一种特气处理用储水箱的制作方法

本技术涉及废气处理设备，更具体地说，它涉及一种特气处理用储水箱。

背景技术：

1、电子特气被称为半导体材料的“粮食”和“源”，狭义的“电子特气”特指电子半导体行业用的特种气体，在很大程度上决定了半导体器件性能的好坏，电子特气的产品种类丰富，硅烷是半导体制造中所用最重要的气体品种之一：硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体，吸入高浓度的硅烷会引起头痛、恶心、头晕并刺激上呼吸道。过度吸入硅烷会引起肺炎和肾病，这是由于存在结晶二氧化硅的原因，它对健康的首要危害是它自燃的火焰会引起严重的热灼伤，如果严重甚至会致命。

2、因此需要对生产环境中的电子特气进行及时有效的处理，现有的处理方法通常为进行喷水工作后并将水直接在进行回收处理，但是在处理过程中水对特气的吸收难以达到饱和后就进行时回收，用水量大，易造成浪费。

3、因此亟需一种新的技术方案来解决上述技术问题。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种特气处理用储水箱。

2、本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种特气处理用储水箱，包括水箱，所述水箱内通过隔板组件形成有混合室与交换室，所述水箱位于混合室顶部连接有进水管与特气进管，所述水箱位于交换室的一侧设置有排水接头与第一交换接头，所述水箱位于混合室的一侧还设置有第二交换接头，所述第一交换接头与第二交换接头之间通过回收泵进行连接，通过回收泵将交换室内的废水重新泵入到混合室内。

3、通过采用上述技术方案，通过进水管向混合室内加水，特气通过特气进管进入到交换室，通过水与特气混合以对特气进行回收处理，当混合室内的特气与水混合后，其混合溶液进入到回收室内，通过回收泵将混合溶液继续泵入到混合室再次进行对特气进行吸收，反复几次当溶液浓度接近饱和时，通过排水接头将溶液排出进行排出，有效提升了对特气的吸收效率，减少了水的浪费。

4、本实用新型进一步设置为：所述隔板组件包括第一隔板与垂直于第一隔板的第二隔板，所述第二隔板开设有通槽，位于交换室内还设置有第三隔板，所述第三隔板的高度低于第二隔板且高于通槽，所述第三隔板与第二隔板之间形成有交换腔。

5、本实用新型进一步设置为：所述交换室内设置有特气浓度检测装置。

6、本实用新型进一步设置为：所述交换室内设置有液位传感器。

7、本实用新型具有以下有益效果：通过进水管向混合室内加水，特气通过特气进管进入到交换室，通过水与特气混合以对特气进行回收处理，当混合室内的特气与水混合后，其混合溶液进入到回收室内，通过回收泵将混合溶液继续泵入到混合室再次进行对特气进行吸收，反复几次当溶液浓度接近饱和时，通过排水接头将溶液排出进行排出，有效提升了对特气的吸收效率，减少了水的浪费。

8、附图说明

9、图1为本实施例的立体结构示意图；

10、图2为本实施例水箱内的内部结构示意图。

技术特征：

1.一种特气处理用储水箱，其特征在于：包括水箱，所述水箱内通过隔板组件形成有混合室与交换室，所述水箱位于混合室顶部连接有进水管与特气进管，所述水箱位于交换室的一侧设置有排水接头与第一交换接头，所述水箱位于混合室的一侧还设置有第二交换接头，所述第一交换接头与第二交换接头之间通过回收泵进行连接，通过回收泵将交换室内的废水重新泵入到混合室内。

2.根据权利要求1所述的一种特气处理用储水箱，其特征在于：所述隔板组件包括第一隔板与垂直于第一隔板的第二隔板，所述第二隔板开设有通槽，位于交换室内还设置有第三隔板，所述第三隔板的高度低于第二隔板且高于通槽，所述第三隔板与第二隔板之间形成有交换腔。

3.根据权利要求1所述的一种特气处理用储水箱，其特征在于：所述交换室内设置有特气浓度检测装置。

4.根据权利要求1所述的一种特气处理用储水箱，其特征在于：所述交换室内设置有液位传感器。

技术总结
本技术公开了一种特气处理用储水箱，涉及废气处理设备技术领域，旨在解决用水量大的技术问题。其技术方案要点是：包括水箱，所述水箱内通过隔板组件形成有混合室与交换室，所述水箱位于混合室顶部连接有进水管与特气进管，所述水箱位于交换室的一侧设置有排水接头与第一交换接头，所述水箱位于混合室的一侧还设置有第二交换接头，所述第一交换接头与第二交换接头之间通过回收泵进行连接，通过回收泵将交换室内的废水重新泵入到混合室内。本技术的目的在于提供一种特气处理用储水箱。

技术研发人员：梁献伟,吴宇翔,彭孟龙
受保护的技术使用者：嘉芯迦能半导体设备科技（浙江）有限公司
技术研发日：20230418
技术公布日：2024/1/14