用于清洁涂布模头的装置和狭缝式涂布机的制作方法

1.本实用新型涉及半导体行技术领域，具体涉及一种用于清洁涂布模头的装置和具有该用于清洁涂布模头的装置的狭缝式涂布机。


背景技术：

2.通常在半导体行装置及显示器的制造工艺中，会在处理基板(例如，玻璃基材)上涂布特定功能的薄膜(例如：氧化薄膜、金属薄膜和半导体薄膜等)；狭缝式涂布是一种在一定压力下，将涂液沿着模具缝隙压出并转移到移动的处理基板上的一种涂布技术，狭缝式涂布机相比普通的涂布机，具有涂布速度快、涂膜均匀性好的优点。但该种涂布机的涂布模头的涂布窗口较宽，且涂布模头一般沿涂布模头的宽度方向设有多个用于涂布的喷嘴。相关技术中，采用沿涂布模头的宽度方向移动的喷头对涂布模头进行点线式清洗，造成涂布模头的清理工序耗时较长，存在清洗速度慢的问题，很大程度上限制了狭缝涂布机的工作效率。


技术实现要素：

3.本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的实施例提出一种用于清洁涂布模头的装置。该用于清洁涂布模头的装置具有提升对涂布模头清洗效率的优点。
4.本实用新型的实施例还提出一种狭缝式涂布机。
5.本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置包括移载平台和清洗轴模组。
6.所述移载平台沿预设方向可移动地设置，所述清洗轴模组包括清洗轴和安装轴架，所述安装轴架设置在所述移载平台上，所述清洗轴可转动地设置在所述安装轴架上，且所述清洗轴能够与所述涂布模头对应地设置以便实现对所述涂布模头多点位清洁。
7.本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置，通过设置清洗轴可以同时对涂布模头上的多个喷嘴进行清洗，因而具有大大提升对涂布模头清洗效率的优点，进而提升了涂布机的整体的涂布效率。
8.因此，本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置具有提升对涂布模头清洗效率及提升涂布机的整体的涂布效率的优点。
9.在一些实施例中，所述安装轴架包括安装架体和清洗槽，所述安装架体设置在所述移载平台上，所述安装架体具有安装位，所述清洗槽设置在所述安装位内，所述清洗轴可转动地设置在所述安装架体上，所述清洗轴的设置在所述清洗槽的上方，且所述清洗轴的至少部分能够伸入所述清洗槽内以便通过所述清洗槽实现对所述清洗轴的清洗。
10.在一些实施例中，所述的用于清洁涂布模头的装置还包括刮条组件，所述刮条组件设置在所述安装架体上，所述刮条组件的一部分能够与所述清洗轴的外周壁抵接以便刮除所述清洗轴残留的清洗液和涂布液。
11.在一些实施例中，所述刮条组件包括刮条和角度调整件，所述角度调整件设置在
所述安装架体上，所述刮条的一端绕着预设点可转动地与所述角度调整件相连以便调整所述刮条与预设方向之间的夹角，所述刮条的另一端能够与所述清洗轴的外周壁抵接以便刮除所述清洗轴残留的清洗液和涂布液。
12.在一些实施例中，所述刮条组件括刮条、角度调整件和位置调整件，所述位置调整件沿所述预设方向可移动地设置在所述安装架体上，所述角度调整件设置在所述位置调整件上，所述刮条的一端绕着预设点可转动地与所述角度调整件相连，所述刮条的另一端能够与所述清洗轴的外周壁抵接以便刮除所述清洗轴残留的清洗液和涂布液。
13.在一些实施例中，所述安装架体包括轴箱体和盖体，所述盖体盖设在所述轴箱体上，所述盖体上设有避让部以便通过避让部使所述涂布模头能够与所述清洗轴接触。
14.在一些实施例中，所述安装架体上具有轴侧进液接头和轴侧出液接头，所述轴侧进液接头能够连通清洗液进液管，所述轴侧出液接头能够与清洗液的排液管连通。
15.在一些实施例中，所述的用于清洁涂布模头的装置还包括清洗模组，所述清洗轴模组和所述清洗模组沿所述预设方向间隔设置在所述移载平台上，以便所述清洗轴模组和所述清洗模组可切换地与所述涂布模头配合。
16.在一些实施例中，所述清洗模组包括冲洗机构，所述冲洗机构和所述清洗轴模组沿所述预设方向间隔设置在所述移载平台上以便随着所述移载平台移动所述清洗轴模组和所述冲洗机构可切换地与所述涂布模头配合。
