一种均匀喷覆的镀膜装置的制作方法

本发明涉及半导体镀膜，具体为一种均匀喷覆的镀膜装置。

背景技术：

1、半导体是介于导体与绝缘体之间的具有导电性能的材料，半导体应用的领域很广，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，镀膜设备是半导体生产常用的设备，对于半导体端面需要镀膜保护，以防止半导体受损；

2、现有技术中存在以下问题：

3、现有技术下，半导体镀膜设备多为单一工作模式，在镀膜时，需要将半导体材料固定在设备的夹具上，在镀膜结束后，再将半导体取下，进行下一个半导体的镀膜，效率低下，且镀膜时，镀膜喷头在机床内内需要不断的横移喷覆，操作人员在涂覆或镀膜过程中需要严格遵循操作规程，例如喷覆速度、喷覆厚度、喷覆时间等方面的控制，如果不够准确，可能导致不均匀的镀膜结果，为此，我们提出一种均匀喷覆的镀膜装置用于解决上述问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种均匀喷覆的镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述发明目的，本发明采用如下技术方案：

3、本发明提供的一种均匀喷覆的镀膜装置，包括工作台，所述工作台顶部设置有镀膜机，所述镀膜机底部设置有多个喷头，所述工作台顶部设置有控制组件，所述控制组件包括螺旋板，所述螺旋板底部与工作台固定连接且轴线重合，所述螺旋板开口一端设置有承载组件，所述承载组件与工作台滑动连接，所述螺旋板设置在多个喷头底部，所述螺旋板的板层数量与喷头相匹配，所述螺旋板表面开设有贯穿自身的运动窗口，所述运动窗口包括初始段、顺滑段和多个触发段，多个所述触发段分别设置在多个喷头底部，所述初始段开设于螺旋板靠近自身开口一端，所述初始段与顺滑段连通，所述初始段的高度从自身靠近顺滑段的方向均匀减小，所述顺滑段高度大于触发段，所述初始段、顺滑段和触发段连接处均开设有倾斜面，所述螺旋板两端均固定连接有限位座，所述螺旋板顶部固定连接有连接板，所述连接板远离工作台轴线的一侧开设有多个齿槽，所述螺旋板靠近工作台轴线的一面固定连接有限位板。

4、优选的，所述承载组件包括安装筒，所述安装筒顶部固定连接有支撑筒，所述支撑筒呈漏斗结构，所述支撑筒顶部筒壁固定连接有承接板，所述承接板顶部固定连接有橡胶圈，所述橡胶圈内环壁开设有多个凹槽。

5、优选的，多个所述凹槽绕橡胶圈轴线均匀分布，所述安装筒内设置有运动座，所述运动座与安装筒内壁滑动连接，所述运动座四周开设有安装环槽，所述安装环槽槽内套接有多个密封圈。

6、优选的，所述密封圈外环壁与安装筒内壁滑动连接，所述运动座底部一侧固定连接有上顶座，所述上顶座底部设置有压力传感器，所述压力传感器底部固定连接有第一固定板。

7、优选的，所述第一固定板一端与安装筒内壁固定连接，所述压力传感器输出端电连接有信号发射器，所述信号发射器输出端与镀膜机内置单片机电连接。

8、优选的，所述运动座底部固定连接有固定辊，所述固定辊底部固定连接有运动杆，所述运动杆远离安装筒的一端贯穿运动窗口延伸至螺旋板内，所述运动杆与运动窗口滑动连接。

9、优选的，所述运动杆在螺旋板内的一端固定连接有贴合座，所述贴合座与螺旋板靠近工作台轴线的一面滑动连接，所述贴合座靠近螺旋板的一面开设有与限位板相匹配的限位槽，所述限位板与限位槽槽壁滑动连接。

10、优选的，所述安装筒靠近螺旋板的一侧设置有伺服电机，所述伺服电机表面套接有固定环，所述固定环一侧与安装筒外壁固定连接。

11、优选的，所述伺服电机与固定环固定连接，所述伺服电机输出端固定连接有驱动辊，所述驱动辊底部固定连接有主动齿轮，所述主动齿轮通过齿槽与连接板啮合连接。

12、优选的，所述安装筒底部固定连接连接筒，所述连接筒底部固定连接有两个第二固定板，两个所述第二固定板沿安装筒轴线对称分布，所述连接筒两侧开设有连通窗口，两个所述第二固定板相互靠近的端面转动连接有导轮，所述导轮底部与工作台台面接触。

13、与现有技术相比，以上一个或多个技术方案存在以下有益效果：

14、本发明通过螺旋板和多个喷头的设置，螺旋板表面开设有贯穿自身的运动窗口，其中运动窗口包括初始段、顺滑段和多个触发段，通过多个不同的窗口设计，实现对半导体板的固定和松脱，具有自动化处理能力，减少人工操作的需求，实现对半导体板的连续喷覆镀膜，使得工作过程高效快速，利用喷头和螺旋板的特殊设计，可以对半导体板进行从外环至内层的层层喷覆，确保镀膜均匀，并且不会遗漏，装置通过限位和传感器等控制，可以实现对每个半导体板的精确定位和处理，确保每次喷覆镀膜的准确性和一致性，具有高效、均匀、自动化等优点，能够提高半导体板的生产效率和质量，适用于大规模生产需要的场景。

