一种半导体废气处理隔热设备及方法与流程

本发明涉及废气处理，具体为一种半导体废气处理隔热设备及方法。

背景技术：

1、半导体集成电路在生产与制造时，利用各种特气实现工艺需求，例如：cf等有害气体，该气体主要是剧毒，酸性强。该类气体不能直接排放。所以需要吸附式尾气处理设备进行处理后排放。吸附式尾气处理设备的基本原理为利用高温将气体化学键打开，然后与氧结合，形成氧化物后与水融合。

2、但是目前的半导体废气处理一般是采用喷淋式的方法，对腐蚀性较强气体喷淋中和溶液，将腐蚀性较强气体进行中和反应，而这些腐蚀性较强气体水结合后腐蚀性强度加倍，反应腔的内壁存在大量的没有中和溶液的地方，使得反应腔的内壁容易被腐蚀，尤其是反应腔底部外壁的周向位置存在焊缝，容易发生敏化效应，且发生腐蚀的位置温度较高，导致腐蚀速度加快，进一步降低反应腔的抗腐蚀性能，影响反应腔的正常理化性能。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种半导体废气处理隔热设备及方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体废气处理隔热设备，包括壳体，壳体是用于半导体废气处理隔热设备的外壳，所述壳体的表面和内壁上设置有隔热机构，所述隔热机构包括：反应腔、螺旋管道、进气管道、输入管道、输出管道，所述反应腔的表面和内壁上设置有废气处理机构，所述废气处理机构包括：

3、电机，所述反应腔的外壳固定连接有电机的外壳，所述电机的输出轴固定连接有主轴，所述主轴的底部固定连接有连接块的顶部，所述连接块的表面上固定连接有椭圆连接杆的一端，所述椭圆连接杆的另一端固定连接有连接环的内壁，所述椭圆连接杆的表面上开设有切割通孔，所述连接环的内壁上固定连接有半圆凸起块，所述连接环的表面被清洁件贯穿，且连接环的表面与清洁件滑动连接，所述清洁件的表面上固定连接有弹簧一的一端，所述弹簧一的另一端固定连接有连接环的底部，所述清洁件的表面上固定连接有固定轴，所述固定轴的表面上固定连接有涡卷弹簧的一端，所述涡卷弹簧的另一端固定连接有转动板。

4、优选的，所述壳体的内壁上固定连接有反应腔的表面，所述反应腔的表面上固定连接有螺旋管道的表面，所述螺旋管道的顶部固定连接有进气管道，所述螺旋管道的底部固定连接有输入管道的一端，所述输入管道的另一端固定连接有反应腔的底部，所述壳体的顶部固定连接有输出管道。

5、优选的，所述反应腔的内壁上设置有过滤机构，所述过滤机构包括：固定外环，所述反应腔的内壁上固定连接有固定外环的表面，所述固定外环的内壁上固定连接有螺旋件的外侧表面，所述螺旋件的内侧固定连接有圆柱块，所述主轴的表面固定连接有弹簧三的一端，所述弹簧三的另一端固定连接有敲击块，所述圆柱块的内壁上固定连接有固定方型块。

6、优选的，所述连接块的表面上固定有半圆型的凸起块，所述主轴贯穿反应腔的内壁，且主轴与反应腔的内壁转动连接。

7、优选的，所述转动板的中部为中空的圆柱体，所述转动板的两侧为板型，所述转动板的表面与清洁件的表面转动连接。

8、优选的，所述螺旋管道为螺旋型的中空管道，所述进气管道贯穿壳体的顶部，且进气管道与壳体的顶部固定，所述输出管道贯穿壳体的顶部，且输出管道与壳体的顶部固定。

9、优选的，所述固定外环为中空的圆柱体。

10、优选的，所述主轴贯穿圆柱块的内壁，且主轴与圆柱块的内壁转动连接，所述圆柱块的内壁上开设有圆柱型空腔。

11、一种半导体废气处理隔热设备的使用方法，所述半导体废气处理隔热设备的使用方法步骤包括：

12、步骤一：将半导体废气使用气泵通入进气管道，然后进入螺旋管道的内壁，螺旋管道的内壁表面与反应腔的表面固定接触，使得螺旋管道内部的废气的热量被反应腔吸收，起到了预热反应腔的作用，加速了废气与溶液的中和速度，同时壳体与反应腔中间的密闭空腔起到了隔热保温的作用；