17.在一些实施例中，所述清洗模组包括浸泡机构，所述浸泡机构和所述清洗轴模组沿所述预设方向间隔设置在所述移载平台上以便随着所述移载平台移动所述浸泡机构和所述清洗轴模组可切换地与所述涂布模头配合。
18.在一些实施例中，所述冲洗机构包括喷头和移动驱动架，所述移动驱动架沿所述清洗轴的轴向可移动地设置在移载平台上，所述喷头设置在移动驱动架上，所述喷头上设有喷气孔和喷液孔，所述喷气孔能够与氮气源连通，所述喷液孔能够与清洗液源连通。
19.在一些实施例中，所述浸泡机构包括浸泡盒，所述浸泡盒具有浸泡进液接头和浸泡出液接头，所述浸泡进液接头能够连通清洗液进液管，所述浸泡出液接头能够与清洗液的排液管连通。
20.在一些实施例中，所述的用于清洁涂布模头的装置还包括安装台和激光传感器，所述安装台上具有沿所述预设方向延伸的导轨，所述移载平台设置在所述安装台上且与所述导轨导向配合，所述激光传感器设置在所述移载平台以便通过所述激光传感器对所述移载平台的位置进行定位。
21.在一些实施例中，所述的用于清洁涂布模头的装置还包括驱动机构，所述驱动机构设置在所述安装轴架，所述驱动机构与所述清洗轴连接以驱动所述清洗轴转动。
22.本实用新型实施例的狭缝式涂布机包括涂布机架、涂布模头组件和根据上述中任一项所述的用于清洁涂布模头的装置，所述涂布模头组件设置在所述涂布机架上，所述涂布模头组件设置在所述清洗轴模组的上方，所述涂布模头组件相对所述清洗轴模组靠近或远离所述清洗轴模组。
23.在一些实施例中，所述涂布模头组件包括升降件和涂布模头，所述涂布模头设置在所述升降件上，所述升降件能够设置在工作台机架，且所述升降件沿上下方向可移动地设置在所述涂布机架上。
附图说明
24.图1是本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置的立体图。
25.图2是本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置的主视图。
26.图3是图2中沿a-a线的剖视图，涂布模头与冲洗机构对应。
27.图4是图2中沿b-b线的剖视图，涂布模头与浸泡机构对应。
28.图5是图2中沿c-c线的剖视图，涂布模头与清洗轴对应。
29.图6是本实用新型实施例的清洗轴模组的立体图。
30.图7是本实用新型实施例的清洗轴模组的立体图，省略轴箱体的侧板。
31.图8是本实用新型实施例的清洗轴模组的另立体图，省略轴箱体的侧板。
32.图9是图8在a处的放大图。
33.图10是本实用新型实施例的清洗模组的立体图。
34.图11是本实用新型实施例的清洗模组的另一立体图。
35.图12是本实用新型实施例的安装台和移载平台的装配图。
36.图13是图12在b处的放大图。
37.附图标记：
38.用于清洁涂布模头的装置100；涂布模头200；
39.移载平台1；
40.清洗轴模组2；清洗轴21；安装轴架22；安装架体221；轴箱体2211；盖体2212；轴侧进液接头2213；轴侧出液接头2214；清洗槽222；
41.刮条组件23；刮条231；角度调整件232；位置调整件233；
42.清洗模组3；冲洗机构31；喷头311；移动驱动架312；浸泡机构32；浸泡盒321；浸泡进液接头322；浸泡出液接头323；
43.安装台4；导轨41；
44.激光传感器5；
45.驱动机构6；伺服电机61；小同步带轮62；同步带63；大同步带轮64。
具体实施方式
46.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
47.下面参考图1-图13描述本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置100和具有该用于清洁涂布模头的装置100的狭缝式涂布机。
48.本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置100包括移载平台1和清洗轴模组2。
49.移载平台1沿预设方向(例如，图1中所示的前后方向)可移动地设置，清洗轴模组2包括清洗轴21和安装轴架22，安装轴架22设置在移载平台1上，清洗轴21可转动地设置在安装轴架22上，且清洗轴21能够与涂布模头200对应地设置(例如，清洗轴21与涂布模头200相对设置，且清洗轴21的轴向与涂布模头200的宽度方向平行设置)以便实现对涂布模头200多点位清洁。
