一种进氧量自控型电加热水洗式尾气处理器的制作方法

本申请涉及尾气处理器领域，特别涉及一种进氧量自控型电加热水洗式尾气处理器。

背景技术：

1、半导体产业中的有机废气主要来源于清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影工序，其中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，主要成分为异丙醇、光刻胶等有机物，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。

2、目前的半导体生产半导体酸废气处理通常采用碱液体喷淋法，又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性，可以更好地捕捉沉降，溶解去除污染物，而达到大气排放标准，而有机废气往往通过燃烧处理。

3、目前的半导体废气大多集中进行处理，废气气流中的成分往往分布不均，在尾气处理设备工作中，当气流中的一种成分含量过高时，可能导致设备对该成分处理不充分，例如废气燃烧不充分，废气喷淋中和不充分等，进而导致排出的气体不达标，而目前的尾气处理设备对于废气中成分分布不均，对部分成分在气段中含量过高时，设备没有适应性的调整方式。

技术实现思路

1、本申请目的在于提供一种用于半导体生产中的废气处理设备，相比现有技术提供一种进氧量自控型电加热水洗式尾气处理器，包括燃烧器，燃烧器的外侧设有喷淋管，燃烧器与喷淋管之间连接有供氧设备，供氧设备的一个输出端与燃烧器的进气端连接，供氧设备的另一个输出端与喷淋管连接；燃烧器的输出端与喷淋管之间连接有流量调节阀，燃烧器和喷淋管的顶端均安装有电磁三通阀；

2、喷淋管包括隔热管，隔热管内安装有隔断环，隔热管的顶端安装有排气管，排气管延伸至隔断环内，喷淋管内安装有多层喷淋设备，喷淋设备包括安装有供液管的喷淋环，且喷淋环位于隔断环与隔热管之间，隔断环与排气管之间连接有补偿燃烧器；

3、喷淋管的外侧设有循环泵，循环泵的输入端和输出端均与喷淋管连接。

4、可以实现在尾气处理过程中，根据处理后尾气的成分检测，对尾气处理设备中的燃烧器和喷淋管进行功能强化，提高其废气处理效率，在废气中部分成分含量过高时，使设备进行适应性调整，保证废气处理充分

5、可选的，喷淋管内设有多个填料环，填料环包括活性炭环，填料环安装在相邻两个喷淋环之间。

6、可选的，喷淋管的底端安装有排液管，喷淋管的内壁下端安装有液位传感器。

7、可选的，供氧设备上连接有两个进气管，两个进气管分别用于提供工业氧气和纯净空气，在废气中有机物处理不充分时，可使用工业氧气作为燃烧反应的氧气源，以提高燃烧效率，正常废气处理时使用纯净空气以节约经济成本。

8、可选的，补偿燃烧器包括环形火排，环形火排的上侧设有多个均匀分布的格栅分焰环，多个格栅分焰环交错分布，格栅格栅分焰环和环形火排均与隔断环和排气管固定连接，通过补偿燃烧器对喷淋后废气进行二次燃烧处理，一方面可进一步降低废气中的有机物含量，另一方面降低排出气流的水分含量，本方案的补偿燃烧器中设置多个格栅分焰环，以打散其上端输入的氧气气流，可降低燃烧火排点火后的火焰温度，避免排出气流温度过热。

9、可选的，喷淋管的顶端安装有与供氧设备输出端连接的分流环，分流环与隔断环与排气管之间空隙位置匹配，分流环位于喷淋管内的一端安装有气流喷头，通过气流喷头向补偿燃烧器输入氧气，保证其燃烧效率。

10、可选的，包括一种控制系统，控制系统上连接有尾气成分检测设备，控制系统包括处理器，燃烧器、喷淋管、供氧设备、喷淋设备、补偿燃烧器和循环泵均与处理器信号连接。

11、可选的，喷淋环包括环形支架，环形支架内安装有导流环，环形支架上安装有多个雾化喷头，且雾化喷头的输出端以30°斜角朝向隔断环外壁，雾化喷头喷出的水雾覆盖隔断环外壁，以此辅助隔断环内的补偿燃烧器工作时火焰温度的降低。

12、一种进氧量自控型电加热水洗式尾气处理器，包括废气被喷淋处理不充分时的使用方法：

13、a1，通过尾气成分检测设备检测装置排出的尾气成分，当检测到废气酸碱性不合格时，可处理器判断为喷淋处理不充分；

14、a2、此时处理器将喷淋管切换为废气分段处理模式，在喷淋管内输入一定量的废气后，喷淋管排气端封闭，此时循环泵工作，使喷淋管内的废气在其内循环流动，进行一定时间的多次循环淋滤处理；

15、a3、多次淋滤处理结束，喷淋管排气端开启，供氧设备向喷淋管内输入纯净空气，使喷淋管内处理后的废气排出，然后重复上一步工作，直至该批次废气完全处理结束；

16、一种进氧量自控型电加热水洗式尾气处理器，包括废气被燃烧不充分时的使用方法：

17、b1，通过尾气成分检测设备检测装置排出的尾气成分，检测到废气中有机物含量超标，则判断为燃烧不充分；

18、b2，此时处理器控制供氧设备增大对燃烧器的供氧量，再次进行废气处理工作；

19、b3，若尾气成分检测中仍检测到废气中有机物含量超标，再开启喷淋管内的补偿燃烧器，并使供氧设备向喷淋管内输氧，使补偿燃烧器对淋滤后的气流进行二次燃烧处理

20、相比于现有技术，本申请的优点在于：

21、（1）本方案可以实现在尾气处理过程中，根据处理后尾气的成分检测，对尾气处理设备中的燃烧器和喷淋管进行功能强化，提高其废气处理效率，在废气中部分成分含量过高时，使设备进行适应性调整，保证废气处理充分。

