的入口串联在一起。
25.在上述方案中，各级容器可以通过在底盘上开始的容器进口和容器出口串联起来，保证了整个过滤装置的一致性。
26.进一步的，在容器的顶端设置有压力表和泄压阀。
27.在上述方案中，通过设置压力表可以便于观察容器内部的压力情况，在容器内部的压力高于预计值的时候，可以通过泄压阀将容器内部的压力消除，避免造成安装隐患，还可以减少管道内的空气形成气泡的风险。
28.进一步的，在容器的底部设置有架体。
29.在上述方案中，通过设置架体，是容器在一个平稳的状态下，避免影响到过滤效果。
30.与现有技术方案相比，有益效果在于：
31.1.通过设置多层折叠滤膜与单个过滤容器配合，在相同过滤精度的情况下，保证过滤精度的同时还能够保证减少整个装置占地面积。
32.2.整个装置的过滤精度呈阶梯分布，可是使装置在保持过滤精度的同时还能减轻滤芯堵塞的情况，保证了带过滤液体的流通性。
33.3.设置压力表和泄压阀保证了整个装置运行时的稳定性和可靠性。
附图说明
34.图1为本实用新型的整体结构示意图；
35.图2为本实用新型滤芯的剖视图；
36.图3为本实用新型滤芯的剖视图；
37.图4为涂布液过滤前放大50倍的显微镜视图；
38.图5为涂布液在实施例7过滤后放大50倍的显微镜视图。
39.附图标记说明如下：
40.1.泵，2.容器，21.壳体，22.底盘，221容器入口，222.容器出口，3.架体，4.压力表，5.泄压阀，6.滤芯，61.滤膜，611.外层滤膜，612.中间层滤膜，613.内层滤膜，62.支撑架，621.外部支撑架，622.内部支撑架，63.安装盘，631.顶部安装盘，632.底部安装盘，7.管道。
具体实施方式
41.附图仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制；为了更好说明本实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对于本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。附图中描述位置关系仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制。
42.本实用新型实施的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本实用新型的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”“长”“短”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
43.下面通过具体实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案做进一步的具体描述：
44.实施例1
45.一种过滤装置的实施例1，包括多级过滤器，多级过滤器包括若干个依次连接的单级过滤器，上一级单级过滤器的过滤精度小于下一级单级过滤器的过滤精度；单级过滤器包括容器2和滤芯6，滤芯6设置在所述容器2的内部，滤芯6由外向内设置有至少三层滤膜61；所述滤膜61包括外层滤膜611、内层滤膜613和至少一层中间层滤膜612；所述外层滤膜611的过滤精度小于等于中间层滤膜612的过滤精度，所述中间层滤膜612的过滤精度小于
等于内层滤膜613的过滤精度。
46.本实施例工作原理：根据需求选择合适数量的单级过滤器，各级过滤器按照过滤精度由低到高的顺序串联起来；待过滤液体从过滤精度最低的单级过滤器进入过滤装置，待过滤液体先穿过过滤精度最低的单级过滤器的外层滤膜611、中间层滤膜612和内层滤膜613，经过上述过程一个单级过滤器完成对待过滤液体的过滤。待过滤液体进入下一级单级过滤器，重复上述运行过程，最终完成整个过滤过程。
47.本实施例有益效果：通过设置多级过滤器增大了整个过滤装置的过滤范围，单个滤芯内部设置了多层滤膜可以减小整个装置的体积以及减轻了滤芯的堵塞情况。
48.实施例2
49.一种过滤装置的实施例2，与实施例1的主要区别在于，上一级单级过滤器的内层滤膜613的过滤精度小于等于下一级单级过滤器的外层滤膜611的过滤精度。
50.其余技术特征和工作原理与实施例1相同。
51.本实施例有益效果：通过设置上一级单级过滤器的内层滤膜的过滤精度小于等于下一级单级过滤器的外层滤膜的过滤精度，使整个过滤装置的过滤更加平滑，使待过滤液体在过滤时更加流畅。
52.实施例3