50.本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置100，通过设置清洗轴21可以同时对涂布模头200上的多个喷嘴进行清洗，因而大大提升了对涂布模头200清洗效率；进而提升了涂布机的整体的涂布效率。
51.因此，本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置100具有提升对涂布模头200清洗效率及提升涂布机的整体的涂布效率的优点。
52.具体地，移载平台1能够可移动地设置在涂布模头200的下方，通过清洗轴模组2对涂布模头200进行清洗，而且清洗轴21与涂布模头200之间具有间隙(间隙量要控制在0.05mm以内)，通过清洗轴21的转动，将附着在涂布模头200的喷嘴上残留涂布液的进行清洗。
53.可选地，清洗轴21的长度可以大于等于涂布模头200的宽度。由此，可以保证对同一涂布模头200上所有的喷嘴同步清洗。由此，具有进一步提升该用于清洁涂布模头的装置100对涂布模头200的清洗效率的优点。
54.进一步地，可以通过驱动机构6驱动清洗轴21转动。如图6和图7所示，更进一步地，驱动机构6可以包括伺服电机61、小同步带轮62、同步带63和大同步带轮64，小同步带轮62设置在伺服电机61的转动轴的自由端，小同步带轮62和大同步带轮64通过同步带63进行同步传动，大同步带轮64能够驱动清洗轴21转动。由此，具有提升该用于清洁涂布模头的装置100的自动化程度的优点。
55.如图1、图6至图9所示，安装轴架22包括安装架体221和清洗槽222，安装架体221设置在移载平台1上，安装架体221具有安装位，清洗槽222设置在安装位内，清洗轴21可转动地设置在安装架体221上，清洗轴21的设置在清洗槽222的上方，且清洗轴21的至少部分能够伸入清洗槽222的内部以便通过清洗槽222内的清洗液对清洗轴21进行清洗。需要说明的是，清洗槽222可以包括槽体和在槽体上形成的容纳槽腔，清洗轴21的至少部分能够伸入容纳槽腔内。
56.本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置100，通过设置的安装架体221和清洗槽222(清洗槽222的内部充有清洗液)，可以对粘在清洗轴21的涂布液进行清洗，当清洗轴21进行循环清洗作业时，可以通过清洗槽222使清洗轴21保持较为洁净的状态。由此，有助于提升清洗轴21对涂布模头200清洗的洁净度。
57.如图1、图3至图9所示，安装架体221包括轴箱体2211和盖体2212，盖体2212盖设在轴箱体2211上，盖体2212上设有避让部以便使涂布模头200能够与清洗轴21接触。
58.本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置100，通过将安装架体221设置为轴箱体2211和盖体2212，并在盖体2212上开设置避让部以便使涂布模头200能够与清洗轴21接触。并且通过设置的盖体2212可以避免灰尘飘入清洗槽222的容纳槽腔内，造成污染清洗液并降低清洗效果的问题。
59.可选地，避让部可以为开设在盖体2212上的避让孔。相应的，避让孔的尺寸和形状能够与清洗轴21相适配。
60.进一步地，轴箱体2211可以为包括底板、左侧板和后盖钣金，底板、左侧板和后盖钣金围合成轴箱体2211。由此，具有结构简单和结构强度高的优点。
61.具体地，清洗槽222设置在轴箱体2211内部，避让部与清洗槽222的开口在上下方向上对应设置，清洗槽222内设置清洗液，清洗轴21的一部分设置在清洗槽222内，清洗轴21
可以通过避让部伸入至清洗槽222内并能够与清洗槽222内的清洗液接触，从而将清洗轴21上的涂布液清洗掉，使清洗轴21可以连续进行清洗作业。
62.如图3至图9所示，该用于清洁涂布模头的装置100还包括刮条组件23，刮条组件23设置在安装架体221上，刮条组件23的一部分能够与清洗轴21的外周壁抵接以便刮除清洗轴21残留的清洗液和涂布液。
