消除瞬间冒黄烟的系统的制作方法

本技术涉及废气处理，尤其涉及一种消除瞬间冒黄烟的系统。

背景技术：

1、在半导体行业，湿法刻蚀工段、铜制程酸洗、光刻工序中的酸洗、及化学机械抛光酸洗等制程工序中通常会产生酸性废气，酸性废气的主要污染物为氟化物、氯化氢、氮氧化物、硫酸雾、磷酸等。其中氮氧化物来源于硝酸溶液在使用过程中分解挥发。

2、目前，对酸性废气的处理，通常是将酸性废气通入中央酸排处理系统，采用碱性喷淋去除。正常工况下酸性废气中的氮氧化物的浓度较低，低于5mg/m3，通过碱喷淋处理可以达标排放。

3、但是在酸排系统中，烟囱会突发出现黄烟现象。黄烟为高浓度的氮氧化物，氮氧化物被吸入人体后会刺激肺部，使人很难抵抗感冒之类的呼吸系统疾病，且易引起二氧化氮的中毒。因此对黄烟(氮氧化物)的处理也成为当务之急。

4、相关技术中，一部分是将酸性废气依次通入装有不同药剂的多级洗涤塔中，来去除酸性废气中的不同种类的污染物，但由于黄烟(氮氧化物)出现的频率低，设计多级装有不同药剂的洗涤塔会造成资源浪费；一部分是采取通过提高酸塔中洗涤液的剂量和浓度来去除氮氧化物，但酸塔中常用洗涤剂为naoh溶液，naoh溶液不能与氮氧化物直接发生反应，对于氮氧化物的去除率较低，一般为20％，仍会出现黄烟现象；一部分是通过切换气路转入氮氧化物处理系统来去除氮氧化物，但切换系统需要较长的操作时间。

5、综上，相关技术中对于酸排系统中，烟囱突发的黄烟现象无法快速高效地去除。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种消除瞬间冒黄烟的系统，用以解决相关技术中对于酸排系统中，烟囱突发的黄烟现象无法快速高效地去除的问题。

2、本实用新型提供一种消除瞬间冒黄烟的系统，包括：洗涤模块、储药模块和检测模块；所述洗涤模块包括：洗涤塔，进气口用于与废气进口连接，出气口用于与烟囱连接；所述储药模块包括：氢氧化钠储蓄装置和消除液储蓄装置；所述氢氧化钠储蓄装置与所述洗涤塔可选择性地连接；所述消除液储蓄装置与所述洗涤塔可选择性地连接；所述检测模块包括：氮氧化物在线检测仪，设于所述废气进口和所述洗涤塔之间，与所述消除液储蓄装置联锁。

3、根据本实用新型提供的一种消除瞬间冒黄烟的系统，所述消除液储蓄装置包括消除液储蓄罐和第一泵体，所述消除液储蓄罐与所述洗涤塔连接，所述第一泵体设于所述洗涤塔与所述消除液储蓄罐之间连接的管路上；所述氮氧化物在线检测仪与所述第一泵体联锁。

4、根据本实用新型提供的一种消除瞬间冒黄烟的系统，所述检测模块还包括设置于所述洗涤塔内的酸碱计；所述氢氧化钠储蓄装置包括氢氧化钠储蓄罐和第二泵体，所述氢氧化钠储蓄罐与所述洗涤塔连接，所述第二泵体设于所述洗涤塔与所述氢氧化钠储蓄罐之间连接的管路上；所述酸碱计与所述第二泵体联锁。

5、根据本实用新型提供的一种消除瞬间冒黄烟的系统，所述洗涤模块还包括进水系统和排水系统；所述进水系统和所述排水系统分别与所述洗涤塔可选择性地连接。

6、根据本实用新型提供的一种消除瞬间冒黄烟的系统，所述第一泵体为隔膜泵；和/或，所述第二泵体为隔膜泵。

7、根据本实用新型提供的一种消除瞬间冒黄烟的系统，所述检测模块还包括设置于所述洗涤塔内的液位仪；所述进水系统与所述洗涤塔之间连接的管路上设有第一阀体；所述液位仪与所述第一阀体联锁。

8、根据本实用新型提供的一种消除瞬间冒黄烟的系统，所述检测模块还包括设置于所述洗涤塔内的电导仪；所述排水系统与所述洗涤塔之间连接的管路上设有第二阀体；所述电导仪与所述第二阀体联锁。

9、根据本实用新型提供的一种消除瞬间冒黄烟的系统，所述洗涤塔包括：一级洗涤塔和二级洗涤塔；一级洗涤塔，第一进口用于与废气进口连接，第二进口与所述氢氧化钠储蓄罐可选择性地连接；二级洗涤塔，第三进口与所述一级洗涤塔连接，第四进口与所述氢氧化钠储蓄罐可选择性地连接，第五进口与所述消除液储蓄罐可选择性地连接，第一出口用于与烟囱连接。

