一种狭缝涂布设备的制作方法

本发明涉及液体涂覆的，尤其是涉及一种狭缝涂布设备。

背景技术：

1、目前，能源材料和光电子器件研究中最引人注目的领域之一是钙钛矿太阳能电池。它们不仅被发现是最有效的太阳能电池类型之一，而且也是材料科学中发展最快的领域之一。然而，尽管钙钛矿带隙可调整、材料耗量低、纯度要求低、弱光效应好且具备柔性制造能力，因此具有理论效率更高、理论成本更低、发电量更高、应用场景更广四大优势。但钙钛矿产业化仍有两大痛点需要解决，即大面积备制效率降低以及稳定性较差，这对于在生产过程中设备的要求相对较高。

2、近些年来在大面积快速沉积钙钛矿薄膜的质量方面已经取得了重大进展，在过去的几年里，利用可扩展的印刷和涂层技术生产钙钛矿光伏已经取得了令人印象深刻的进展。目前应用相对广泛的涂布工艺有刀涂与狭缝涂布、喷墨印刷、喷涂等等；其中，喷墨印刷技术的打印速度受到喷嘴数量的限制，通常比其他涂层方法慢，并且由于油墨的准确润湿行为在喷墨打印中至关重要，因此开发合适的油墨可能比其他涂层技术更为困难；喷涂技术如果干燥速率过高或湿膜厚度过低，液滴在凝聚前就会干燥，从而产生不均匀的层，表面覆盖度较差；相对于这两种技术刀涂与狭缝涂布技术，一般来说，狭缝涂布和刀片涂层都是成熟的工业沉积技术，可以在非常高的沉积速率下运行，这使得它们成为升级钙钛矿光伏的有希望的候选对象。

3、在公开号为cn115672660a公开的“狭缝涂布设备及涂布方法”中，包括：机架、涂布头、旋转驱动组件以及多个注射设备。涂布头转动连接在机架上，涂布头上设有多个用于对基材进行涂布作业且可调节间距的涂布狭缝；多个注射设备与多个涂布狭缝一一对应，注射设备用于向对应的涂布狭缝中注射涂布作业用的溶液。旋转驱动组件设置在机架上并与涂布头连接，以驱动多个涂布狭缝依次与基材相对应。以此通过旋转驱动组件旋转涂布头，依次将多个涂布狭缝与基材相对应，使得基材快速完成多种溶液的涂布作业，避免了模头更换或清洗而带来的繁琐步骤，从而有效节约了涂布花费的时间，提高了涂布效率；但用于涂布作业的溶液通常含有对人体有害的挥发性有机物，上述狭缝涂布设备在进行涂布作业时，用于涂布作业的溶液产生的有害气体可能会在工作区内积累，对工作人员的健康造成危害。

技术实现思路

1、为了克服上述现有技术中的缺陷，提供一种封闭的，具有排风系统的，结构紧凑，涂布效率高的狭缝涂布设备。

2、一种狭缝涂布设备，包括相连通的上腔室和下腔室；上腔室的顶部设有用于送风的ffu层流送风单元；下腔室外接有排风系统；上腔室内设有用于承载基板的气浮料台组件，气浮料台组件装配在上腔室底部设有的导轨组件上，气浮料台组件的上方装配有刀头组件，刀头组件的上端设有上料组件。

3、作为优选的，排风系统包括外排风机，外排风机通过出口软管和风阀与下腔室的一侧连接，外排风机通过封口软管与风管连接，风管通过支撑均压板与曲型风管连接，曲型风管的管口设有出风口软连接管。

4、作为优选的，导轨组件安装在下腔室设有的机架上，导轨组件包括导轨和限位油压缓冲器，限位油压缓冲器安装在导轨的两端。

5、作为优选的，气浮料台组件包括带有加热功能的金属料台、气浮料台和风琴罩，金属料台安装在气浮料台的上端，气浮料台安装在导轨上，风琴罩装配在气浮料台和导轨之间。

6、作为优选的，导轨的上端设有用于驱动气浮料台往复运动的直线电机，导轨的下端设有用于测量气浮料台位置的光栅尺。

7、作为优选的，刀头组件包括装配有涂布刀头的刀头架，刀头架的上端安装有用于控制涂布刀头左右移动的横向电机丝杆，刀头架的两侧安装有用于控制涂布刀头上下移动的气缸和微调楔块组件，涂布刀头的两侧安装有u型光电传感器。