63.本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置100，通过设置的刮条组件23对清洗轴21的外周壁残留的清洗液和涂布液进行清理，有助于进一步提升清洗轴21的外周壁洁净度。进而，洁净的清洗轴21再清洗涂布模头200时，也可以相应的提升对涂布模头200的清理效果。
64.由此，本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置100驱动机构6驱动清洗轴21转动，并通过清洗轴21清除涂布模头200上残留涂布液，再转动到清洗槽222里面，清洗液对清洗轴21清洁，再继续转动到刮条231处，刮条231进一步刮除清洗轴21上残留的清洗液。
65.进一步地，清洗轴21可以采用高精度合金钢材质，其具有结构强度高优点。清洗轴21的直径200mm，清洗轴21的长度可以2300mm，表面粗糙度达到0.02um，同轴度10um，与涂布模头200平行度也需要控制在20umm。由此，可以防止清洗轴21对涂布模头200产生损伤。清洗轴21在清洗涂布模头200前，清洗轴21与涂布模头200之间的间隙控制要非常准确，间隙量要控制在0.05mm以内。
66.如图3至图9所示，刮条组件23包括刮条231和角度调整件232(角度调整件232可以为转板)，角度调整件232设置在安装架体221上，刮条231的一端绕着预设轴可转动地与角度调整件232相连，以便调整刮条231与预设方向(例如，图1中所示的前后方向)之间的夹角，刮条231的另一端能够与清洗轴21的外周壁抵接以便刮除清洗轴21残留的清洗液和涂布液。
67.本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置100，通过将刮条组件23设置为刮条231和角度调整件232，刮条231可以刮除清洗轴21的外周壁上残留涂布液和清洗液，但是在使用过程中刮条231会出现磨损，进而造成刮条231与清洗轴21之间出现间隙，间隙会降低刮除清洗液及涂布液的效果，通过设置的角度调整件232可以调整刮条231与预设方向的夹角，进而调整了刮条231与清洗轴21之间的水平方向的间距，因而使刮条231更好的贴合清洗轴21。由此，可以在刮条231出现部分磨损后，可以在不更换刮条231的前提下，通过调整刮条231的角度即可以改善刮条231刮除清洗液及涂布液的效果，具有节省使用成本的优点。
68.可选地，角度调整件232(转板)可以包括旋转轴和设置在旋转轴上的操作部，刮条231的该另一端与旋转轴相连，该旋转轴设置在安装架体221上。以便实现对刮条231的微调整。
69.可选地，刮条231相对预设方向可倾斜的设置在安装架体221上。由此，具有刮液效果好的优点。
70.进一步地，刮条231可以采用硬度合适耐腐蚀的硅胶材质。由此，具有耐磨性能好的优点。
71.如图8和图9所示，刮条组件23包括刮条231、角度调整件232和位置调整件233，位置调整件233沿预设方向可移动地设置在安装架体221上，角度调整件232设置在位置调整
件233上以便刮条231和角度调整件232可以随着位置调整件233的移动而进行调整，刮条231可绕着预设轴可转动地与角度调整件232相连，刮条231的另一端能够与清洗轴21的外周壁抵接以便刮除清洗轴21残留的清洗液和涂布液。
72.本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置100，通过设置的角度调整件232可以调整刮条231与预设方向的夹角。由此，调整了刮条231与清洗轴21之间的水平方向的间距，以便在刮条231后与清洗轴21之间出现间隙影响刮除清洗液的效果时，通过角度调整件232可以使清洗轴21与刮条231贴合。而且，在刮条231出现部分磨损后，可以在不更换刮条231的前提下，即实现清洗轴21与刮条231贴合的效果，具有进一步提升刮条组件23的使用寿命的优点。
73.此外，通过设置的位置调整件233(例如，位置调整件233可以滑动块)，可以进一步调整刮条231与清洗轴21在水平方向的间距，以便在角度调整件232对刮条231进行角度调整的过程中，可以再通过位置调整件233，进一步配合，以便提升使刮条231与清洗轴21贴合的效果。