10、根据本实用新型提供的一种消除瞬间冒黄烟的系统，所述检测模块还包括流量计；所述流量计设于所述氢氧化钠储蓄装置与所述洗涤塔之间连接的管路上。

11、根据本实用新型提供的一种消除瞬间冒黄烟的系统，所述消除瞬间冒黄烟的系统还包括风机；所述风机的进风口与所述洗涤塔连接，出风口与所述烟囱连接。

12、本实用新型还提供一种如上述任一项所述的消除瞬间冒黄烟的系统的控制方法，包括：获取待处理废气中氮氧化物的实时浓度、所述洗涤塔内的药剂参数；基于所述氮氧化物的实时浓度和所述药剂参数，确定所述储药模块与所述洗涤塔的连接状态。

13、根据本实用新型提供的一种消除瞬间冒黄烟的系统的控制方法，所述基于所述氮氧化物的实时浓度和所述药剂参数，确定所述储药模块与所述洗涤塔的连接状态，包括：获取所述洗涤塔内的酸碱值；在所述氮氧化物的实时浓度大于等于预设浓度，且所述酸碱值小于预设酸碱值的情况下，控制所述洗涤塔与所述储药模块连通。

14、本实用新型还提供一种消除瞬间冒黄烟的系统的控制装置，包括：获取模块和控制模块，获取模块用于获取待处理废气中氮氧化物的实时浓度、所述洗涤塔内的药剂参数；控制模块用于基于所述氮氧化物的实时浓度和所述药剂参数，确定所述储药模块与所述洗涤塔的连接状态。

15、本实用新型还提供一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现如上述任一种所述消除瞬间冒黄烟的系统的控制方法。

16、本实用新型还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述消除瞬间冒黄烟的系统的控制方法。

17、本实用新型还提供一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述消除瞬间冒黄烟的系统的控制方法。

18、本实用新型提供的消除瞬间冒黄烟的系统，通过在废气进口和洗涤塔之间设置氮氧化物在线检测仪，并将氮氧化物在线检测仪与消除液储蓄装置联锁，在氮氧化物在线检测仪检测到氮氧化物浓度异常的情况下，在烟囱出现黄烟之前，即可快速响应，开启消除液储蓄装置，在洗涤塔内加入氮氧化物消除剂，从而对瞬间产生高浓度氮氧化物进行消除；针对氮氧化物进行消除，黄烟消除率高；在氮氧化物浓度正常的情况下，消除液储蓄装置并不参与反应，能够对消除液进行较好的保存，延长使用寿命。

技术特征：

1.一种消除瞬间冒黄烟的系统，其特征在于，包括：洗涤模块、储药模块和检测模块；

2.根据权利要求1所述的消除瞬间冒黄烟的系统，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的消除瞬间冒黄烟的系统，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的消除瞬间冒黄烟的系统，其特征在于，所述第一泵体为隔膜泵；和/或，所述第二泵体为隔膜泵。

5.根据权利要求1所述的消除瞬间冒黄烟的系统，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的消除瞬间冒黄烟的系统，其特征在于，

7.根据权利要求5所述的消除瞬间冒黄烟的系统，其特征在于，

8.根据权利要求3所述的消除瞬间冒黄烟的系统，其特征在于，所述洗涤塔包括：

9.根据权利要求1至7任一项所述的消除瞬间冒黄烟的系统，其特征在于，

10.根据权利要求1至7任一项所述的消除瞬间冒黄烟的系统，其特征在于，

技术总结
本技术涉及废气处理技术领域，提供一种消除瞬间冒黄烟的系统，所述消除瞬间冒黄烟的系统包括：洗涤模块、储药模块和检测模块；所述洗涤模块包括：洗涤塔，进气口用于与废气进口连接，出气口用于与烟囱连接；所述储药模块包括：氢氧化钠储蓄装置和消除液储蓄装置；所述氢氧化钠储蓄装置与所述洗涤塔可选择性地连接；所述消除液储蓄装置与所述洗涤塔可选择性地连接；所述检测模块包括：氮氧化物在线检测仪，设于所述废气进口和所述洗涤塔之间，与所述消除液储蓄装置联锁。本技术在出现黄烟之前，即可快速响应，快速高效的消除黄烟。

技术研发人员：戴恩平,乔南利,喻正保,范雪岩,张学良,范伟伟
受保护的技术使用者：格林斯达（北京）环保科技股份有限公司
技术研发日：20220922
技术公布日：2024/1/13