一种排气系统的制作方法

本技术涉及涂胶显影机，尤其涉及一种排气系统。

背景技术：

1、涂胶显影机是制造半导体的常用设备，一般用于光刻胶涂布及显影等工艺。光刻胶涂布的过程一般包括：将晶圆安置于涂胶显影机的工作台上，由涂胶显影机的光刻胶喷嘴向晶圆表面喷上光刻胶。涂胶过程中会产生废气，为了防止废气影响晶圆的均匀上胶，这些废气需要被排出。涂胶显影机内设有排气系统，排气系统与工作台连通，当废气产生后，废气会经过排气系统内的过滤组件过滤后再排出。

2、目前涂胶显影机内的排气系统结构复杂，当废气过滤达到饱和后，不便于更换排气系统内的过滤耗材。因此，需设计一种排气系统，便于更换过滤耗材。

技术实现思路

1、鉴于目前存在的上述不足，本实用新型提供一种排气系统，结构简单，拆装方便，便于更换过滤耗材，具有可调速、过滤、回液等功能。

2、为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

3、一种排气系统，安装在涂胶显影机内，包括固定座，所述固定座上设有抽气设备和过滤组件，所述抽气设备和过滤组件连通，所述过滤组件包括第一腔盖、第二腔盖，所述第一腔盖一端插接有连接管，所述第二腔盖一端插接在抽气设备内、另一端插接在第一腔盖内，所述第二腔盖内设有滤芯，所述第二腔盖一端连有接头。

4、依照本实用新型的一个方面，所述排气系统还包括主夹板和次夹板，所述第二腔盖设于主夹板内，所述抽气设备设于次夹板内，所述主夹板和次夹板分别与固定座连接。

5、依照本实用新型的一个方面，所述主夹板和次夹板都呈几字板状。

6、依照本实用新型的一个方面，所述排气系统还包括第一密封圈、第二密封圈、第三密封圈，所述第一密封圈设于第一腔盖和连接管之间，所述第二密封圈设于第一腔盖和第二腔盖之间，所述第三密封圈设于第二腔盖和抽气设备之间。

7、依照本实用新型的一个方面，所述抽气设备为管道式抽风机。

8、依照本实用新型的一个方面，所述排气系统还包括卡箍，所述卡箍与连接管相连。

9、依照本实用新型的一个方面，所述卡箍为kf接头卡箍。

10、依照本实用新型的一个方面，所述第一腔盖和第二腔盖都呈漏斗状，都采用尼龙材料。

11、依照本实用新型的一个方面，所述滤芯为工业活性炭。

12、依照本实用新型的一个方面，所述排气系统还包括收集罐，所述收集罐和接头相连。

13、本实用新型实施的优点：一种排气系统，安装在涂胶显影机内，包括固定座，所述固定座上设有抽气设备和过滤组件，所述抽气设备和过滤组件连通，所述过滤组件包括第一腔盖、第二腔盖，所述第一腔盖一端插接有连接管，所述第二腔盖一端插接在抽气设备内、另一端插接在第一腔盖内，所述第二腔盖内设有滤芯，所述第二腔盖一端连有接头。通过抽气设备工作，涂胶显影机内涂胶时产生的废气从连接管吸入，经过过滤组件内的滤芯过滤后，废气中的水分子等形成的废液经接头排出至收集罐进行回收，过滤后的废气经抽气设备即管道式抽风机的出口处排出。通过设置管道式抽风机、滤芯、接头和收集罐等结构，本系统具有可调速、过滤、回液等功能；通过第一腔盖一端与连接管插接，所述第二腔盖一端与抽气设备插接、另一端与第一腔盖插接，本系统可以快速对过滤组件进行拆装，从而可以快速更换滤芯；通过第二腔盖、抽气设备分别对应由主夹板、次夹板螺纹连接在固定座上，以及通过连接管由卡箍与涂胶显影机内对应的管道相连，本系统拆装方便、结构简单。

技术特征：

1.一种排气系统，安装在涂胶显影机内，包括固定座(1)，所述固定座(1)上设有抽气设备(2)和过滤组件(3)，所述抽气设备(2)和过滤组件(3)连通，其特征在于，所述过滤组件(3)包括第一腔盖(31)、第二腔盖(32)，所述第一腔盖(31)一端插接有连接管(4)，所述第二腔盖(32)一端插接在抽气设备(2)内、另一端插接在第一腔盖(31)内，所述第二腔盖(32)内设有滤芯(33)，所述第二腔盖(32)一端连有接头(5)。

2.根据权利要求1所述的一种排气系统，其特征在于，所述排气系统还包括主夹板(6)和次夹板(7)，所述第二腔盖(32)设于主夹板(6)内，所述抽气设备(2)设于次夹板(7)内，所述主夹板(6)和次夹板(7)分别与固定座(1)连接。

3.根据权利要求2所述的一种排气系统，其特征在于，所述主夹板(6)和次夹板(7)都呈几字板状。

4.根据权利要求1所述的一种排气系统，其特征在于，所述排气系统还包括第一密封圈、第二密封圈、第三密封圈，所述第一密封圈设于第一腔盖(31)和连接管(4)之间，所述第二密封圈设于第一腔盖(31)和第二腔盖(32)之间，所述第三密封圈设于第二腔盖(32)和抽气设备(2)之间。

5.根据权利要求4所述的一种排气系统，其特征在于，所述抽气设备(2)为管道式抽风机。

6.根据权利要求1所述的一种排气系统，其特征在于，所述排气系统还包括卡箍(11)，所述卡箍(11)与连接管(4)相连。

7.根据权利要求6所述的一种排气系统，其特征在于，所述卡箍(11)为kf25接头卡箍。

8.根据权利要求1所述的一种排气系统，其特征在于，所述第一腔盖(31)和第二腔盖(32)都呈漏斗状，都采用尼龙材料。

9.根据权利要求1所述的一种排气系统，其特征在于，所述滤芯(33)为工业活性炭。

10.根据权利要求1所述的一种排气系统，其特征在于，所述排气系统还包括收集罐，所述收集罐和接头(5)相连。

技术总结
本技术公开了一种排气系统，安装在涂胶显影机内，包括固定座，所述固定座上设有抽气设备和过滤组件，所述抽气设备和过滤组件连通，所述过滤组件包括第一腔盖、第二腔盖，所述第一腔盖一端插接有连接管，所述第二腔盖一端插接在抽气设备内、另一端插接在第一腔盖内，所述第二腔盖内设有滤芯，所述第二腔盖一端连有接头。本技术提供的一种排气系统，结构简单，拆装方便，便于更换过滤耗材，具有可调速、过滤、回液等功能。

技术研发人员：刘辉,陈辉,刘静怡,高英,杨科
受保护的技术使用者：上海百雅信息科技发展有限公司
技术研发日：20230314
技术公布日：2024/1/15