22、 （2）供氧设备上连接有两个进气管，两个进气管分别用于提供工业氧气和纯净空气，在废气中有机物处理不充分时，可使用工业氧气作为燃烧反应的氧气源，以提高燃烧效率，正常废气处理时使用纯净空气以节约经济成本。

23、 （3）补偿燃烧器包括环形火排，环形火排的上侧设有多个均匀分布的格栅分焰环，多个格栅分焰环交错分布，格栅格栅分焰环和环形火排均与隔断环和排气管固定连接，通过补偿燃烧器对喷淋后废气进行二次燃烧处理，一方面可进一步降低废气中的有机物含量，另一方面降低排出气流的水分含量，本方案的补偿燃烧器中设置多个格栅分焰环，以打散其上端输入的氧气气流，可降低燃烧火排点火后的火焰温度，避免排出气流温度过。

24、 （4）喷淋管的顶端安装有与供氧设备输出端连接的分流环，分流环与隔断环与排气管之间空隙位置匹配，分流环位于喷淋管内的一端安装有气流喷头，通过气流喷头向补偿燃烧器输入氧气，保证其燃烧效率。

25、 （5）喷淋环包括环形支架，环形支架内安装有导流环，环形支架上安装有多个雾化喷头，且雾化喷头的输出端以30°斜角朝向隔断环外壁，雾化喷头喷出的水雾覆盖隔断环外壁，以此辅助隔断环内的补偿燃烧器工作时火焰温度的降低。

技术特征：

1.一种进氧量自控型电加热水洗式尾气处理器，包括燃烧器（1），其特征在于，所述燃烧器（1）的外侧设有喷淋管（2），所述燃烧器（1）与喷淋管（2）之间连接有供氧设备（3），所述供氧设备（3）的一个输出端与燃烧器（1）的进气端连接，所述供氧设备（3）的另一个输出端与喷淋管（2）连接；所述燃烧器（1）的输出端与喷淋管（2）之间连接有流量调节阀，所述燃烧器（1）和喷淋管（2）的顶端均安装有电磁三通阀；

2.根据权利要求1所述的一种进氧量自控型电加热水洗式尾气处理器，其特征在于，所述喷淋管（2）内设有多个填料环，所述填料环包括活性炭环，所述填料环安装在相邻两个喷淋环（4）之间。

3.根据权利要求1所述的一种进氧量自控型电加热水洗式尾气处理器，其特征在于，所述喷淋管（2）的底端安装有排液管，所述喷淋管（2）的底端安装有液位传感器。

4.根据权利要求1所述的一种进氧量自控型电加热水洗式尾气处理器，其特征在于，所述供氧设备（3）上连接有两个进气管，两个所述进气管分别用于提供工业氧气和纯净空气。

5.根据权利要求1所述的一种进氧量自控型电加热水洗式尾气处理器，其特征在于，所述补偿燃烧器（5）包括环形火排，所述环形火排包括固定环，所述固定环上安装有多个呈圆周分布的电点火器，所述环形火排的上侧设有多个均匀分布的格栅分焰环，多个所述格栅分焰环交错分布，所述格栅格栅分焰环和环形火排均与隔断环（202）和排气管（203）固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种进氧量自控型电加热水洗式尾气处理器，其特征在于，所述喷淋管（2）的顶端安装有与供氧设备（3）输出端连接的分流环，所述分流环与隔断环（202）与排气管（203）之间空隙位置匹配，所述分流环位于喷淋管（2）内的一端安装有气流喷头。

7.根据权利要求1所述的一种进氧量自控型电加热水洗式尾气处理器，其特征在于，包括一种控制系统，所述控制系统上连接有尾气成分检测设备，所述控制系统包括处理器，所述燃烧器（1）、喷淋管（2）、供氧设备（3）、喷淋设备、补偿燃烧器（5）和循环泵均与处理器信号连接。

8.根据权利要求1所述的一种进氧量自控型电加热水洗式尾气处理器，其特征在于，所述喷淋环（4）包括环形支架，所述环形支架内安装有导流环，所述环形支架上安装有多个雾化喷头，且雾化喷头的输出端以30°斜角朝向隔断环（202）外壁。

9.根据权利要求7所述的一种进氧量自控型电加热水洗式尾气处理器，其特征在于，包括废气被喷淋处理不充分时的使用方法：

10.根据权利要求9所述的一种进氧量自控型电加热水洗式尾气处理器，其特征在于，包括废气被燃烧不充分时的使用方法：

技术总结
本发明提供了应用于尾气处理器领域的一种进氧量自控型电加热水洗式尾气处理器，通过燃烧器的外侧设有喷淋管，燃烧器与喷淋管之间连接有供氧设备，供氧设备的一个输出端与燃烧器的进气端连接，供氧设备的另一个输出端与喷淋管连接；燃烧器的输出端与喷淋管之间连接有流量调节阀，燃烧器和喷淋管的顶端均安装有电磁三通阀；喷淋管内安装有补偿燃烧器；喷淋管的外侧设有循环泵，循环泵的输入端和输出端均与喷淋管连接。可以实现在尾气处理过程中，根据处理后尾气的成分检测，对尾气处理设备中的燃烧器和喷淋管进行功能强化，提高其废气处理效率，在废气中部分成分含量过高时，使设备进行适应性调整，保证废气处理充分。

技术研发人员：单欢欢,李涛,周海军
受保护的技术使用者：安徽壹月科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12