74.如图7和图8所示，安装架体221(具体地，清洗槽222上具有轴侧进液接头2213和轴侧出液接头2214)上具有轴侧进液接头2213和轴侧出液接头2214，轴侧进液接头2213能够连通清洗液进液管，轴侧出液接头2214能够与清洗液的排液管连通。
75.本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置100，通过在安装架体221上设置轴侧进液接头2213和轴侧出液接头2214，便于对清洗槽222内的清洗液进行更换和循环。由此，既提升了更换清洗液的便捷性，又有利于提升清洗槽222内的清洗液的洁净度。
76.如图1至图5所示，该用于清洁涂布模头的装置100还包括清洗模组3，清洗轴模组2和清洗模组3沿预设方向间隔设置在移载平台1上以便随着移载平台1移动清洗轴模组2和清洗模组3可切换地与涂布模头200配合。
77.本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置100，通过沿预设方向可以移动的清洗模组3，可以进一步提升涂布模头200清洗的洁净度。此外，清洗轴模组2和清洗模组3随着移载平台1移动可切换地与涂布模头200配合。可以使涂布模头200根据使用的具体状态匹配相应的清洗模组3。由此，既保证了对涂布模头200清洗洁净度，又提升清洗涂布模头200的效率。
78.如图3至图5所示，清洗模组3包括冲洗机构31，冲洗机构31和清洗轴模组2沿预设方向间隔设置在移载平台1上以便随着移载平台1移动清洗轴模组2和冲洗机构31可切换地与涂布模头200配合。
79.本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置100，通过设置的冲洗机构31可以对涂布模头200做进一步的冲洗。由此，进一步提升了对涂布模头200清洗的清洁程度。
80.如图1、图10和图11所示，冲洗机构31包括喷头311和移动驱动架312，移动驱动架312沿清洗轴21的轴向可移动地设置在移载平台1，喷头311设置在移动驱动架312上，喷头311上设有喷气孔和喷液孔，喷气孔能够与氮气源连通，喷液孔能够与清洗液源连通。
81.本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置100，通过喷头311和移动驱动架312的配合，可以提升喷头311对涂布模头200的清洗面积，具有结构简单和清洗效果好的优点。而且，通过设置的喷气孔能够对喷气孔进行疏通。具有防止喷头311堵塞的问题。
82.进一步地，喷头311的形状与涂布模头200喷嘴形状相适配。喷头311可以具有两排
互不相同的两排孔，其中一排连通清洗液，另一排连通氮气，分别由两个气控阀进行控制。
83.如图1至图5所示，清洗模组3包括浸泡机构32，浸泡机构32和清洗轴模组2沿预设方向间隔设置在移载平台1上以便随着移载平台1移动浸泡机构32和清洗轴模组2可切换地与涂布模头200配合。
84.本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置100，通过设置的沿预设方向可以移动的浸泡机构32，可以将涂布模头200上难以去除的涂布液作出进一步清除，并使清洗轴模组2和清洗模组3随着移载平台1移动可切换地与涂布模头200配合。由此，并且可以根据涂布模头200对应地状态和使用情况对涂布模头200进行可切换地清洗，以保证在对涂布模头200清洗干净的同时，提升对涂布模头200的清洗效率。
85.本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置100，通过设置的浸泡机构32，可以对对长时间处于待机状态的涂布模头200进行浸泡，以防止出现涂布模头200的喷嘴内部的涂布液堵塞喷嘴的问题。
86.如图1至图5和图10所示，浸泡机构包括浸泡盒321，浸泡盒321具有浸泡进液接头322和浸泡出液接头323，浸泡进液接头322能够连通清洗液进液管，浸泡出液接头323能够与清洗液的排液管连通。
87.本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置100，通过在浸泡盒321上设置浸泡进液接头322和浸泡出液接头323，便于对浸泡盒321内的清洗液进行更换和循环。由此既提升了更换清洗液的便捷性，又有利于提升浸泡盒321内的清洗液的洁净度。
