一种光刻胶生产回收结构的制作方法

本技术涉及光刻胶，具体为一种光刻胶生产回收结构。

背景技术：

1、光刻胶是一种光致抗蚀剂，一般通过紫外光、电子束等的照射或辐射的方式完成加工，在光刻工艺的过程中，光刻胶是一种抗腐蚀涂层材料，在半导体材料的表面进行加工时，选用适当的光刻胶，可以在表面得到所需的图像。

2、现有的光刻胶生产回收结构，过滤板在过滤光刻胶的过程中，过滤出来的污染物通常会附着在过滤板上，导致过滤板出现堵塞，而拆卸过滤板是一件比较麻烦且繁琐的过程，会影响其正常使用。

3、现有的光刻胶生产回收结构，在过滤完光刻胶以后，存储在储液仓里的光刻胶需要再次取出来，取出来又是一件比较麻烦且繁琐的过程，取出光刻胶的过程中会导致光刻胶溢出，造成光刻胶的浪费。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、本实用新型的目的在于提供一种光刻胶生产回收结构，以解决上述背景技术中提出现有的光刻胶生产回收结构，过滤板在过滤光刻胶的过程中，过滤的废液通常会附着在过滤板上，导致过滤板出现堵塞，而拆卸过滤板是一件比较麻烦且繁琐的过程，会影响其正常使用的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光刻胶生产回收结构，包括主体机构、回收机构和清扫机构，所述回收机构位于主体机构的内部，所述清扫机构位于回收机构的上方，所述主体机构包括箱体、支撑柱、密封盖、拉手和控制面板，所述支撑柱固定安装在箱体的上端，所述密封盖活动安装在箱体上端的后端，所述拉手固定安装在密封盖上端的前端，所述控制面板固定安装在箱体前端的中部，所述回收机构包括过滤仓、储液仓、进液口、过滤板、回型固定块、沉槽、过滤长桶、凹型固定块、过滤网、出液口和调节阀，所述过滤仓固定设置在箱体内部的上端，所述储液仓固定设置在箱体内部的下端，所述储液仓位于过滤仓的下端。

5、优选的，所述进液口固定设置在箱体左端的后端，所述进液口位于过滤网的左端，所述过滤板固定安装在箱体的内部，所述过滤板位于过滤仓的内部，所述回型固定块固定安装在过滤板的内侧，便于将污染物过滤出来。

6、优选的，所述沉槽固定设置在过滤板的内侧，所述沉槽位于回型固定块内部的右端，所述过滤长桶固定安装在过滤板下端的左右两端，所述过滤长桶位于沉槽的下端，所述凹型固定块固定安装在箱体内部的左端，便于将过滤出来的污染物集中存放。

7、优选的，所述过滤网固定安装在凹型固定块的右端，所述过滤网位于过滤仓内部的下端，所述出液口固定设置在箱体的下端，所述调节阀活动安装在出液口的下端，所述调节阀位于箱体的下方，便于将光刻胶取出来。

8、优选的，所述清扫机构包括驱动电机、螺纹杆、活动块、电动推杆、清洁电机和清理刷，所述驱动电机固定安装在箱体右端的上端，所述驱动电机的传动端延伸至箱体内部的右端，所述螺纹杆固定安装在驱动电机的传动端，便于对过滤板上的污染物进行清理。

9、优选的，所述活动块活动安装在螺纹杆的外端，所述电动推杆固定安装在活动块的下端，所述清洁电机固定安装在电动推杆的下端，所述清理刷固定安装在清洁电机的下端，所述清理刷位于过滤板的上方，便于将污染物清扫进过滤长桶进行集中管理，避免了污染物堵塞过滤板。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

11、1、该光刻胶生产回收结构，通过安装控制面板，便于操作人员对驱动电机、电动推杆和清洁电机进行分别的操作，使驱动电机、电动推杆和清洁电机可以进行独立的工作流程，不需要启动一个带动一系列开始工作，节约了电机使用的频率；

12、2、该光刻胶生产回收结构，通过在过滤板上设置沉槽与在过滤板下端安装过滤长桶，便于将清理的污染物集中存放，过滤长桶可以对清理出来的污染物进行再次过滤，增加了光刻胶生产回收结构的实用性；

