专利名称：全自动方形晶片角度分选仪的制作方法
专利说明
一、技术领域本实用新型是涉及一种对晶片进行检测、分选的设备，特别是对晶片的角度进行检测的全自动方形晶片角度分选仪。
二背景技术：
目前，使用的一种全自动方形晶片角度分选仪(申请号为02284366.3)，主要是由中央处理器、压片器、吸片器、晶片槽及其支架构成，该结构由于只有一个机械手，晶片测完角度后，机械手吸气送到应分的角度档，再转回原位后才能压片、测角度，而且X光机用大电容滤波，测角速度只有600多片/小时，同时不同批次的晶片，因厚度及长宽尺寸不同，需调整压片狭缝的宽度，由于有的晶片仅0.15mm厚，调整操作非常困难，很费时间，再加上晶片槽长度只有250mm，一次只能上少量的片，上片时还需停机，用镊子人工一摞摞小心谨慎地放进槽内，既难又费时，整体效率很低，速度很慢，远远满足不了数字技术与网络技术的发展对晶片元件的需求；而且在检测过程中，由于晶片很薄，压片时易卡片碎片，有损耗，造成生产中的浪费，生产效率低，晶片成本提高，不利于晶片的生产与发展；再者现有分选仪在晶片测角时分±X上下方向，长方片两端面有斜面时可分出上下，小长方片若斜面已去掉，就无法分方向，只有盲目测，分选率仅有50％，余片需整理后再重测，这部分也只有50％被选出，费工费时，在反复整理分选中，晶片受到污染，测角不准，大大影响了晶片的分选质量，因此，如何提供一种更快速高效确保测片质量的晶片角度分选仪势在必行。
三、实用新型内容针对上述情况，本实用新型之目的就是提供一种改进的新型全自动方形晶片角度分选仪，可有效解决测片速度慢及晶片分选的质量问题，其解决的技术方案是，在原全自动方形晶片角度分选仪结构上进行合理的改进，由一个机械手改为两个机械手，信号线路采用多种滤波方式，缩短时间常数，提高测角速度，对靠板及晶片槽进行改进，在角度分选盒最后一档增加一与原晶片输送装置结构相同的晶片收集装置，从而使改造后的本实用新型为中央控制器由信号传输线分别与分选电机、吸片装置、计数管、上料电机、升片电机和光电开关相连，升片电机上装有晶片输送装置，其上部有光电开关，吸片装置分别接上料机械手、靠板及分选机械手，上料机械手上装有上料电机，分选机械手上装有分选电机，分选机械手下方装有分选盒，分选盒最后端装有与前输送装置结构相同的晶片收集装置，本实用新型结构新颖独特，易操作，测角分选速度快，效率高，测角准，质量好，应用面广，是对现有分选仪的创造性改进，其推广应用，必为晶片的生产与发展作出积极的贡献。
四
图1为本实用新型结构主视图。
图2为晶片槽套立体结构图。
图3为晶片槽结构立体图。
图4为靠板主视图。
图5为靠板侧视图。
图6为靠板后视图。
图7为本实用新型的上料机械手及分选机械手工作运动情况图(图中虚线为运动轨迹)。
五具体实施方式
由图1给出，本实用新型是中央控制器1由信号传输线分别接分选电机10、计数管7和吸片装置8，吸片装置8由气管及软管19接分选机械手11吸嘴处，分选机械手11装在分选电机10上，吸片装置8经气管接靠板6吸嘴处，分选机械手11下面装有角度分选盒12，吸片装置8经气管及软管9接上料机械手3吸嘴处，上料机械手3装在上料电机2上，上料电机2与中央控制器1由信号线相连通，上料机械手3端部下面装有晶片输送装置，晶片输送装置上部平板上装有与中央控制器1连通的光电开关16，角度分选盒12末档处装有晶片收集装置。
所说的晶片输送装置是在升片电机15上部装晶片槽套13，晶片槽24置入晶片槽套内，晶片槽24处有限位立柱17，升片电机15的电机轴上在升片槽内装有升降螺杆14，升降螺杆14上装有升片平台18，升片电机15接中央控制器1；所说的晶片收集装置是在电机22上装有晶片槽套21，晶片槽套内装有晶片槽，晶片槽处内在电机轴上装有螺杆，螺杆上有升降平台23，晶片槽上部平板上有光电开关及喇叭型滑道20，电机22接中央控制器1。需指出的是，晶片收集装置其结构除滑道20外，均与上述的晶片输送装置结构是一样的，仅两者光电开关作用相反(因防图中画出太乱，故此部分未有像送片装置一样详尽画出，仅给出文字说明。)。
为了适应长方片及正方片均能进行有效测角分选，其靠板6上部前面上有三个凸圆(见图4所示)，克服了原靠板上只有凸细长条，只能适应长方晶片的需要而不适应正方片的问题，扩大了使用范围。
吸片装置8基本上同已有结构，只是在其气室上增加一个吸气管和一个电磁阀接于上料机械手3的吸嘴处，不再详述；分选机械手11是由电机、机械手和传感器构成，因同原有结构，这里也不再赘述。总之，凡是与原有部件相同的，本说明书中均不再详述，请见申请号为02284366.3的专利。