53.一种过滤装置的实施例3，包括多级过滤器，多级过滤器包括若干个依次连接的单级过滤器，上一级单级过滤器的过滤精度小于下一级单级过滤器的过滤精度；单级过滤器包括容器2和滤芯6，滤芯6设置在所述容器2的内部，滤芯6由外向内设置有至少三层滤膜61；所述滤膜61包括外层滤膜611、内层滤膜613和至少一层中间层滤膜612；所述外层滤膜611的过滤精度小于等于中间层滤膜612的过滤精度，所述中间层滤膜612的过滤精度小于等于内层滤膜613的过滤精度。
54.其中在滤芯6的上安装有安装盘63，安装盘63又分为顶部安装盘631和底部安装盘632；顶部安装盘631安装在滤芯6的顶部，底部安装盘632安装在滤芯6的底部，底部安装盘632的底部开设有通孔，底部安装盘632与容器2固定连接，使滤芯6的内部和外滤芯6与容器2之间形成两个单独的空间，在底部安装盘632上还设置有通孔。在顶部安装板631和底部安装板632之间设置有支撑架。
55.支撑架62采用网格栅栏结构，并且支撑架62包括外部支撑架621和内部支撑架622，外部支撑架621设置外层滤膜611的外侧，内部支撑架622设置在内层滤膜613的内侧。
56.本实施例工作原理：在底部安装盘632上先设置外部支撑架621和内部支撑架622；再在外部支撑架621和内部支撑架622之间设置滤膜61，最后顶部安装盘631设置在支撑架62的顶部，使滤芯内部之间形成一个空间；最终完成一个完整的滤芯6。将完整的滤芯6设置在容器2的内部，完成一个完整的单级过滤器。根据实际使用情况选择合适数量的单级过滤器，各级过滤器按照过滤精度由低到高的顺序串联起来；待过滤液体先进入过滤精度最低的单级过滤器，穿过过滤精度最低的单级过滤器的外层滤膜611、中间层滤膜612和内层滤膜613，完成一次过滤；完成一次过滤后，待过滤液体进入下一级单级过滤器，重复上述运行过程，最终整个过滤过程。
57.本实施例有益效果：
58.1.通过设置了安装盘，可以避免在待测过滤液体的冲击下滤芯与容器脱离。
59.2.在滤芯上设置有支撑架，可以使滤芯在过滤时候不会发生倾斜以免对过滤造成影响。
60.实施例4
61.一种过滤装置的实施例4，与实施例3的主要区别在于，滤膜61采用折叠结构，材料选择pp材质.
62.其余技术特征和工作原理与实施例1一致.
63.本实施例有益效果：滤膜采用折叠结构可以增加滤膜的过滤面积，采用pp材质，在保证过滤精度的同时还能增加滤芯的使用寿命。
64.实施例5
65.一种过滤装置的实施例5，包括多级过滤器，多级过滤器包括若干个依次连接的单级过滤器，上一级单级过滤器的过滤精度小于下一级单级过滤器的过滤精度；单级过滤器包括容器2和滤芯6，滤芯6设置在所述容器2的内部，滤芯6由外向内设置有至少三层滤膜61；所述滤膜61包括外层滤膜611、内层滤膜613和至少一层中间层滤膜612；所述外层滤膜611的过滤精度小于等于中间层滤膜612的过滤精度，所述中间层滤膜612的过滤精度小于等于内层滤膜613的过滤精度。
66.进一步的，过滤装置包括泵，泵和第一级单级过滤器，即过滤精度最低的单级过滤器，相串联；泵用于将待过滤液体输送至第一级单级过滤器中。
67.本实施例的工作原理：根据需求选择合适数量的单级过滤器，各级过滤器按照过滤精度由低到高的顺序串联起来；泵1与第一级单级过滤器，即过滤精度最低的单级过滤器串联；由泵1将待过滤的液体输送至第一级单级过滤器的容器内，在压力的作用下，待过滤液体再穿过外层滤膜611、中间层滤膜612和内层滤膜613，完成一次过滤。完成一次过滤后，待过滤液体进入下一级单级过滤器，重复上述运行过程，最终整个过滤过程。
68.本实施例的有益效果：通过设置泵，增加了待过滤液体进入过滤装置的速度；通过设置多级过滤器增大了整个过滤装置的过滤范围，单个滤芯内部设置了多层滤膜可以减小整个装置的体积以及减轻了滤芯的堵塞情况。
69.实施例6
70.一种过滤装置的实施例6，包括多级过滤器，多级过滤器包括若干个依次连接的单级过滤器，上一级单级过滤器的过滤精度小于下一级单级过滤器的过滤精度；单级过滤器包括容器2和滤芯6，滤芯6设置在所述容器2的内部，滤芯6由外向内设置有至少三层滤膜61；所述滤膜61包括外层滤膜611、内层滤膜613和至少一层中间层滤膜612；所述外层滤膜611的过滤精度小于等于中间层滤膜612的过滤精度，所述中间层滤膜612的过滤精度小于等于内层滤膜613的过滤精度。
71.其中容器2包括壳体21和底盘22，壳体21安装在底盘22上，壳体21和底盘22形成一个密闭空间。