13、3、该光刻胶生产回收结构，通过安装清扫机构，便于将附着在过滤板上的污染物清除，解决了污染物堵塞过滤板的情况，减少了更换过滤板的频率，增加了光刻胶生产回收结构的实用性。

技术特征：

1.一种光刻胶生产回收结构，包括主体机构(1)、回收机构(2)和清扫机构(3)，其特征在于：所述回收机构(2)位于主体机构(1)的内部，所述清扫机构(3)位于回收机构(2)的上方，所述主体机构(1)包括箱体(101)、支撑柱(102)、密封盖(103)、拉手(104)和控制面板(105)，所述支撑柱(102)固定安装在箱体(101)的上端，所述密封盖(103)活动安装在箱体(101)上端的后端，所述拉手(104)固定安装在密封盖(103)上端的前端，所述控制面板(105)固定安装在箱体(101)前端的中部，所述回收机构(2)包括过滤仓(201)、储液仓(202)、进液口(203)、过滤板(204)、回型固定块(205)、沉槽(206)、过滤长桶(207)、凹型固定块(208)、过滤网(209)、出液口(210)和调节阀(211)，所述过滤仓(201)固定设置在箱体(101)内部的上端，所述储液仓(202)固定设置在箱体(101)内部的下端，所述储液仓(202)位于过滤仓(201)的下端。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产回收结构，其特征在于：所述进液口(203)固定设置在箱体(101)左端的后端，所述进液口(203)位于过滤网(209)的左端，所述过滤板(204)固定安装在箱体(101)的内部，所述过滤板(204)位于过滤仓(201)的内部，所述回型固定块(205)固定安装在过滤板(204)的内侧。

3.根据权利要求2所述的一种光刻胶生产回收结构，其特征在于：所述沉槽(206)固定设置在过滤板(204)的内侧，所述沉槽(206)位于回型固定块(205)内部的右端，所述过滤长桶(207)固定安装在过滤板(204)下端的左右两端，所述过滤长桶(207)位于沉槽(206)的下端，所述凹型固定块(208)固定安装在箱体(101)内部的左端。

4.根据权利要求3所述的一种光刻胶生产回收结构，其特征在于：所述过滤网(209)固定安装在凹型固定块(208)的右端，所述过滤网(209)位于过滤仓(201)内部的下端，所述出液口(210)固定设置在箱体(101)的下端，所述调节阀(211)活动安装在出液口(210)的下端，所述调节阀(211)位于箱体(101)的下方。

5.根据权利要求4所述的一种光刻胶生产回收结构，其特征在于：所述清扫机构(3)包括驱动电机(301)、螺纹杆(302)、活动块(303)、电动推杆(304)、清洁电机(305)和清理刷(306)，所述驱动电机(301)固定安装在箱体(101)右端的上端，所述驱动电机(301)的传动端延伸至箱体(101)内部的右端，所述螺纹杆(302)固定安装在驱动电机(301)的传动端。

6.根据权利要求5所述的一种光刻胶生产回收结构，其特征在于：所述活动块(303)活动安装在螺纹杆(302)的外端，所述电动推杆(304)固定安装在活动块(303)的下端，所述清洁电机(305)固定安装在电动推杆(304)的下端，所述清理刷(306)固定安装在清洁电机(305)的下端，所述清理刷(306)位于过滤板(204)的上方。

技术总结
本技术涉及光刻胶技术领域，且公开了一种光刻胶生产回收结构，包括主体机构、回收机构和清扫机构，所述回收机构位于主体机构的内部，所述清扫机构位于回收机构的上方，所述主体机构包括箱体、支撑柱、密封盖、拉手和控制面板，所述支撑柱固定安装在箱体的上端，所述密封盖活动安装在箱体上端的后端，所述拉手固定安装在密封盖上端的前端，所述控制面板固定安装在箱体前端的中部，所述回收机构包括过滤仓、储液仓、进液口、过滤板、回型固定块、沉槽、过滤长桶、凹型固定块、过滤网、出液口和调节阀。该光刻胶生产回收结构，便于将附着在过滤板上的污染物清除，解决污染物堵塞过滤板的情况，减少更换过滤板的频率。

技术研发人员：孙俊鹏,艾一格,梁永慧,姚丹
受保护的技术使用者：上海辰和芯电子科技有限公司
技术研发日：20221213
技术公布日：2024/1/12