一种纳米压印的供胶装置的制作方法

本技术涉及芯片制备，特别涉及一种纳米压印的供胶装置。

背景技术：

1、图案化衬底是led芯片制造过程中的一道重要制程，而在图案化衬底时通常会采用纳米压印技术。纳米压印技术是通过光刻胶辅助，将模板上的微纳结构转移到待加工材料上的技术，加工精度可达到2纳米，是一种将模板大量复制的技术，行业里所使用的纳米压印一般的过程是：先使用电子束刻蚀将硅衬底表面加工出需要的结构图案；然后在待加工的led衬底表面涂上光刻胶；配置ab胶水，注入模具中，经高温烘烤制作成软膜，并将硅衬底表面的结构图案转移到作为转印介质的软膜表面；采用高压和汞灯加热的方式，将软膜表面的图案结构压印到衬底表面的光刻胶上，移开软膜后，用化学刻蚀的方式对衬底表面的残胶进行去除，再转入下一道外延制程。

2、现有技术中，在制作软膜时，需先配置ab胶水，然后通过胶枪打到软膜模具中，胶水非常浓稠，注入比较困难，很容易造成因为胶水注入量不足造成软膜缺料，加上对于胶水的洁净度保持要求较高，稍有不慎就会有灰尘掉落进胶水中，造成软膜污染，继而造成软膜制作失败或者压印出来的产品合格率低。

技术实现思路

1、基于此，本实用新型的目的是提供一种纳米压印的供胶装置，旨在解决现有技术中的在采用纳米压印技术制造软膜时，胶水注入困难且容易被外界污染导致软膜制作失败的问题。

2、本实用新型提出的纳米压印的供胶装置，包括基座、设置在所述基座上的横向移动组件、设置在所述横向移动组件上的压力罐、设置在所述压力罐内的胶水罐、设置在所述基座一侧的上下移动组件、以及设置所述上下移动组件下方的盖板，所述盖板底部设有密封圈，所述盖板顶部设有用于连接输气装置的气管连接孔，所述压力罐侧壁上设有用于连接打胶枪的连接孔，所述横向移动组件用于驱动所述压力罐位于所述盖板下方或远离所述盖板，所述上下移动组件用于驱动所述盖板靠近或远离所述压力罐。

3、上述纳米压印的供胶装置通过设置压力罐与胶水罐，使得胶水放置在胶水罐内，再通过上下移动组件驱动盖板压紧压力罐的上方，且盖板下面设有密封圈进而使得压力罐内部形成密封结构，从而避免了外界污染，再通过连接孔与打胶枪连接，使得打胶枪将胶水罐内的胶水注入模具内，由于盖板顶部与输气装置连接的气管连接孔，使得压力罐内部存在一定的压强，所以在压力的作用下胶水更容易的输出到打胶枪端，打胶更流畅，胶水注入模具更精准快捷。因此，本实用新型解决了现有技术中的在采用纳米压印技术制造软膜时，胶水注入困难且容易被外界污染导致软膜制作失败的问题。

4、另外，根据本实用新型提出的纳米压印的供胶装置，还可以具有如下的附加技术特征：

5、优选地，所述横向移动组件包括基准平台、设置在所述基准平台上方用于放置所述压力罐的移动底板、设置在所述基准平台上两平行设置的滑轨、和设置在所述基准平台上的驱动部件，所述移动底板底部设有与所述滑轨适配的滑块，所述驱动部件用于驱动所述移动底板沿着所述滑轨横向移动。

6、优选地，所述驱动部件包括设置在两所述滑轨之间的滚珠丝杆、设置在所述移动底板底部与所述滚珠丝杆适配的丝杆螺母座、以及设置在所述基准平台一侧与所述滚珠丝杆连接的驱动电机，所述基准平台一侧设有固定座用于安装所述驱动电机。

7、优选地，所述固定座上开设有凹槽，所述滚珠丝杆一端贯穿所述凹槽一侧的侧壁置于所述凹槽内，并通过轴承与所述凹槽侧壁转动连接，所述驱动电机的转子贯穿所述凹槽另一侧的侧壁伸入所述凹槽内，并通过联轴器与所述滚珠丝杆连接。

8、优选地，所述基准平台两侧还设有限位块，所述固定座设置在其中一所述限位块的外侧。

9、优选地，所述移动底板上设有多个弧形限位块，多个所述弧形限位块与所述移动底板围合形成一个放置所述压力罐的放置空间。

10、优选地，所述上下移动组件包括固定板、设置在所述固定板顶部的气缸、设置在所述固定板下方的过渡板和多个连接柱，所述连接柱一端贯穿所述过渡板与所述固定板连接，另一端与所述基座连接。

