致动器以及流体控制装置的制作方法

本发明涉及具备通过压电元件30等驱动体使平板振动的构造的致动器。

背景技术：

1、在专利文献1中公开了具备致动器的压电泵。专利文献1的致动器通过将压电元件粘贴于圆形的振动板而构成。

2、在振动板的外方侧配置有外框。振动板通过梁形状的连结部件而连接于外框。由此，振动板被保持为能够相对于外框振动。

3、在俯视观察致动器时(在沿与振幅为0的状态的振动板的主面正交的方向观察时)，压电元件的中心与振动板的中心一致。

4、压电元件由压电体和配置于压电体的主面的驱动用导体构成。

5、专利文献1：日本专利第5177331号

6、由于压电体是脆性材料，因此在拉伸应力大于压缩应力时容易产生裂纹cr。而且，当裂纹产生多条并彼此相连时，由这些多个裂纹cr包围的区域作为压电元件，成为与其他部分绝缘的区域。

7、该绝缘的区域未被施加驱动电压，作为压电元件产生的应变变小。由此，致动器的振动的振幅变小，导致作为致动器的特性降低。

技术实现思路

1、因此，本发明的目的在于提供一种即使在压电元件产生裂纹也能够抑制振动的振幅减小的致动器。

2、本发明的致动器具备主板、框体、连结部件以及压电元件。主板具有第一主面和第二主面，并在从与第一主面及第二主面正交的方向观察的俯视观察时为旋转对称形状。框体配置于比主板的外周缘靠外方侧。连结部件连接于主板的外周缘和框体，并将主板保持为能够相对于框体振动。压电元件配置于主板的第一主面，且外形形状比主板小。主板在俯视观察时不包含主板的中心及外周缘且与压电元件重叠的区域，具有弹性模量比中心部分小的低变形区域。

3、在该结构中，在变形控制区域中，主板的振幅变大，拉伸应力大大发挥作用。而且，变形控制区域配置于远离主板及压电元件的中心的位置，由此即使产生裂纹，也能抑制由多个裂纹包围的区域的产生。由此，压电元件中的未被施加驱动电压的区域的产生得到抑制。

4、根据本发明，即使在压电元件产生裂纹，也能够抑制致动器的振动的振幅的减小。

技术特征：

1.一种致动器，其中，具备：

2.根据权利要求1所述的致动器，其中，

3.根据权利要求2所述的致动器，其中，

4.根据权利要求3所述的致动器，其中，

5.根据权利要求3所述的致动器，其中，

6.根据权利要求3～5中任一项所述的致动器，其中，

7.根据权利要求3～6中任一项所述的致动器，其中，

8.根据权利要求1所述的致动器，其中，

9.根据权利要求8所述的致动器，其中，

10.一种流体控制装置，其中，具备：

技术总结
本发明涉及致动器以及流体控制装置。致动器(11)具备主板(21)、框体(22)、连结部件(23)以及压电元件(30)。主板(21)具有主面(201)和主面(202)，在俯视观察时为旋转对称形状。框体(22)配置于比主板(21)的外周缘(e21)靠外方侧。连结部件(23)连接于主板(21)的外周缘(e21)和框体(22)，并将主板(21)保持为能够相对于框体(22)振动。压电元件(30)配置于主板(21)的主面(201)，且外形形状比主板(21)小。主板(21)在俯视观察时不包含主板(21)的中心(o21)及外周缘(e21)且与压电元件(30)重叠的区域，具备凹部(210)及薄壁部(219)，由此，形成弹性模量比中心(o21)部分小的低弹性模量区域。

技术研发人员：川端友德
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15