一种新型循环升华设备的制作方法

本技术涉及有机材料提纯，具体涉及一种新型循环升华设备。

背景技术：

1、在真空条件下，将物质加热到高于其熔点的温度时，物质会直接从固态升华成气态，升华过程中，气态物质经过冷凝成为液态，再沉积在基底上形成固态膜。真空升华可以制备高纯度和高质量的材料和器件，如半导体材料、光学晶体等。真空升华还可以实现材料的快速沉积和加工，提高了生产效率。同时，真空升华设备和操作相对简单，降低了生产成本。目前升华设备的收投料过程需要停止加热，并且关闭真空泵泄压使石英管内部达到常压状态才能进行收料作业，再次投料时还需开启真空泵抽取石英管内空气达到要求数值，才能进行收投料工作，升华周期长。

技术实现思路

1、为了克服上述问题，提高升华效率，缩短升华周期，本实用新型提供了一种新型循环升华设备，收投料过程均不需要停止石英管加热和真空泵组运作，从而缩短升华周期，降低成本。

2、本实用新型采用如下技术方案：

3、一种新型循环升华设备，包括真空泵组和呈竖直设置的两端开口的石英管，所述设备还包括与所述石英管呈垂直设置的推料管道，所述石英管的管壁上形成一管壁开口，所述推料管道的一端与所述管壁开口相连通，靠近所述管壁开口的所述推料管道的一端设有控制阀门iii，所述推料管道的另一端设有控制阀门i，所述推料管道的中部区域设有控制阀门ii，所述控制阀门i和控制阀门ii之间形成低温换舟区，所述控制阀门ii与控制阀门iii之间形成高温升华区i，所述低温换舟区中设有推舟器；所述石英管的下端处设有控制阀门v，所述控制阀门v的上方还设有控制阀门iv，所述石英管的上端设有可伸缩推料器，所述控制阀门iv和控制阀门v之间形成堆料区，所述管壁开口设置于所述控制阀门iv的上方，所述控制阀门iv的上方区域为高温升华区ii；所述真空泵组分别通过真空管i、真空管ii和真空管iii与所述的低温换舟区、高温升华区i和高温升华区ii对应连接。

4、优选地，所述管壁开口设置于所述石英管的中部区域。

5、优选地，所述的控制阀门i、控制阀门ii、控制阀门iii、控制阀门iv和控制阀门v均为气动闸门阀。

6、进一步地，所述设备还设有移动收料台，其设置于所述石英管的下方。

7、本实用新型技术方案，具有如下优点：

8、本实用新型所提供循环升华设备采用单品种材料连续升华，收投料过程均不需要停止石英管加热、真空泵组不停止运转，由此减少生产周期降低生产成本。

技术特征：

1.一种新型循环升华设备，包括真空泵组(1)和呈竖直设置的两端开口的石英管(2)，其特征在于，所述设备还包括与所述石英管(2)呈垂直设置的推料管道(3)，所述石英管(2)的管壁上形成一管壁开口(21)，所述推料管道(3)的一端与所述管壁开口(21)相连通，靠近所述管壁开口(21)的所述推料管道(3)的一端设有控制阀门iii(6)，所述推料管道(3)的另一端设有控制阀门i(4)，所述推料管道(3)的中部区域设有控制阀门ii(5)，所述控制阀门i(4)和控制阀门ii(5)之间形成低温换舟区(a)，所述控制阀门ii(5)与控制阀门iii(6)之间形成高温升华区i(b)，所述低温换舟区(a)中设有推舟器(7)；所述石英管(2)的下端处设有控制阀门v(9)，所述控制阀门v(9)的上方还设有控制阀门iv(8)，所述石英管(2)的上端设有可伸缩推料器(10)，所述控制阀门iv(8)和控制阀门v(9)之间形成堆料区(c)，所述管壁开口(21)设置于所述控制阀门iv(8)的上方，所述控制阀门iv(8)的上方区域为高温升华区ii(d)；所述真空泵组(1)分别通过真空管i(11)、真空管ii(12)和真空管iii(13)与所述的低温换舟区(a)、高温升华区i(b)和高温升华区ii(d)对应连接。

2.根据权利要求1所述的新型循环升华设备，其特征在于，所述管壁开口(21)设置于所述石英管(2)的中部区域。

3.根据权利要求1所述的新型循环升华设备，其特征在于，所述的控制阀门i(4)、控制阀门ii(5)、控制阀门iii(6)、控制阀门iv(8)和控制阀门v(9)均为气动闸门阀。

4.根据权利要求1-3任一项所述的新型循环升华设备，其特征在于，所述设备还设有移动收料台(20)，其设置于所述石英管(2)的下方。

技术总结
本技术公开了一种新型循环升华设备，包括真空泵组、石英管、与石英管呈垂直设置的推料管道，石英管的管壁上设有管壁开口，推料管道的一端与管壁开口相连通，推料管道上依次设有控制阀门I、控制阀门II和控制阀门III，控制阀门I和控制阀门II之间形成低温换舟区，控制阀门II与控制阀门III之间形成高温升华区I，低温换舟区中设有推舟器；石英管的下端处依次设有控制阀门IV和控制阀门V，石英管上端设有可伸缩推料器，控制阀门IV的上方区域为高温升华区II；真空泵组分别通过真空管I、真空管II和真空管III与低温换舟区、高温升华区I和高温升华区II对应连接。本技术收投料过程不停止石英管加热和真空泵组运作，缩短升华周期，降低成本。

技术研发人员：刘宾,李艳东
受保护的技术使用者：固安鼎材科技有限公司
技术研发日：20230801
技术公布日：2024/2/29