11、优选地，所述过渡板距所述基座的高度大于所述压力罐顶部距所述基座的高度，所述过渡板上开设有避让槽，所述气缸的气缸杆贯穿所述固定板与所述盖板连接，使所述盖板位于所述避让槽内。

12、优选地，未设置所述固定座的所述限位块外侧设有轴承座，所述滚珠丝杆远离所述固定座一端贯穿所述限位块与所述轴承座转动连接。

13、优选地，所述胶水罐顶部设有便于提举的把手。

技术特征：

1.一种纳米压印的供胶装置，其特征在于，包括基座、设置在所述基座上的横向移动组件、设置在所述横向移动组件上的压力罐、设置在所述压力罐内的胶水罐、设置在所述基座一侧的上下移动组件、以及设置所述上下移动组件下方的盖板，所述盖板底部设有密封圈，所述盖板顶部设有用于连接输气装置的气管连接孔，所述压力罐侧壁上设有用于连接打胶枪的连接孔，所述横向移动组件用于驱动所述压力罐位于所述盖板下方或远离所述盖板，所述上下移动组件用于驱动所述盖板靠近或远离所述压力罐。

2.根据权利要求1所述的纳米压印的供胶装置，其特征在于，所述横向移动组件包括基准平台、设置在所述基准平台上方用于放置所述压力罐的移动底板、设置在所述基准平台上两平行设置的滑轨、和设置在所述基准平台上的驱动部件，所述移动底板底部设有与所述滑轨适配的滑块，所述驱动部件用于驱动所述移动底板沿着所述滑轨横向移动。

3.根据权利要求2所述的纳米压印的供胶装置，其特征在于，所述驱动部件包括设置在两所述滑轨之间的滚珠丝杆、设置在所述移动底板底部与所述滚珠丝杆适配的丝杆螺母座、以及设置在所述基准平台一侧与所述滚珠丝杆连接的驱动电机，所述基准平台一侧设有固定座用于安装所述驱动电机。

4.根据权利要求3所述的纳米压印的供胶装置，其特征在于，所述固定座上开设有凹槽，所述滚珠丝杆一端贯穿所述凹槽一侧的侧壁置于所述凹槽内，并通过轴承与所述凹槽侧壁转动连接，所述驱动电机的转子贯穿所述凹槽另一侧的侧壁伸入所述凹槽内，并通过联轴器与所述滚珠丝杆连接。

5.根据权利要求3所述的纳米压印的供胶装置，其特征在于，所述基准平台两侧还设有限位块，所述固定座设置在其中一所述限位块的外侧。

6.根据权利要求2所述的纳米压印的供胶装置，其特征在于，所述移动底板上设有多个弧形限位块，多个所述弧形限位块与所述移动底板围合形成一个放置所述压力罐的放置空间。

7.根据权利要求1所述的纳米压印的供胶装置，其特征在于，所述上下移动组件包括固定板、设置在所述固定板顶部的气缸、设置在所述固定板下方的过渡板和多个连接柱，所述连接柱一端贯穿所述过渡板与所述固定板连接，另一端与所述基座连接。

8.根据权利要求7所述的纳米压印的供胶装置，其特征在于，所述过渡板距所述基座的高度大于所述压力罐顶部距所述基座的高度，所述过渡板上开设有避让槽，所述气缸的气缸杆贯穿所述固定板与所述盖板连接，使所述盖板位于所述避让槽内。

9.根据权利要求5所述的纳米压印的供胶装置，其特征在于，未设置所述固定座的所述限位块外侧设有轴承座，所述滚珠丝杆远离所述固定座一端贯穿所述限位块与所述轴承座转动连接。

10.根据权利要求1至9任一项权利要求所述的纳米压印的供胶装置，其特征在于，所述胶水罐顶部设有便于提举的把手。

技术总结
本技术提供一种纳米压印的供胶装置，该纳米压印的供胶装置包括基座、设置在所述基座上的横向移动组件、设置在所述横向移动组件上的压力罐、设置在所述压力罐内的胶水罐、设置在所述基座一侧的上下移动组件、以及设置所述上下移动组件下方的盖板，所述盖板底部设有密封圈，所述盖板顶部设有用于连接输气装置的气管连接孔，所述压力罐侧壁上设有用于连接打胶枪的连接孔，所述横向移动组件用于驱动所述压力罐位于所述盖板下方或远离所述盖板，所述上下移动组件用于驱动所述盖板靠近或远离所述压力罐。本技术中的纳米压印的供胶装置，解决了现有技术中的在采用纳米压印技术制造软膜时，胶水注入困难且容易被外界污染导致软膜制作失败的问题。

技术研发人员：赵元亚,崔思远,文国昇,金从龙
受保护的技术使用者：江西兆驰半导体有限公司
技术研发日：20230725
技术公布日：2024/3/21