旋涂旋转平台的制作方法

本技术涉及基板处理，尤其涉及一种旋涂旋转平台。

背景技术：

1、在旋涂工艺中，基片样品是放在旋涂旋转平台上，通常采用真空吸附方式固定基片。在样品表面涂所需胶液，在高速旋转后达到均匀涂胶的目的。但是由于采用真空吸附方式，胶液又是被甩出基片表面，那么胶液就会在边沿处有残留。而真空吸附导致边沿处有气流向轴中心流动，进而导致胶液渗入基片和平台之间，最终流入真空吸附管。长时间之后真空吸附管就会堵塞。

2、为解决此问题，现有技术中通常的做法是将平台做出台阶，这种做法可以解决胶液渗漏的问题，但是此时旋转平面与基片之间的距离已经不对等。当平台开始加热时，平台作为发热体，由于与基片距离不等，受热十分不均匀。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种旋涂旋转平台，在避免胶液渗入的基础上解决受热均匀的问题。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、旋涂旋转平台，包括：

4、旋转传动轴；

5、旋转平台，所述旋转平台连接所述旋转传动轴以被所述旋转传动轴驱动旋转，所述旋转平台上设置有吸附孔；

6、分隔壁，所述分隔壁设置在所述旋转平台上，所述分隔壁周向包围所述吸附孔，若干所述分隔壁以所述吸附孔为中心向远离所述吸附孔的方向扩展分布，相邻所述分隔壁之间的距离相等。

7、作为优选，从外向内的第三层所述分隔壁至最内层的所述分隔壁上均设置有通气沟槽。

8、作为优选，每层所述分隔壁上设置有多个所述通气沟槽。

9、作为优选，从外向内第二层的所述分隔壁与最外层的所述分隔壁之间的所述旋转平台上设置有若干通孔，所述通孔贯穿所述旋转平台。

10、作为优选，任意两个所述分隔壁的高度相同。

11、作为优选，所述分隔壁与所述旋转平台一体成型。

12、作为优选，所述吸附孔位于所述旋转平台的中心处。

13、作为优选，所述旋转传动轴与所述分隔壁位于所述旋转平台的相对面。

14、作为优选，所述吸附孔贯穿所述旋转平台与所述旋转传动轴。

15、作为优选，所述旋转传动轴与所述旋转平台可拆卸连接。

16、本实用新型的有益效果：

17、通过以吸附孔为中心，依次向外扩展分布若干分隔壁，从而当基片放置于分隔壁上时，能够被吸附孔进行吸附固定，而在进行旋转涂胶时，胶液被分隔壁阻挡，无法进入到吸附孔中，保证吸附孔不会堵塞；而由于相邻分隔壁之间的距离相等，从而使基片各部的受热均匀。

技术特征：

1.旋涂旋转平台，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的旋涂旋转平台，其特征在于，从外向内的第三层所述分隔壁(4)至最内层的所述分隔壁(4)上均设置有通气沟槽(5)。

3.根据权利要求2所述的旋涂旋转平台，其特征在于，每层所述分隔壁(4)上设置有多个所述通气沟槽(5)。

4.根据权利要求2所述的旋涂旋转平台，其特征在于，从外向内第二层的所述分隔壁(4)与最外层的所述分隔壁(4)之间的所述旋转平台(2)上设置有若干通孔(6)，所述通孔(6)贯穿所述旋转平台(2)。

5.根据权利要求1-4任一所述的旋涂旋转平台，其特征在于，任意两个所述分隔壁(4)的高度相同。

6.根据权利要求1-4任一所述的旋涂旋转平台，其特征在于，所述分隔壁(4)与所述旋转平台(2)一体成型。

7.根据权利要求1-4任一所述的旋涂旋转平台，其特征在于，所述吸附孔(3)位于所述旋转平台(2)的中心处。

8.根据权利要求1-4任一所述的旋涂旋转平台，其特征在于，所述旋转传动轴(1)与所述分隔壁(4)位于所述旋转平台(2)的相对面。

9.根据权利要求8所述的旋涂旋转平台，其特征在于，所述吸附孔(3)贯穿所述旋转平台(2)与所述旋转传动轴(1)。

10.根据权利要求8所述的旋涂旋转平台，其特征在于，所述旋转传动轴(1)与所述旋转平台(2)可拆卸连接。

技术总结
本技术属于基片处理技术领域，公开了一种旋涂旋转平台，该旋涂旋转平台包括旋转传动轴以及旋转平台，旋转平台连接旋转传动轴以被旋转传动轴驱动旋转，旋转平台上设置有吸附孔；而旋转平台上设置分隔壁，分隔壁周向包围吸附孔，若干分隔壁以吸附孔为中心向远离吸附孔的方向扩展分布，相邻分隔壁之间的距离相等。通过以吸附孔为中心，依次向外扩展分布若干分隔壁，从而当基片放置于分隔壁上时，能够被吸附孔进行吸附固定，而在进行旋转涂胶时，胶液被分隔壁阻挡，无法进入到吸附孔中，保证吸附孔不会堵塞；而由于相邻分隔壁之间的距离相等，从而使基片各部的受热均匀。

技术研发人员：陈健健,刘研学,童翔
受保护的技术使用者：北京石墨烯研究院有限公司
技术研发日：20230613
技术公布日：2024/1/15