一种硅片生产用尺寸检测机构的制作方法

本发明涉及硅片加工领域，特别涉及一种硅片生产用尺寸检测机构。

背景技术：

随着科学技术的不断进步，硅片的生产技术也越来越成熟，硅片在芯片、电子、电池等领域得到了广泛的应用，硅片的加工大致经过粘棒、开方、去胶、滚磨、切片、清洗烘干、检测、包装等步骤，在整条生产线中有部分工艺采用机械操作，但是然存在部分工艺采用人工操作，其中去胶和检测两个步骤就采用人工为主。

在硅片加工的检测过程中，采用人工将硅片放置到花岗石测量仪器上对硅片的尺寸等进行检测，人工检测在操作时存在硅片固定复杂、人工眼看测量的尺寸效率低下、需要再次计算硅片尺寸是否在允许误差范围内、人工眼看测量的尺寸存在一定的错误率和合格产品和不合格产品容易混淆等问题。

技术实现要素：

为了解决上述问题，本发明提供了一种硅片生产用尺寸检测机构，可以解决人工对硅片尺寸进行检测时存在的硅片固定困难、人工检测效率低、需要再次计算尺寸是否在允许误差范围内、人工检测错误率高和合格产品与不合格产品容易混淆等问题，可以实现对硅片尺寸的高效检测，具有操作简单、检测准确率高、检测效率高和合格产品与不合格产品区分便捷等优点。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案，一种硅片生产用尺寸检测机构，包括底板、检测台、调节机构和警报机构，所述底板上端面的中部安装有检测台，检测台与底板之间安装有调节机构，调节机构的右侧面安装有警报机构。

所述底板的上端安装有检测台，检测台的下端面沿其周向方向均匀安装有支撑柱，支撑柱的下端安装在底板的上端面，检测台的上端面沿其周向方向均匀设有检测电动推杆，检测电动推杆的顶端安装有放置板，放置板的中部设有圆孔，圆孔内安装有吸盘，工作时，将需要检测的硅片放置到吸盘上，硅片的中心对准吸盘的中心，检测电动推杆伸缩运动带动放置板上下运动，即可以带动待检测的硅片上下运动。

所述的调节机构包括转动支链，检测台下端面的中部安装有转动支链，转动支链的侧壁上螺纹连接有调节支链，转动支链包括螺纹筒，检测台下端面的中部安装有螺纹筒，螺纹筒的内部为中空结构且内部设有螺纹槽，螺纹筒内螺纹连接有螺杆，螺杆的下端安装有连接板，连接板的下端面与转动电机的输出轴相连接，转动电机通过电机座安装在支撑板的上端面，支撑板的下端面沿其周向方向均匀设有支撑弹簧，支撑弹簧的下端与底板相连接，调节支链包括调节台，相邻支撑柱之间安装有调节台，调节台的下端安装在底板的上端面上，调节台的内部设有调节孔，调节孔的上端面与下端面上下对称设有调节槽，调节槽的内部通过滑动配合的方式安装有调节滑条，上调节槽内的调节滑条与下调节槽内的调节滑条之间安装有调节杆，调节杆的前端面上设有第一刻度表，调节杆的右端面安装有螺纹板，螺纹板为弧形结构，螺纹板的右端面上设有螺纹齿，调节杆的左端面安装有支撑杆，支撑杆右端面的下端安装有调节弹簧，调节弹簧在弹簧槽内，弹簧槽在调节台的左侧面上，调节弹簧的右端与弹簧槽的右端面相连接，支撑杆右端面的上端安装有微调支链，工作时，根据硅片尺寸以及允许误差值确定硅片尺寸的最大允许值，转动电机通过连接板带动螺杆转动，螺杆转动会带动转动电机上下移动，支撑弹簧伸缩为转动电机上下移动提供条件，螺杆转动的同时上下移动并通过螺纹板带动调节杆左右移动，根据第一刻度表的刻度值来确定最大允许值的位置，可以将调节杆调节到需要的位置，从而可以简单的确定硅片的最大允许范围。