本实用新型在使用时将其固定在X光定向仪上，X光定向仪上的X光5的射线管与计数管相对应，晶片4置于晶片槽24内，其工作情况是，当晶片4由晶片输送装置沿晶片槽由螺杆及升片平台向上运送时，当晶片高度未达到设定高度时，光电开关接通，将信号传给中央控制器，发出指令给升片电机将晶片向上送，当晶片升至设定高度，挡住光电开关，将信号给中央控制器，中央控制器指令升片电机停止，晶片4处在设定高度，此时上料机械手吸走一片晶片，光电开关接通，下一循环送片开始，如此可使晶片永远保持在同一设定高度，机械手不停的工作；当上料机械手处在晶片上方时，中央控制器指令吸片装置中同上料机械手连通的电磁阀导通，上料机械手吸起一片晶片，中央控制器再指令上料机械手垂直旋转180度，将晶片送到靠板前(见图7中虚线所示)，之后，中央控制器指令电磁阀断开，不再吸片，同时指令靠板电磁阀导通，将晶片吸到靠板上，再指令测角步进电机旋转测量角度，同时上料机械手转回晶片上方，进行下一次循环送片动作。由于吸嘴与机械手臂间是轴承连接，利用吸嘴重心在轴承外的重力作用及机械手旋转停止的惯性，吸嘴实际旋转为270度，这样可使晶片由原始的水平放置到靠板前改为垂直放置，以便靠板吸片并测角，测角是由步进电机通过较大传动比带动测角手轮慢速旋转致使旋转编码器显示角度的(其测角情况同已有设备，故图中未显示)。当角度测完后，中央控制器指令电磁阀断开，靠板不再吸片，同时指令分选机械手吸嘴吸晶片，根据测角旋转编码器及计数管测出角度的脉冲数及步进电机旋转的步数输送到中央控制器，再将这些数据归类到预先设定的某档，指令分选机械手转至应分的角度分选盒上方，中央控制器指令分选机械手电磁阀断开，晶片落入应分档角度分选盒内，此时下一晶片测角已完，中央控制器指令转回靠板前进入下一循环动作，分选机械手分档定位是由安装在其末端下方的霍尔传感器(或光电传感器)感应安装在各分选盒上方中心位置的磁钢(或光电管)的次数来完成的(与原有分选盒结构及工作情况相同)；当测角测出不符合要求的晶片置于最后一档超标分选盒内(测不出角度的)，上下方向不同，角度相差6度左右，而测角时，角度旋转很小，小方片上下方向无法从外形确认，因此上下方向放反的晶片需按同一方向收集起来，置入末档处的收集装置内待重测。
上述各步，即上片、测角、分选、收集都在中央控制器统一指令下工作。不会冲突及延误时间，自动化高，测角速度快，测角速度可由原来的600片/小时提高到1200片/小时以上，准确，机械自动化操作，省工省时，无碎片，无污染，不但提高了测角准确度，大大提高了生产效率和晶片质量，而且减少材料的浪费，降低了生产成本，具有巨大的经济和社会效益，其推广应用必为晶片生产作出创造性贡献。
权利要求1.一种全自动方形晶片角度分选仪，是中央控制器(1)由信号传输线分别接分选电机(10)、计数管(7)和吸片装置(8)，吸片装置(8)由气管及软管(19)接分选机械手(11)吸嘴处，分选机械手(11)装在分选电机(10)上，吸片装置(8)经气管接靠板(6)吸嘴处，分选机械手(11)下面装有角度分选盒(12)，其特征在于吸片装置(8)经气管及软管(9)接上料机械手(3)吸嘴处，上料机械手(3)装在上料电机(2)上，上料电机(2)与中央控制器(1)由信号线相连通，上料机械手(3)端部下面装有晶片输送装置，晶片输送装置上部平板上装有与中央控制器(1)连通的光电开关(16)，角度分选盒(12)末档处装有晶片收集装置。
2.根据权利要求1所述的全自动方形晶片角度分选仪，其特征在于所说的晶片输送装置是在升片电机(15)上部装晶片槽套(13)，晶片槽(24)置入晶片槽套内，晶片槽(24)处有限位立柱(17)，升片电机(15)的电机轴上在升片槽内装有升降螺杆(14)，升降螺杆(14)上装有升片平台(18)，升片电机(15)接中央控制器(1)。
3.根据权利要求1所述的全自动方形晶片角度分选仪，其特征在于所说的晶片收集装置是在电机(22)上装有晶片槽套(21)，晶片槽套内装有晶片槽，晶片槽内在电机轴上装有螺杆，螺杆上有升降平台(23)，晶片槽上部平板上有光电开关及喇叭形滑道(20)，电机(22)接中央控制器(1)。
4.根据权利要求1所述的全自动方形晶片角度分选仪，其特征在于所说的靠板(6)上部前面有三个凸圆(25)。
专利摘要本实用新型是一种对晶片进行检测、分选用的全自动方形晶片角度分选仪，可有效解决原分选仪测角速度慢及晶片分选的质量问题，其解决的技术方案是中央控制器由信号传输线分别接分选电机、计数管和吸片装置，吸片装置经气管及软管接分选机械手，分选机械手接分选电机，吸片装置经气管接靠板，分选机械手下面有角度分选盒，吸片装置经气管及软管接上料机械手，上料机械手装在上料电机上，上料电机与中央控制器由信号线相连通，上料机械手端部下面装有晶片输送装置，其上部有与中央控制器相连的光电开关，角度分选盒末档处装有晶片收集装置，其结构新颖独特，易操作，测角分选快，效率高，无污染，无碎片，测角准，应用面广，其推广应用必为晶片生产作出创造性贡献。
文档编号B07C5/00GK2701542SQ20042001061
公开日2005年5月25日 申请日期2004年4月13日 优先权日2004年4月13日
发明者蔺志新 申请人:蔺志新