一种光刻胶搅拌溶解装置及其使用方法与流程

本发明涉及光刻胶，具体为一种光刻胶搅拌溶解装置及其使用方法。

背景技术：

1、众所周知，光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料；另外，光刻胶是由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体，其在光刻工艺过程中，主要用作抗腐蚀涂层材料。

2、在进行光刻胶的回收工作时，需要使用到加热装置对光刻胶进行溶解，当现有的加热装置在使用时不具备在加热过程中对光刻胶进行搅拌的功能，并且也不具备在加热时来回摆动的功能，从而使光刻胶在加热器内部受热的均匀性有待提升，为此，我们提出一种光刻胶搅拌溶解装置及其使用方法。

3、所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种光刻胶搅拌溶解装置及其使用方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种光刻胶搅拌溶解装置，包括：搅拌机构和摆动机构；

3、所述搅拌机构包括底座，所述底座的顶部通过立板转动连接有杆体，所述杆体上固定套装有块体，所述块体的一侧固定连接有板体，所述板体的顶部固定安装有加热器，所述板体的底部固定安装有电机，所述电机的输出轴固定连接有主动轮，所述主动轮的外侧通过皮带转动连接有从动轮，所述从动轮的一侧固定连接有主轴，所述主轴的外壁一侧延伸至加热器的内部且均匀固定连接有叶片；

4、所述摆动机构包括固定连接在底座顶部的支架，所述支架的一侧固定安装有气缸，所述气缸的活塞杆固定连接有齿条，所述齿条的底部与底座活动连接，所述齿条的顶部啮合连接有齿轮，所述齿轮固定套装在杆体上。

5、通过采用上述技术方案，加热器在对光刻胶进行加热溶解时，能够通过电机带动主动轮转动，从而使从动轮能够在皮带作用下带动主轴转动，进而使主轴在带动叶片转动后能够对加热过程中的光刻胶进行搅拌处理；另外，通过使气缸带动齿条来回移动的方式能够带动齿轮来回转动，从而使杆体能够在齿轮作用下通过块体和板体带动加热器来回摆动，进而使加热器内部光刻胶受热的均匀性得到进一步提升。

6、优选的，所述底座的顶部开设有滑槽，所述滑槽的内侧壁滑动连接有滑块，所述滑块的顶部与齿条固定连接。

7、通过采用上述技术方案，能够使齿条在移动过程中更加平稳。

8、优选的，所述底座的顶部固定连接有挡板，所述挡板的一侧通过轴承与杆体转动连接。

9、通过采用上述技术方案，能够减轻杆体的转动负荷，进而使加热器在摆动过程中更加平稳。

10、优选的，所述板体的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板的内部通过轴承与所述主轴转动连接。

11、通过采用上述技术方案，能够提升主轴在转动时的稳定性。

12、优选的，所述主轴上套装有密封圈，所述密封圈的一侧固定连接在加热器的外壁上。

13、通过采用上述技术方案，能够提升加热器使用时的密封性。

14、优选的，所述加热器的顶部分别连通有进料管和出料管。

15、通过采用上述技术方案，能够便于光刻胶在加热器上的进料和出料。

16、另外，本发明还提供了一种光刻胶搅拌溶解装置的使用方法，包括以下步骤：

17、步骤一、先将待溶解的固态光刻胶通过进料管投入至加热器内部，再启动加热器，使加热器开始对光刻胶进行溶解处理；

18、步骤二、溶解过程中启动电机，电机带动主动轮转动后，从动轮在皮带作用下带动主轴转动，主轴带动叶片在加热器内部旋转，使加热器内部的光刻胶在溶解过程中得到充分搅拌，使光刻胶受热更加均匀；

19、步骤三、启动气缸，气缸带动齿条来回移动，从而使齿轮在齿条作用下带动杆体进行顺时针和逆时针的来回转动，使杆体通过块体和板体带动加热器在指定幅度内进行摆动，使光刻胶受热的均匀性得到进一步提升；

20、步骤四、将外部导流管与出料管进行连接，外部负压装置启动后，加热器内部的光刻胶通过导流管输送至指定位置进行后续加工。

21、优选的，在步骤一和步骤四中，为了确保加热器运行时的密封性，进料管和出料管的端口处均设置有可拆卸的管盖。

22、综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

23、本光刻胶搅拌溶解装置及其使用方法通过搅拌机构和摆动机构的设置，使加热器在对光刻胶进行溶解时，能够通过启动电机的方式使主轴带动叶片对光刻胶进行搅拌，并且气缸通过齿条带动齿轮来回转动后，加热器能够进行来回摆动；通过以上设置，提升了光刻胶在加热器内部受热的均匀性。

技术特征：

1.一种光刻胶搅拌溶解装置，其特征在于，包括：搅拌机构（1）和摆动机构（2）；

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶搅拌溶解装置，其特征在于：所述底座（10）的顶部开设有滑槽（24），所述滑槽（24）的内侧壁滑动连接有滑块（25），所述滑块（25）的顶部与齿条（22）固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种光刻胶搅拌溶解装置，其特征在于：所述底座（10）的顶部固定连接有挡板（106），所述挡板（106）的一侧通过轴承与杆体（12）转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种光刻胶搅拌溶解装置，其特征在于：所述板体（14）的顶部固定连接有支撑板（107），所述支撑板（107）的内部通过轴承与所述主轴（101）转动连接。

5.根据权利要求4所述的一种光刻胶搅拌溶解装置，其特征在于：所述主轴（101）上套装有密封圈（105），所述密封圈（105）的一侧固定连接在加热器（15）的外壁上。

6.根据权利要求1所述的一种光刻胶搅拌溶解装置，其特征在于：所述加热器（15）的顶部分别连通有进料管（103）和出料管（104）。

7.一种光刻胶搅拌溶解装置的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：

8.根据权利要求7所述的一种光刻胶搅拌溶解装置的使用方法，其特征在于：在步骤一和步骤四中，为了确保加热器（15）运行时的密封性，进料管（103）和出料管（104）的端口处均设置有可拆卸的管盖。

技术总结
本发明公开了一种光刻胶搅拌溶解装置，包括：搅拌机构和摆动机构；所述搅拌机构包括底座，所述底座的顶部通过立板转动连接有杆体，所述杆体上固定套装有块体，所述块体的一侧固定连接有板体，所述板体的顶部固定安装有加热器，所述板体的底部固定安装有电机，所述电机的输出轴固定连接有主动轮，所述主动轮的外侧通过皮带转动连接有从动轮；本光刻胶搅拌溶解装置及其使用方法通过搅拌机构和摆动机构的设置，使加热器在对光刻胶进行溶解时，能够通过启动电机的方式使主轴带动叶片对光刻胶进行搅拌，并且气缸通过齿条带动齿轮来回转动后，加热器能够进行来回摆动；通过以上设置，提升了光刻胶在加热器内部受热的均匀性。

技术研发人员：李俊,林斌
受保护的技术使用者：苏州泰晶新材料有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14