所述的警报机构包括微调支链，调节机构的上端安装有微调支链，微调支链的上端安装有警报支链，微调支链包括微调板，支撑杆右端面的上端安装有微调板，微调板与支撑杆的内部均设有通孔，通孔内通过轴承安装有微调螺栓，微调螺栓的右端面安装有微调盘，微调螺栓的侧壁上螺纹安装有微调杆，微调杆的前后端面前后对称安装有滑块，滑块通过滑动配合的方式安装在滑槽内，滑槽设置在支撑杆的后侧面，限位板的左端安装在调节板的右端面，限位板的前端面上设有第二刻度表，微调杆的上端面安装有下料板，下料板的材质为橡胶材质且下料板的形状为直角三棱柱，微调杆侧壁的上端安装有警报支链，警报支链包括警报板，微调杆侧壁的上端安装有警报板，警报板上端面的前侧以下料板的右侧面为分界线，左侧安装有合格警报器，右侧安装有不合格警报器，合格警报器的上端安装有第一按钮，不合格警报器的上端安装有第二按钮，合格警报器与不合格警报器发出的声音不同，警报板上端面的右侧安装有下料杆，下料杆的上端为三棱柱形状且其材质为橡胶材质，工作时，根据硅片尺寸误差允许值确定硅片的最小允许值，转动微调盘，根据第二刻度表，将微调杆确定到硅片最小允许范围，当硅片为合格产品时，即硅片尺寸在误差允许范围内，在硅片向下移动时会触碰到第一按钮，合格报警器响起，当再向下移动时，下料板将硅片从吸盘顶下，当硅片为不合格产品时，即硅片尺寸大于最大值时或小于最小值时，大于最大值时支撑杆将硅片直接顶下，当小于最小值时，硅片向下移动会触碰到第二按钮，不合格报警器响起，再向下移动时，下料杆将硅片从吸盘上顶下，从而机械化对硅片尺寸进行检测，检测步骤简单，工作效率高、准确率高和合格产品与不合格产品区分简单快捷。

作为本发明的一种优选技术方案，所述的螺杆上端为圆柱形，圆柱形往下为直径逐渐减小的圆台，且螺杆上的螺间距与螺纹齿的螺间距相同，螺纹板的右侧面为倾斜结构，倾斜的角度与圆台的侧壁倾斜角度相同，从而可以保障螺杆转动时上下移动并且能够带动调节杆左右移动。

作为本发明的一种优选技术方案，所述下料板、第一按钮、第二按钮和下料杆的高度从高到低排列依次为第一按钮、下料板、第二按钮和下料杆，从而可以根据报警器来判断硅片尺寸是否合格。

工作时，首先，根据硅片尺寸以及允许误差值确定硅片尺寸的最大允许值，转动电机通过连接板带动螺杆转动，螺杆转动会带动转动电机上下移动，支撑弹簧伸缩为转动电机上下移动提供条件，螺杆转动的同时上下移动并通过螺纹板带动调节杆左右移动，根据第一刻度表的刻度值来确定最大允许值的位置，可以将调节杆调节到需要的位置；然后，根据硅片尺寸误差允许值确定硅片的最小允许值，转动微调盘，根据第二刻度表，将微调杆确定到硅片最小允许范围；接着，将需要检测的硅片放置到吸盘上，硅片的中心对准吸盘的中心，检测电动推杆伸缩运动带动放置板上下运动，即可以带动待检测的硅片上下运动；最后，检测电动推杆伸缩运动带动硅片向下运动，当硅片为合格产品时，即硅片尺寸在误差允许范围内，在硅片向下移动时会触碰到第一按钮，合格报警器响起，当再向下移动时，下料板将硅片从吸盘顶下，当硅片为不合格产品时，即硅片尺寸大于最大值时或小于最小值时，大于最大值时支撑杆将硅片直接顶下，当小于最小值时，硅片向下移动会触碰到第二按钮，不合格报警器响起，再向下移动时，下料杆将硅片从吸盘上顶下，可以解决人工对硅片尺寸进行检测时存在的硅片固定困难、人工检测效率低、需要再次计算尺寸是否在允许误差范围内、人工检测错误率高和合格产品与不合格产品容易混淆等问题，可以实现对硅片尺寸的高效检测。