72.在底盘22上设置有容器入口221和容器出口222，上一级单级过滤器的容器出口221和下一级单级过滤器的容器入口221通过管道7连通；泵1和第一级单级过滤器的容器入口221通过挂到7连通。
73.本实施例工作原理：先将滤芯6设置在底盘22上，再将壳体21设置在底盘22上，使滤芯6设置位于壳体21和底盘22之间的密封空间内，完成一个完整的单级过滤器。根据过滤
的需求选择合适数量单级过滤器，先将泵1与第一级单级过滤器的容器入口221连通，再通过第一级单级过滤器的容器出口222将与下一级单级过滤器连通；后续各个单级过滤器中的上一级单级过滤器的容器出口221和下一级单级过滤器的容器入口221连通；各个单级过滤器按照过滤精度由低到高的顺序串联起来，最终完成整个过滤装置的串联。在运行时，待过滤液体先进入过滤等级最低的单级过滤器，接着待过滤液体穿过过滤等级最低的单级过滤器的外层滤膜611，接着穿过中间层滤膜612，最后穿过内层滤膜613，使待过滤液到达滤芯6的内部，完成一次过滤，接着待过滤经过容器出口221进入到下一级单级过滤器内，重复上述运行过程最终完成整个过滤过程。
74.本实施例有益效果：容器包括底盘和壳体，底盘和壳体是可拆分的，便于滤芯的安装更换。
75.实施例7
76.一种过滤装置的实施例7，与实施例6的主要区别在于在容器2上设置有压力表4和泄压阀5，容器2的底部设置有架体3。
77.其余技术特征和工作原理与实施例6一致。
78.本实施例有益效果：通过设置压力表可以随之观察容器内部的压力，通过设置泄压阀可以将容器内多余的气体排出，通过设置架体3可以保证在过滤时容器和滤芯处于一个平稳的状态。
79.实施例8
80.一种过滤装置的实施例8，过滤一种涂布液，目标保留2um以下粒径的颗粒；包括泵1和泵连接的单级过滤器，在泵1输出功率相同的情况下；
81.对比例1：采用单级囊氏过滤器，过滤孔径1um，初始流度为10ml/min*cm2；过滤一段时间后出现滤芯堵塞的情况。
82.对比例2：采用单级囊氏过滤器，滤芯采用单层过滤直径为1um的折叠滤膜，初始流速为15ml/min*cm2，过滤一段时间后出现滤芯堵塞的情况。
83.对比例3：采用两级囊氏过滤器，第一级囊氏过滤器中的滤芯采用单层且过滤直径为2um的折叠滤膜，第二级囊氏过滤器中的滤芯采用单层且过滤直径为1um的折叠滤膜；过滤效果和过滤流畅性均可，流速为38ml/min*cm2，但是存在滤芯使用寿命短的问题。
84.采用本实用新型的技术方案，共设置两级单级过滤器；第一级单级过滤器中的滤芯6设置有三层滤膜61，外层滤膜611、中间层滤膜612和内层滤膜613均选择过滤精度为2um的滤膜；第二级单级过滤器中的滤芯6设置有三层滤膜61，外层滤膜611、中间层滤膜612和内层滤膜613均选择过滤精度为1um的滤膜；滤膜均采用pp折叠滤膜。结果过滤流畅，流速为32ml/min*cm2，滤芯的使用寿命和对比例3相比增加了三倍。通过附图5和附图4比较，在涂布液放大250倍的情况下，可以看出过滤后的颗粒数量明显比过滤前的颗粒数量减少很多，而且较大颗粒较少，颗粒均匀度也相对较。
85.其余技术特征和工作原理与实施例5一致。
86.本实施例有益效果：和现有技术相比，在能够完成过滤的同时还能有效提高了滤芯的使用寿命。
87.实施例9
88.一种过滤装置的实施例9，过滤一种涂布液，目标保留2um以下粒径的颗粒；包括泵
1和泵连接的单级过滤器，单级过滤器共设置有两级，与实施例7的主要区别在于：
89.第一级单级过滤器中的滤芯6设置有三层滤膜61，外层滤膜611选择过滤精度为3um的滤膜，中间层滤膜612和内层滤膜613均选择过滤精度为2um的滤膜。
90.第二级单级过滤器中的滤芯6设置有三层滤膜61，外层滤膜611选择过滤精度为3um的滤膜，中间层滤膜612和内层滤膜613均选择过滤精度为2um的滤膜；滤膜采用pp折叠膜。
91.结果过滤流畅，流速为38ml/min*cm2，使用寿命在实施例8的基础上略有提高。
92.其余技术特征和工作原理与实施例8一致。
93.本实施例有益效果：和实施例8相比最终的过滤流速和使用寿命略有提高。
94.显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其他不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所做的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。