一种正性光刻胶制备用滴加装置的制作方法

本技术涉及正性光刻胶制备滴加，具体为一种正性光刻胶制备用滴加装置。

背景技术：

1、光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料，由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体，在光刻工艺过程中，用作抗腐蚀涂层材料，半导体材料在表面加工时，若采用适当的有选择性的光刻胶，可在表面上得到所需的图像，在光刻胶工艺过程中，涂层曝光、显影后，曝光部分被溶解，未曝光部分留下来，该涂层材料为正性光刻胶，在制备的时候，需要对原材料进行滴加混合。

2、但是，现有正性光刻胶在制备中滴加材料的时候，会将材料倒入定量桶中，然后吸在滴加管中，再从滴加管中滴加到混合器内部，步骤繁琐，容易造成材料洒落浪费，并且也容易造成材料残留在定量桶内部，造成滴加量不精准；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种正性光刻胶制备用滴加装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种正性光刻胶制备用滴加装置，以解决上述背景技术中提出的现有正性光刻胶在制备中滴加材料的时候，会将材料倒入定量桶中，然后吸在滴加管中，再从滴加管中滴加到混合器内部，步骤繁琐，容易造成材料洒落浪费，并且也容易造成材料残留在定量桶内部，造成滴加量不精准的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种正性光刻胶制备用滴加装置，包括：存储球，所述存储球的上端设置有进料管，所述存储球的下端设置有连接管，且连接管和进料管与存储球均为一体结构，所述进料管的上端设置有进料口，且进料口与进料管为一体结构；

3、还包括：

4、定量瓶，其设置在所述连接管的下端，且连接管与定量瓶为一体结构，所述定量瓶的下端设置有下料管，且下料管与定量瓶为一体结构；

5、第一转动圆把，其设置在所述连接管的一侧，所述下料管的一侧设置有第二转动圆把。

6、优选的，所述第一转动圆把和第二转动圆把的一侧均设置有贯穿柱，所述贯穿柱的一端设置有密封转板，且密封转板与贯穿柱为一体结构。

7、优选的，所述密封转板的一侧设置有连接柱，且连接柱与密封转板为一体结构，所述连接柱和贯穿柱的外部均设置有橡胶圈。

8、优选的，所述连接管和下料管的内部均设置有流通腔，所述连接管和下料管的一侧内壁均设置有连接槽，且连接槽为一端开口形式。

9、优选的，所述连接管和下料管的另一侧内壁均设置有贯穿槽，且贯穿槽为两端开口形式。

10、优选的，所述定量瓶的前表面设置有刻度线，且刻度线雕刻在定量瓶表面。

11、优选的，所述进料口的内部设置有密封塞，且密封塞塞入进料口内部，所述密封塞的上端设置有拿取圆球。

12、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

13、1、本实用新型通过在连接管和下料管的一侧分别设置第一转动圆把和第二转动圆把，在第一转动圆把和第二转动圆把一侧均设置密封转板，连接管和下料管是长方体形状，将正性光刻胶制备用的滴加材料从进料管倒入到存储球内部，在确定好需要滴加的量后，转动第一转动圆把，密封转板竖直状态，这样便可以进行下料到定量瓶内部，通过密封转板转动角度的大小可以控制流速，依靠刻度线观察下料量，达到预定值后转动第一转动圆把到初始位置，然后转动第二转动圆把，带动密封转板转动，从而物料沿着下料管进入到混合器内部，这样可以降低滴加材料来回折腾的次数，从而降低洒落的风险，起到节约效果，并且都是在一个滴加容器内完成操作，工具少，简单方便，还可以起到定量效果，提高滴加的准确性。

14、2、通过在第一转动圆把和第二转动圆把与密封转板之间均设置贯穿柱，在密封转板另一侧设置连接柱，连接柱插入到连接槽内部，并且贯穿柱插入贯穿槽内部，贯穿柱和连接柱分别沿着贯穿槽和连接槽转动，对密封转板起到支撑效果，贯穿柱和连接柱通过橡胶圈与贯穿槽和连接槽连接，从而避免材料从连接处泄露，提高密封性。

技术特征：

1.一种正性光刻胶制备用滴加装置，包括存储球（1），所述存储球（1）的上端设置有进料管（2），所述存储球（1）的下端设置有连接管（7），且连接管（7）和进料管（2）与存储球（1）均为一体结构，所述进料管（2）的上端设置有进料口（3），且进料口（3）与进料管（2）为一体结构；

2.根据权利要求1所述的一种正性光刻胶制备用滴加装置，其特征在于：所述第一转动圆把（9）和第二转动圆把（10）的一侧均设置有贯穿柱（15），所述贯穿柱（15）的一端设置有密封转板（12），且密封转板（12）与贯穿柱（15）为一体结构。

3.根据权利要求2所述的一种正性光刻胶制备用滴加装置，其特征在于：所述密封转板（12）的一侧设置有连接柱（13），且连接柱（13）与密封转板（12）为一体结构，所述连接柱（13）和贯穿柱（15）的外部均设置有橡胶圈（14）。

4.根据权利要求1所述的一种正性光刻胶制备用滴加装置，其特征在于：所述连接管（7）和下料管（8）的内部均设置有流通腔（18），所述连接管（7）和下料管（8）的一侧内壁均设置有连接槽（16），且连接槽（16）为一端开口形式。

5.根据权利要求1所述的一种正性光刻胶制备用滴加装置，其特征在于：所述连接管（7）和下料管（8）的另一侧内壁均设置有贯穿槽（17），且贯穿槽（17）为两端开口形式。

6.根据权利要求1所述的一种正性光刻胶制备用滴加装置，其特征在于：所述定量瓶（6）的前表面设置有刻度线（11），且刻度线（11）雕刻在定量瓶（6）表面。

7.根据权利要求1所述的一种正性光刻胶制备用滴加装置，其特征在于：所述进料口（3）的内部设置有密封塞（4），且密封塞（4）塞入进料口（3）内部，所述密封塞（4）的上端设置有拿取圆球（5）。

技术总结
本技术公开了一种正性光刻胶制备用滴加装置，涉及正性光刻胶制备滴加技术领域，为解决现有正性光刻胶在制备中滴加材料的时候，会将材料倒入定量桶中，然后吸在滴加管中，再从滴加管中滴加到混合器内部，步骤繁琐，容易造成材料洒落浪费，并且也容易造成材料残留在定量桶内部，造成滴加量不精准的问题。所述存储球的上端设置有进料管，所述存储球的下端设置有连接管，且连接管和进料管与存储球均为一体结构，所述进料管的上端设置有进料口，且进料口与进料管为一体结构；还包括：定量瓶，其设置在所述连接管的下端，且连接管与定量瓶为一体结构，所述定量瓶的下端设置有下料管，且下料管与定量瓶为一体结构。

技术研发人员：宗健,李红岩
受保护的技术使用者：江苏博砚电子科技股份有限公司
技术研发日：20230525
技术公布日：2024/1/15