本发明的有益效果在于：

一、本发明可以解决人工对硅片尺寸进行检测时存在的硅片固定困难、人工检测效率低、需要再次计算尺寸是否在允许误差范围内、人工检测错误率高和合格产品与不合格产品容易混淆等问题，可以实现对硅片尺寸的高效检测，具有操作简单、检测准确率高、检测效率高和合格产品与不合格产品区分便捷等优点。

二、本发明设置有调节机构，调节机构可以根据硅片尺寸和允许误差范围确定最大误差范围；

三、本发明设置有微调支链，微调支链可以根据硅片尺寸和允许误差范围确定最小误差范围；

四、本发明设置有警报机构，警报机构可以方便快捷的将硅片的合格产品和不合格产品区分开。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的立体结构示意图；

图2是本发明图1的a向放大示意图；

图3是本发明图1的b向放大示意图。

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本发明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。

如图1至图3所示，一种硅片生产用尺寸检测机构，包括底板1、检测台2、调节机构3和警报机构4，所述底板1上端面的中部安装有检测台2，检测台2与底板1之间安装有调节机构3，调节机构3的右侧面安装有警报机构4。

所述底板1的上端安装有检测台2，检测台2的下端面沿其周向方向均匀安装有支撑柱21，支撑柱21的下端安装在底板1的上端面，检测台2的上端面沿其周向方向均匀设有检测电动推杆22，检测电动推杆22的顶端安装有放置板23，放置板23的中部设有圆孔，圆孔内安装有吸盘24，工作时，将需要检测的硅片放置到吸盘24上，硅片的中心对准吸盘24的中心，检测电动推杆22伸缩运动带动放置板23上下运动，即可以带动待检测的硅片上下运动。

所述的调节机构3包括转动支链31，检测台2下端面的中部安装有转动支链31，转动支链31的侧壁上螺纹连接有调节支链32，转动支链31包括螺纹筒311，检测台2下端面的中部安装有螺纹筒311，螺纹筒311的内部为中空结构且内部设有螺纹槽，螺纹筒311内螺纹连接有螺杆312，螺杆312的下端安装有连接板313，连接板313的下端面与转动电机314的输出轴相连接，转动电机314通过电机座安装在支撑板315的上端面，支撑板315的下端面沿其周向方向均匀设有支撑弹簧316，支撑弹簧316的下端与底板1相连接，调节支链32包括调节台321，相邻支撑柱21之间安装有调节台321，调节台321的下端安装在底板1的上端面上，调节台321的内部设有调节孔，调节孔的上端面与下端面上下对称设有调节槽，调节槽的内部通过滑动配合的方式安装有调节滑条322，上调节槽内的调节滑条322与下调节槽内的调节滑条322之间安装有调节杆323，调节杆323的前端面上设有第一刻度表324，调节杆323的右端面安装有螺纹板325，螺纹板325为弧形结构，螺纹板325的右端面上设有螺纹齿，调节杆323的左端面安装有支撑杆326，支撑杆326右端面的下端安装有调节弹簧327，调节弹簧327在弹簧槽内，弹簧槽在调节台321的左侧面上，调节弹簧327的右端与弹簧槽的右端面相连接，调节板322右端面的上端安装有微调支链41，工作时，根据硅片尺寸以及允许误差值确定硅片尺寸的最大允许值，转动电机314通过连接板313带动螺杆312转动，螺杆312转动会带动转动电机314上下移动，支撑弹簧316伸缩为转动电机314上下移动提供条件，螺杆312转动的同时上下移动并通过螺纹板325带动调节杆323左右移动，根据第一刻度表324的刻度值来确定最大允许值的位置，可以将调节杆323调节到需要的位置，从而可以简单的确定硅片的最大允许范围。