13、步骤二：废气通过螺旋管道进入输入管道，再进入反应腔的内壁，此时废气与反应腔内的溶液进行中和，反应腔的内壁被溶液覆盖，避免废气腐蚀反应腔，开启电机，电机的输出轴带动主轴转动，主轴带动连接块转动，连接块带动表面上是半圆型凸起转动，连接块表面上的半圆型凸起将溶液和废气向远离主轴的方向推动，连接块带动椭圆连接杆转动，椭圆连接杆对溶液和废气进行搅拌混合，椭圆连接杆表面上的切割通孔转动时起到了切割溶液和废气的作用，使得溶液和废气进行湍流混合，进一步加强溶液和废气混合，椭圆连接杆带动连接环转动，连接环带动半圆凸起块转动，半圆凸起块将溶液和废气向靠近主轴的方向推动，配合连接块表面上的半圆型凸起将溶液和废气向远离主轴的方向推动，使得溶液和废气被充分的搅拌混合，使得废气被处理的更彻底，连接环转动时，带动清洁件转动，使得清洁件带动转动板转动，转动板在搅拌的湍流的作用下带动涡卷弹簧向不同的方向转动，当转动板顺时针转动，转动的溶液对转动板起到一个向下的力，使得转动板带动清洁件向下移动，反之当转动板顺时针转动，转动的溶液对转动板起到一个向上的力，使得转动板带动清洁件向上移动，使得清洁件上下对反应腔的内壁清洁；

14、步骤三：废气向上通过螺旋件的部分时，螺旋件使得废气通过的速度减慢，使得废气与溶液进一步的充分反应，同时主轴转动带动弹簧三转动，弹簧三带动敲击块转动，敲击块对固定方型块敲击，当敲击块抵触固定方型块时，弹簧三弯曲，当敲击块远离固定方型块时带动敲击块回位，往复循环起到了敲击震动的作用，过滤机构和溶液的密度不同，因而产生的震动频率不同，导致溶液在不断的震动中与过滤机构脱离和进一步的与废气混合，避免了溶液在过滤机构上粘附的同时加速了废气过滤。

15、与现有技术相比，本发明提供了一种半导体废气处理隔热设备及方法，具备以下有益效果：

16、1、该半导体废气处理隔热设备及方法，通过设置了废气处理机构，椭圆连接杆对溶液和废气进行搅拌混合，椭圆连接杆表面上的切割通孔转动时起到了切割溶液和废气的作用，使得溶液和废气进行湍流混合，加强溶液和废气混合，半圆凸起块将溶液和废气向靠近主轴的方向推动，配合连接块表面上的半圆型凸起将溶液和废气向远离主轴的方向推动，使得溶液和废气被充分的搅拌混合，使得废气被处理的更彻底，连接环转动时，带动清洁件转动，使得清洁件带动转动板转动，转动板在搅拌的湍流的作用下带动涡卷弹簧向不同的方向转动，当转动板顺时针转动，转动的溶液对转动板起到一个向下的力，使得转动板带动清洁件向下移动，反之当转动板顺时针转动，转动的溶液对转动板起到一个向上的力，使得转动板带动清洁件向上移动，使得清洁件上下对反应腔的内壁清洁。

17、2、该半导体废气处理隔热设备及方法，通过设置了隔热机构，将半导体废气使用气泵通入进气管道，然后进入螺旋管道的内壁，螺旋管道的内壁表面与反应腔的表面固定接触，使得螺旋管道内部的废气的热量被反应腔吸收，起到了预热反应腔的作用，加速了废气与溶液的中和速度，同时壳体与反应腔中间的密闭空腔起到了隔热保温的作用。

18、3、该半导体废气处理隔热设备及方法，通过设置了过滤机构，废气向上通过螺旋件的部分时，螺旋件使得废气通过的速度减慢，使得废气与溶液进一步的充分反应，同时主轴转动带动弹簧三转动，弹簧三带动敲击块转动，敲击块对固定方型块敲击，当敲击块抵触固定方型块时，弹簧三弯曲，当敲击块远离固定方型块时带动敲击块回位，往复循环起到了敲击震动的作用，过滤机构和溶液的密度不同，因而产生的震动频率不同，导致溶液在不断的震动中与过滤机构脱离和进一步的与废气混合，避免了溶液在过滤机构上粘附的同时加速了废气过滤。