8、作为优选的，上料组件包括滑台机台，滑台机台的侧面装配有化学阀，化学阀通过管道分别与安装在滑台机台的上方的注射泵组件和进料瓶连接。

9、作为优选的，滑台机台和进料瓶连接处安装有供料加热组件，供料加热组件上端装配有清洗瓶，清洗瓶通过管道与涂布刀头连接。

10、作为优选的，上腔室通过气管外接有气罐缓存装置，气罐缓存装置为气浮料台及气缸提供用气，气罐缓存装置装配有调压过滤元件。

11、作为优选的，还包括触摸屏显示组件，触摸屏显示组件安装在上腔室外，用于控制上腔室内各组件。

12、与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：

13、狭缝涂布设备主要由相连通的上腔室和下腔室组成，上腔室内设有气浮料台组件，用于承载需要进行涂布的基板；气浮料台组件装配在上腔室底部设有导轨组件上，以便进行平稳的移动和定位；气浮料台组件的上方装配有刀头组件，用于涂布材料的均匀分布；刀头组件的上端设有上料组件，用于将涂布材料供给到刀头组件上，可以实现对基板进行高效、均匀的涂布操作；上腔室的顶部设有用于送风的ffu层流送风单元，确保了工作区域的洁净度；下腔室外接有排风系统，用于排出有害气体，保障了工作人员的健康。

14、进一步的，外排风机通过出口软管和风阀与下腔室的一侧连接，这样可以将下腔室内的气体和废料抽出；外排风机通过封口软管与风管连接，封口软管用于密封外排风机和风管的连接处，以确保气体不会泄漏；风管通过支撑均压板与曲型风管连接，支撑均压板用于支撑风管，以保持其稳定性；曲型风管的管口设有出风口软连接管，这样可以将排出的气体和废料导向到指定的位置或处理设备中。

15、进一步的，导轨组件安装在下腔室内设有的机架上，机架为导轨组件提供稳定的支撑力；导轨限位油压缓冲器安装在导轨两端，用于限制气浮料台组件的移动范围并提供缓冲和稳定的功能，导轨限位油压缓冲器通过控制油压来达到限位和缓冲的效果，确保了气浮料台组件在移动时能够平稳停止并保持在合适的位置。

16、进一步的，具有加热功能的金属料台安装在气浮料台的上端，用来承载基板，金属料台通常由金属材料制成，并具有加热元件，可以根据不同的工艺需求，加热基板以提供适宜的涂布条件；气浮料台安装在导轨上，导轨为气浮料台提供支撑，引导气浮料台在导轨上平稳移动；气浮料台具有气浮功能，通过气压控制，使金属料台在导轨上平稳移动，确保了金属料台上放置的基板能均匀稳定地涂布；风琴罩装配在气浮料台和导轨之间，风琴罩防止涂布作业的溶液对导轨造成污染，确保导轨组件能顺利的运行。

17、进一步的，光栅尺安装在导轨的下端，用于检测和测量气浮料台组件的位置和运动状态；直线电机安装在导轨的上端，通过电磁力驱动气浮料台组件在导轨上进行精确的移动和定位。

18、进一步的，刀头架用于支撑和固定涂布刀头；刀头架的上端安装有横向电机丝杆，用于控制涂布刀头左右移动，刀头架的两侧还安装有气缸和微调楔块组件，用于控制涂布刀头的上下移动；上述装置可以使涂布头平行于金属料台，防止没有保持平行造成涂布头和金属料台上的基板造成碰撞，满足了涂布工序对于涂布厚度和均匀性的要求。

19、进一步的，涂布刀头的两侧安装有用于检测刀头位置的u型光电传感器，通过光电原理来感知刀头的位置，将涂布刀头对准基板，防止涂布刀头没有对准要进行涂布操作的基板；提高了涂布工作效率。

20、进一步的，化学阀组件用于控制涂布溶液的开关，化学阀的两端通过管路分别连接进料瓶和注射泵，注射泵根据不同工艺需求来控制涂布溶液的量，提高了涂布质量。

21、进一步的，滑台机台和进料瓶连接处安装有供料加热组件，供料加热组件可以提供恒定的加热温度，根据不同客户工艺的需求，对供料可进行加热，加热温度可根据所需要求进行设定；供料加热组件上端装配有用于清洗涂布刀头的清洗瓶，清洗瓶中装有清洗液体，通过管道与涂布刀头相连，在清洗过程中，清洗液体会被喷射到涂布刀头，以清除残留的涂料或污垢，确保涂布刀头的正常运行。

22、进一步的，气罐缓存装置为气浮料台及气缸提供用气，调压过滤元件是安装在气罐缓存装置上，调压过滤元件用于控制气体的输出压力，确保气体供给的稳定性和可控性，使气浮料台及气缸能够安全平稳地运行。

23、进一步的，触摸屏显示组件可以显示实时的设备状态、参数设置和操作提示等信息，使操作人员能够直观地了解设备运行情况，并进行必要的调整和控制，提高了设备操作的便捷性，确保了设备的正常运行和涂布效果的稳定性。

24、本发明的狭缝涂布设备满足了涂布工序对于涂布厚度和均匀性的要求，同时通过上腔室的层流送风单元和下腔室的排风系统，有效控制工作环境的洁净度，减少废气和颗粒物的产生。

25、本发明的其他特点和优点将会在下面的具体实施方式、附图中详细的揭露。