所述的警报机构4包括微调支链41，调节机构3的上端安装有微调支链41，微调支链41的上端安装有警报支链42，微调支链41包括微调板411，支撑杆326右端面的上端安装有微调板411，微调板411与支撑杆326的内部均设有通孔，通孔内通过轴承安装有微调螺栓412，微调螺栓412的右端面安装有微调盘413，微调螺栓412的侧壁上螺纹安装有微调杆414，微调杆414的前后端面前后对称安装有滑块415，滑块415通过滑动配合的方式安装在滑槽内，滑槽设置在限位板416的后侧面，限位板416的左端安装在支撑杆326的右端面，限位板416的前端面上设有第二刻度表417，微调杆414的上端面安装有下料板418，下料板418的材质为橡胶材质且下料板418的形状为直角三棱柱，微调杆414侧壁的上端安装有警报支链42，警报支链42包括警报板421，微调杆414侧壁的上端安装有警报板421，警报板421上端面的前侧以下料板418的右侧面为分界线，左侧安装有合格警报器422，右侧安装有不合格警报器423，合格警报器422的上端安装有第一按钮424，不合格警报器423的上端安装有第二按钮425，合格警报器422与不合格警报器423发出的声音不同，警报板421上端面的右侧安装有下料杆426，下料杆426的上端为三棱柱形状且其材质为橡胶材质，工作时，根据硅片尺寸误差允许值确定硅片的最小允许值，转动微调盘413，根据第二刻度表417，将微调杆414确定到硅片最小允许范围，当硅片为合格产品时，即硅片尺寸在误差允许范围内，在硅片向下移动时会触碰到第一按钮424，合格报警器响起，当再向下移动时，下料板418将硅片从吸盘24顶下，当硅片为不合格产品时，即硅片尺寸大于最大值时或小于最小值时，大于最大值时支撑杆326将硅片直接顶下，当小于最小值时，硅片向下移动会触碰到第二按钮425，不合格报警器响起，再向下移动时，下料杆426将硅片从吸盘24上顶下，从而机械化对硅片尺寸进行检测，检测步骤简单，工作效率高、准确率高和产品区分简单快捷。

作为本发明的一种优选技术方案，所述的螺杆312上端为圆柱形，圆柱形往下为直径逐渐减小的圆台，且螺杆312上的螺间距与螺纹齿的螺间距相同，螺纹板325的右侧面为倾斜结构，倾斜的角度与圆台的侧壁倾斜角度相同，从而可以保障螺杆312转动时上下移动并且能够带动调节杆323左右移动。

作为本发明的一种优选技术方案，所述下料板418、第一按钮424、第二按钮425和下料杆426的高度从高到低排列依次为第一按钮424、下料板418、第二按钮425和下料杆426，从而可以根据报警器来判断硅片尺寸是否合格。

工作时，首先，根据硅片尺寸以及允许误差值确定硅片尺寸的最大允许值，转动电机314通过连接板313带动螺杆312转动，螺杆312转动会带动转动电机314上下移动，支撑弹簧316伸缩为转动电机314上下移动提供条件，螺杆312转动的同时上下移动并通过螺纹板325带动调节杆323左右移动，根据第一刻度表324的刻度值来确定最大允许值的位置，可以将调节杆323调节到需要的位置；然后，根据硅片尺寸误差允许值确定硅片的最小允许值，转动微调盘413，根据第二刻度表417，将微调杆414确定到硅片最小允许范围；接着，将需要检测的硅片放置到吸盘24上，硅片的中心对准吸盘24的中心，检测电动推杆22伸缩运动带动放置板23上下运动，即可以带动待检测的硅片上下运动；最后，检测电动推杆22伸缩运动带动硅片向下运动，当硅片为合格产品时，即硅片尺寸在误差允许范围内，在硅片向下移动时会触碰到第一按钮424，合格报警器响起，当再向下移动时，下料板418将硅片从吸盘24顶下，当硅片为不合格产品时，即硅片尺寸大于最大值时或小于最小值时，大于最大值时调节板322将硅片直接顶下，当小于最小值时，硅片向下移动会触碰到第二按钮425，不合格报警器响起，再向下移动时，下料杆426将硅片从吸盘24上顶下，解决了人工对硅片尺寸进行检测时存在的硅片固定困难、人工检测效率低、需要再次计算尺寸是否在允许误差范围内、人工检测错误率高和合格产品与不合格产品容易混淆等问题，达到了目的。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中的描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。