一种半导体材料洁净烘箱的制作方法

本技术涉及一种半导体烘箱，具体为一种半导体材料洁净烘箱。

背景技术：

1、在半导体的制造过程中，需要借助烘箱对半导体进行加热，使半导体表面涂覆的材料固化，以确保半导体在后续的使用过程中，具有良好的稳定性。

2、目前，专利号为201620743054.1的实用新型公开了一种半导体烘箱，包括箱体、风机、加热模块，电流传感器连接到控制器上，控制器连接安装第一蜂鸣器，温度传感器连接到温控器上，制造成本低，能及时有效的最大程度的挽回损失，另在损失无法挽回的情况下，节省时间重新烘烤下一批，增加工作效率。

3、但是现有的半导体烘箱，缺少能放置多个半导体材料的结构，不便于同时烘烤多个半导体材料，效率较低，同时缺少能注入惰性气体的结构，半导体半成品在空气中干燥极容易发生氧化，影响成品合格率，针对上述问题，亟待设计一种新型的半导体材料洁净烘箱。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，适应现实需要，提供一种半导体材料洁净烘箱，以解决当前缺少能放置多个半导体材料的结构，同时缺少能注入惰性气体的结构的技术问题。

2、为了实现本实用新型的目的，本实用新型所采用的技术方案为：

3、设计一种半导体材料洁净烘箱，包括箱体，所述箱体前端边侧通过铰链与箱门连接，所述箱体底部边角位置安装有支脚，所述箱体底板上端靠近左右两侧内壁位置开设有滑槽，所述滑槽上端连接有连接条，所述连接条上端连接有连接板，所述连接板顶部安装有放置盒，所述箱体右侧中间位置设置有固定座。

4、进一步地，所述连接条底部连接有凸条，所述凸条与滑槽滑动连接，可将放置盒向前拉动，滑出箱体，便于将半导体材料放入放置盒。

5、进一步地，所述放置盒中间等距离安装有多个隔板，能同时放置多个半导体材料，便于同时烘烤，提高效率。

6、进一步地，所述固定座上端开设有放置槽，所述放置槽中间安装有氮气瓶，便于放置氮气瓶。

7、进一步地，所述氮气瓶顶部设置有气阀，所述氮气瓶上端左侧连接有出气口，所述出气口左端连接连接管一端，所述连接管另一端与固定管顶部连接，转动气阀，氮气经过出气口、连接管到达固定管。

8、进一步地，所述固定管底部连接有加热管，所述加热管内壁安装有多个加热丝，所述加热管底部与箱体上端连接，氮气经过固定管到达加热管时，加热丝能够加热氮气，当加热后的氮气与半导体材料接触时，能实现烘烤功能，同时氮气的性质稳定，可起到保护半导体的作用。

9、进一步地，所述放置盒顶板和底板均贯穿开设有若干通孔，所述箱体底板中间位置安装有负压风机，启动负压风机，能产生负压，使氮气自上而下流动，通孔便于氮气穿过放置盒，使氮气与半导体材料充分接触。

10、本实用新型的有益效果在于：

11、1.连接板顶部安装有放置盒，放置盒中间等距离安装有多个隔板，能同时放置多个半导体材料，便于同时烘烤，提高效率。

12、2.固定管底部连接有加热管，加热管内壁安装有多个加热丝，加热管底部与箱体上端连接，氮气经过固定管到达加热管时，加热丝能够加热氮气，放置盒顶板和底板均贯穿开设有若干通孔，箱体底板中间位置安装有负压风机，启动负压风机，能产生负压，使氮气自上而下流动，通孔便于氮气穿过放置盒，使氮气与半导体材料充分接触，当加热后的氮气与半导体材料接触时，能实现烘烤功能，同时氮气的性质稳定，可起到保护半导体的作用。

技术特征：

1.一种半导体材料洁净烘箱，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)前端边侧通过铰链(2)与箱门(3)连接，所述箱体(1)底部边角位置安装有支脚(4)，所述箱体(1)底板上端靠近左右两侧内壁位置开设有滑槽(5)，所述滑槽(5)上端连接有连接条(6)，所述连接条(6)上端连接有连接板(7)，所述连接板(7)顶部安装有放置盒(8)，所述箱体(1)右侧中间位置设置有固定座(9)。

2.如权利要求1所述的一种半导体材料洁净烘箱，其特征在于：所述连接条(6)底部连接有凸条(10)，所述凸条(10)与滑槽(5)滑动连接。

3.如权利要求1所述的一种半导体材料洁净烘箱，其特征在于：所述放置盒(8)中间等距离安装有多个隔板(11)。

4.如权利要求1所述的一种半导体材料洁净烘箱，其特征在于：所述固定座(9)上端开设有放置槽(12)，所述放置槽(12)中间安装有氮气瓶(13)。

5.如权利要求4所述的一种半导体材料洁净烘箱，其特征在于：所述氮气瓶(13)顶部设置有气阀(14)，所述氮气瓶(13)上端左侧连接有出气口(15)，所述出气口(15)左端连接连接管(16)一端，所述连接管(16)另一端与固定管(17)顶部连接。

6.如权利要求5所述的一种半导体材料洁净烘箱，其特征在于：所述固定管(17)底部连接有加热管(18)，所述加热管(18)内壁安装有多个加热丝(19)，所述加热管(18)底部与箱体(1)上端连接。

7.如权利要求1所述的一种半导体材料洁净烘箱，其特征在于：所述放置盒(8)顶板和底板均贯穿开设有若干通孔(20)，所述箱体(1)底板中间位置安装有负压风机(21)。

技术总结
本技术涉及一种半导体材料洁净烘箱，旨在解决当前半导体烘箱不便于同时烘烤多个半导体材料，半导体半成品在空气中干燥极容易发生氧化的问题，包括箱体，所述箱体前端边侧通过铰链与箱门连接，所述箱体底部边角位置安装有支脚，所述箱体底板上端靠近左右两侧内壁位置开设有滑槽，所述滑槽上端连接有连接条，所述连接条上端连接有连接板，所述连接板顶部安装有放置盒，所述箱体右侧中间位置设置有固定座，本技术具有能同时放置多个半导体材料，便于同时烘烤，提高效率，同时当加热后的氮气与半导体材料接触时，能实现烘烤功能，同时氮气的性质稳定，可起到保护半导体的作用的优点。

技术研发人员：王圣平,叶沛华,张朝义
受保护的技术使用者：浙江聚创新材料技术有限公司
技术研发日：20230523
技术公布日：2024/1/15