键合设备空气净化模块的制作方法

本技术涉及半导体设备，尤其涉及用于键合设备的改善气流场均匀性的空气净化模块。

背景技术：

1、半导体设备，尤其是键合设备，对测量精密度有极高的要求。现有的键合设备常用ffu(风机过滤单元)等均流装置产生气流向下流动以净化键合设备内的空气。由于键合设备内部的结构特点，会产生风速不均匀和局部涡流现象，从而会对机台精密测量造成干扰。

2、因此，亟需一种键合设备空气净化方案，以改善键合设备内部气流场均匀性。

技术实现思路

1、为了提高机台测量精度，本实用新型提出了一种键合设备空气净化模块。

2、该键合设备空气净化模块内部具有两个对称分布于左下侧和右下侧的倒l型折板，以将整个模块内部分隔为主腔体、左下腔室以及右下腔室。

3、所述左下腔室和所述右下腔室用于容纳电柜，所述主腔室用于容纳键合设备。

4、所述倒l型折板包括水平多孔板以及垂直侧板。

5、所述键合设备的侧面与所述垂直侧板之间具有间隙。

6、所述键合设备空气净化模块内部还设有第一导流板和第二导流装置。

7、所述第一导流板的一侧固定在所述水平多孔板的边缘，另一侧靠在所述键合设备的侧壁上；所述第一导流板与所述水平多孔板之间呈一角度，倾斜地覆盖在所述间隙上方。

8、所述第二导流装置固定在所述水平多孔板上，以将净化气体导流至所述左下腔室或所述右下腔室，所述第二导流装置的侧面与所述键合设备空气净化模块的侧壁贴合。

9、在一个实施例中，所述第二导流装置包括侧板以及竖着排列的多片导流片，所述多片导流片形状相同，且延纵向等间隔排列，所述导流片之间的间隔使得净化气体能通过所述水平多孔板上的孔洞通入到电柜。

10、在一个实施例中，所述第二导流装置的纵截面形状与所述导流片的形状相同，所述导流片的形状类似直角三角形，其两条直角边中的一条固定在所述水平多孔板上，另一条固定在所述侧板上，所述导流片的形状与直角三角形的差别在于直角处由夹角为钝角的两条边取代。

11、在一个实施例中，所述左下腔室由所述键合设备空气净化框模块的左侧壁和位于左下侧的所述倒l型折板围成；所述右下腔室由所述键合设备空气净化框模块的右侧壁和位于右下侧的所述倒l型折板围成。

12、在一个实施例中，所述键合设备空气净化模块的顶部设有进气口，所述进气口的上方设有风机过滤单元，用于产生所述净化气体。

13、在一个实施例中，所述键合设备空气净化框模块的底部设有出气口，所述出气口的下方设有排气设备，以产生负压。

14、在一个实施例中，所述出气口设置在所述左下腔室和所述右下腔室的底部。

15、在一个实施例中，所述角度的范围为大于零度并小于九十度。

16、在一个实施例中，当所述净化气体吹入所述键合设备空气净化框模块内后，所述净化气体无法进入所述间隙中。

17、在一个实施例中，所述电柜具有多个为所述键合设备提供功能性需求的电气元器件。

18、本实用新型通过在间隙上方倾斜设置第一导流板以及在多孔板上方对接第二导流装置，解决了键合设备与框架之间缝隙速度梯度变化大的问题，减少了键合设备与气流方向垂直平面处气流涡流状况的发生，且在键合设备下端出口处增加负压以有效改善多孔板下方气流场均匀性。

技术特征：

1.一种键合设备空气净化模块，其特征在于，所述键合设备空气净化模块内部具有两个对称分布于左下侧和右下侧的倒l型折板，以将整个模块内部分隔为主腔体、左下腔室以及右下腔室；

2.如权利要求1所述的键合设备空气净化模块，其特征在于，所述第二导流装置包括侧板以及竖着排列的多片导流片，所述多片导流片形状相同，且延纵向等间隔排列，所述导流片之间的间隔使得净化气体能通过所述水平多孔板上的孔洞通入到电柜。

3.如权利要求2所述的键合设备空气净化模块，其特征在于，所述第二导流装置的纵截面形状与所述导流片的形状相同，所述导流片的形状类似直角三角形，其两条直角边中的一条固定在所述水平多孔板上，另一条固定在所述侧板上，所述导流片的形状与直角三角形的差别在于直角处由夹角为钝角的两条边取代。

4.如权利要求1所述的键合设备空气净化模块，其特征在于，所述左下腔室由所述键合设备空气净化框模块的左侧壁和位于左下侧的所述倒l型折板围成；所述右下腔室由所述键合设备空气净化框模块的右侧壁和位于右下侧的所述倒l型折板围成。

5.如权利要求1所述的键合设备空气净化模块，其特征在于，所述键合设备空气净化模块的顶部设有进气口，所述进气口的上方设有风机过滤单元，用于产生所述净化气体。

6.如权利要求1所述的键合设备空气净化模块，其特征在于，所述键合设备空气净化框模块的底部设有出气口，所述出气口的下方设有排气设备，以产生负压。

7.如权利要求6所述的键合设备空气净化模块，其特征在于，所述出气口设置在所述左下腔室和所述右下腔室的底部。

8.如权利要求1所述的键合设备空气净化模块，其特征在于，所述角度的范围为大于零度并小于九十度。

9.如权利要求1所述的键合设备空气净化模块，其特征在于，当所述净化气体吹入所述键合设备空气净化框模块内后，所述净化气体无法进入所述间隙中。

10.如权利要求1所述的键合设备空气净化模块，其特征在于，所述电柜具有多个为所述键合设备提供功能性需求的电气元器件。

技术总结
本技术提供了一种键合设备空气净化模块，其内部具有两个对称分布于左下侧和右下侧的倒L型折板，以将整个模块内部分隔为主腔体、左下腔室以及右下腔室。左下腔室和右下腔室用于容纳电柜，主腔室用于容纳键合设备。倒L型折板包括水平多孔板以及垂直侧板。键合设备的侧面与垂直侧板之间具有间隙。键合设备空气净化模块内部还设有第一导流板和第二导流装置。第一导流板的一侧固定在水平多孔板的边缘，另一侧靠在键合设备的侧壁上；第一导流板与水平多孔板之间呈一角度，倾斜地覆盖在所述间隙上方；第二导流装置固定在水平多孔板上，以将净化气体导流至左下腔室或右下腔室，第二导流装置的侧面与键合设备空气净化模块的侧壁贴合。

技术研发人员：鲁岐
受保护的技术使用者：拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司
技术研发日：20230425
技术公布日：2024/1/15