88.更进一步地，例如，图1至图5所示，用于清洁涂布模头的装置100包括冲洗机构31和浸泡机构32，冲洗机构31、浸泡机构32及清洗轴模组2沿预设方向依次设置在移载平台1上。换言之，喷头311、浸泡盒321和清洗轴21沿预设方向依次设置。
89.可以理解的是，本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置100可以适应多种涂布模头工作模式。例如，在连续涂布不同玻璃基材时，可以在相邻涂布作业之间，通过清洗轴21清除涂布模头200上的喷嘴上残留涂布液，清洁完成后，涂布模头200上升，移载平台1运运动至待料位，涂布机继续下一个玻璃基材的涂布，依次循环。如涂布机短暂的待机，涂布模头200在完成清洗轴模组2对其清洁后，移载平台1继续运动，冲洗机构31到达涂布模头200下方，冲洗机构31的喷头311沿涂布模头200的宽度方向往复运动，先对涂布模头200喷嘴进喷清洗液，然后再喷氮气进行吹干；如该涂布机需长时间待机状态，涂布模头200在完成清洗轴模组2对其清洁后，移载平台1继续运动，冲洗机构31到达涂布模头200下方，冲洗机构31的喷头311涂布模头200的宽度方向往复运动，先对涂布模头200喷嘴进喷清洗液，然后再喷氮气进行吹干，完成以上动作后，涂布模头200下降，将涂布模头200上的喷嘴浸泡在浸泡机构32的浸泡盒321里面。由此，可以防止长时间涂布模头200不工作，残留在涂布模头200里面的涂布液堵塞喷嘴的问题。
90.本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置100还包括安装台4和激光传感器5，安装台4上具有沿预设方向延伸的导轨41，移载平台1设置在安装台4上且与导轨41导向配合，激光传感器5设置在移载平台1上以便通过激光传感器5确定安装台4与移载平台1的相对位置。
91.本实用新型实施例的用于清洁涂布模头的装置100，通过设置的激光传感器5，可以使安装台4与移载平台1的相对位置进行精确的定位。由此，可以使该用于清洁涂布模头
的装置100与喷头311、浸泡盒321和清洗轴21在相应地位置进行配合作业。
92.具体地，移载平台1能够可移动地设置在涂布模头200的下方，以便对涂布模头200进行清洗。安装台4具有两条导轨41，两条导轨41沿清洗轴21的轴向间隔开地设置的导轨41，以便使移载平台1沿导轨41的延伸方向移动。
93.本实用新型实施例的狭缝式涂布机包括涂布机架、涂布模头组件和根据上述中任一项的用于清洁涂布模头的装置100，涂布模头组件设置在清洗轴模组2的上方，涂布模头组件相对清洗轴模组2靠近或远离清洗轴模组2。
94.可选地，清洗轴21与涂布模头200具有间隙，间隙量要控制在0.05mm以内。
95.涂布模头组件包括升降件(未示出)和涂布模头200，涂布模头200设置在升降件上，升降件能够设置在涂布机架上，且升降件沿上下方向可移动地。由此，可以提升涂布作业的便捷性。在进行涂布作业时，涂布模头200可以沿上下方向移动，通过相应的吸附平台定位装置配合玻璃基材的涂布。
96.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
97.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
98.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
99.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
100.在本实用新型中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
101.尽管已经示出和描述了上述实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能
理解为对本发明的限制，本领域普通技术人员对上述实施例进行的变化、修改、替换和变型均在本发明的保护范围内。