技术特征：

1.一种均匀喷覆的镀膜装置，其特征在于，包括工作台（1），所述工作台（1）顶部设置有镀膜机（101），所述镀膜机（101）底部设置有多个喷头（102），所述工作台（1）顶部设置有控制组件（2），所述控制组件（2）包括螺旋板（201），所述螺旋板（201）底部与工作台（1）固定连接且轴线重合，所述螺旋板（201）开口一端设置有承载组件（3），所述承载组件（3）与工作台（1）滑动连接，所述螺旋板（201）设置在多个喷头（102）底部，所述螺旋板（201）除开口端的每个板层顶部均设置有喷头（102），所述螺旋板（201）表面开设有贯穿自身的运动窗口（205），所述运动窗口（205）包括初始段（206）、顺滑段（207）和多个触发段（208），多个所述触发段（208）分别设置在多个喷头（102）底部，所述初始段（206）开设于螺旋板（201）靠近自身开口一端，所述初始段（206）与顺滑段（207）连通，所述初始段（206）的高度从自身朝向顺滑段（207）的方向均匀减小，所述顺滑段（207）高度大于触发段（208），所述初始段（206）、顺滑段（207）和触发段（208）连接处均开设有倾斜面（209），所述螺旋板（201）两端均固定连接有限位座（204），所述螺旋板（201）顶部固定连接有连接板（202），所述连接板（202）远离工作台（1）轴线的一侧开设有多个齿槽（203），所述螺旋板（201）靠近工作台（1）轴线的一面固定连接有限位板（210）。

2.根据权利要求1所述的一种均匀喷覆的镀膜装置，其特征在于，所述承载组件（3）包括安装筒（301），所述安装筒（301）顶部固定连接有支撑筒（302），所述支撑筒（302）呈漏斗状结构，所述支撑筒（302）顶部筒壁固定连接有承接板（303），所述承接板（303）顶部固定连接有橡胶圈（304），所述橡胶圈（304）内环壁开设有多个凹槽（305）。

3.根据权利要求2所述的一种均匀喷覆的镀膜装置，其特征在于，多个所述凹槽（305）绕橡胶圈（304）轴线均匀分布，所述安装筒（301）内设置有运动座（306），所述运动座（306）与安装筒（301）内壁滑动连接，所述运动座（306）四周开设有安装环槽（307），所述安装环槽（307）槽内套接有多个密封圈（308）。

4.根据权利要求3所述的一种均匀喷覆的镀膜装置，其特征在于，所述密封圈（308）外环壁与安装筒（301）内壁滑动连接，所述运动座（306）底部一侧固定连接有上顶座（309），所述上顶座（309）底部设置有压力传感器（311），所述压力传感器（311）底部固定连接有第一固定板（310）。

5.根据权利要求4所述的一种均匀喷覆的镀膜装置，其特征在于，所述第一固定板（310）一端与安装筒（301）内壁固定连接，所述压力传感器（311）输出端电连接有信号发射器（312），所述信号发射器（312）输出端与镀膜机（101）内置单片机电连接。

6.根据权利要求5所述的一种均匀喷覆的镀膜装置，其特征在于，所述运动座（306）底部固定连接有固定辊（313），所述固定辊（313）底部固定连接有运动杆（314），所述运动杆（314）远离安装筒（301）的一端贯穿运动窗口（205）延伸至螺旋板（201）内，所述运动杆（314）与运动窗口（205）滑动连接。

7.根据权利要求6所述的一种均匀喷覆的镀膜装置，其特征在于，所述运动杆（314）在螺旋板（201）内的一端固定连接有贴合座（315），所述贴合座（315）与螺旋板（201）靠近工作台（1）轴线的一面滑动连接，所述贴合座（315）靠近螺旋板（201）的一面开设有与限位板（210）相匹配的限位槽（316），所述限位板（210）与限位槽（316）槽壁滑动连接。

8.根据权利要求7所述的一种均匀喷覆的镀膜装置，其特征在于，所述安装筒（301）靠近螺旋板（201）的一侧设置有伺服电机（317），所述伺服电机（317）表面套接有固定环（318），所述固定环（318）一侧与安装筒（301）外壁固定连接。

9.根据权利要求8所述的一种均匀喷覆的镀膜装置，其特征在于，所述伺服电机（317）与固定环（318）固定连接，所述伺服电机（317）输出端固定连接有驱动辊（319），所述驱动辊（319）底部固定连接有主动齿轮（320），所述主动齿轮（320）通过齿槽（203）与连接板（202）啮合连接。

10.根据权利要求9所述的一种均匀喷覆的镀膜装置，其特征在于，所述安装筒（301）底部固定连接有连接筒（321），所述连接筒（321）底部固定连接有两个第二固定板（323），两个所述第二固定板（323）沿安装筒（301）轴线对称分布，所述连接筒（321）两侧开设有连通窗口（322），两个所述第二固定板（323）相互靠近的端面转动连接有导轮（324），所述导轮（324）底部与工作台（1）台面接触。

技术总结
本发明公开了一种均匀喷覆的镀膜装置，涉及技半导体镀膜术领域，包括工作台，工作台顶部设置有镀膜机，镀膜机底部设置有多个喷头，工作台顶部设置有控制组件，螺旋板开口一端设置有承载组件，本发明通过螺旋板和多个喷头的设置，螺旋板表面开设有贯穿自身的运动窗口，其中运动窗口包括初始段、顺滑段和多个触发段，通过多个不同的窗口设计，实现对半导体板的固定和松脱，具有自动化处理能力，减少人工操作需求，实现对半导体板的连续喷覆镀膜，使得工作过程高效快速，利用喷头和螺旋板的特殊设计，可以对半导体板进行从外环至内层的层层喷覆，确保镀膜均匀，并且不会遗漏，对每个半导体板的精确定位和处理，确保每次喷覆镀膜的准确性和一致性。

技术研发人员：梅力,胡朗,胡冬云
受保护的技术使用者：江苏盟星智能科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/22