一种平面及锥体表面扫描检测的装置的制作方法

本技术涉及半导体生产设备，具体为一种平面及锥体表面扫描检测的装置。

背景技术：

1、半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。在科技和经济发展中有着重要的作用，陶瓷薄吸盘是一种采用高性能陶瓷材料作为载体，加入特殊纳米级陶瓷粉末生产而成的陶瓷吸盘。陶瓷薄吸盘的特点有：载体采用高性能陶瓷材料，有着较高的机械强度，良好的耐磨性，较小的摩擦系数。有着良好的热稳定性，耐高温、耐腐蚀，可在恶劣的环境下使用。采用纳米级陶瓷粉末，具有更好的渗透性和吸附性，可以吸附更重物品。

2、中国专利公开一种绿色陶瓷生产用质量检测装置（专利号：202120417974.5），包括底座，所述底座的底部固定连接有支腿，所述底座的顶部固定连接有检测箱，所述检测箱的顶部固定连接有水箱，所述水箱的一侧固定连接有入水管，所述水箱的顶部固定连接有水泵，所述水泵的进水口固定连接有进水管。但是其检测效率较低，而且，分料不方便。

技术实现思路

1、本实用新型所解决的技术问题在于提供一种平面及锥体表面扫描检测的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种平面及锥体表面扫描检测的装置，包括：扫描检测平台，所述扫描检测平台下端安装在设备支撑架上，所述扫描检测平台的进料端上设有震动排序上料装置，所述扫描检测平台中部设有表面扫描检测设备，所述扫描检测平台一侧设有残次下料板，所述扫描检测平台上与残次下料板相对的一侧设有残次料推板，所述表面扫描检测设备包括顶部扫描检测设备、侧面描检测设备，所述侧面描检测设备通过设备安装板安装在扫描检测平台上，所述顶部扫描检测设备上端通过扫描设备安装座安装在竖向调节支架上，所述竖向调节支架安装在横向调节支架上，所述横向调节支架通过检测设有支撑杆安装在扫描检测平台上，所述扫描检测平台包括检测输送传送带，所述检测输送传送带两端通过传动带支撑辊安装在检测支撑架上，所述检测输送传送带中部设有输送驱动辊。

3、进一步地，所述震动排序上料装置包括震动排序器，所述震动排序器通过排序器安装支架安装在上料平台上，所述上料平台通过固定螺栓安装在上料支撑框架上。

4、进一步地，所述输送驱动辊通过传动链条连接于输送驱动电机的输出端上，所述输送驱动电机的壳体安装在检测支撑架上，所述检测支撑架通过支架固定立柱安装在设备支撑架上。

5、进一步地，所述检测输送传送带上侧设有两个检测导向板，两个检测导向板对称设置，所述检测导向板通过导向板安装支架安装在检测支撑架上。

6、进一步地，所述残次料推板包括残次料顶板，残次料顶板上设有顶板驱动块，所述顶板驱动块安装在顶出驱动气缸的输出端上，所述顶出驱动气缸的缸体安装在扫描检测平台上。

7、进一步地，所述扫描检测平台上侧设有检测控制箱体，所述设备支撑架上设有动力控制箱体，所述检测控制箱体通过箱体支架安装在扫描检测平台上，所述动力控制箱体通过固定螺栓安装在设备支撑架上。

8、进一步地，所述设备支撑架、震动排序上料装置下侧设有设备调节垫脚，所述设备调节垫脚包括支撑垫板，所述支撑垫板上端通过双头调节螺杆安装在设备支撑架、震动排序上料装置上的螺孔内。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型不仅可以保证陶瓷盘检测前的位置正确，而且，可以实现对物料的立体表面进行扫描检测，同时，可以剔除不符合的产品，大大提高了扫描检测效率。

技术特征：

1.一种平面及锥体表面扫描检测的装置，包括：扫描检测平台(3)，所述扫描检测平台(3)下端安装在设备支撑架(7)上，其特征在于：所述扫描检测平台(3)的进料端上设有震动排序上料装置(1)，所述扫描检测平台(3)中部设有表面扫描检测设备(4)，所述扫描检测平台(3)一侧设有残次下料板(6)，所述扫描检测平台(3)上与残次下料板(6)相对的一侧设有残次料推板(5)，所述表面扫描检测设备(4)包括顶部扫描检测设备(41)、侧面描检测设备(42)，所述侧面描检测设备(42)通过设备安装板(43)安装在扫描检测平台(3)上，所述顶部扫描检测设备(41)上端通过扫描设备安装座(44)安装在竖向调节支架(45)上，所述竖向调节支架(45)安装在横向调节支架(46)上，所述横向调节支架(46)通过检测设有支撑杆(47)安装在扫描检测平台(3)上，所述扫描检测平台(3)包括检测输送传送带(31)，所述检测输送传送带(31)两端通过传动带支撑辊(32)安装在检测支撑架(34)上，所述检测输送传送带(31)中部设有输送驱动辊(33)。

2.根据权利要求1所述的一种平面及锥体表面扫描检测的装置，其特征在于：所述震动排序上料装置(1)包括震动排序器(11)，所述震动排序器(11)通过排序器安装支架(12)安装在上料平台(14)上，所述上料平台(14)通过固定螺栓安装在上料支撑框架(13)上。

3.根据权利要求1所述的一种平面及锥体表面扫描检测的装置，其特征在于：所述输送驱动辊(33)通过传动链条(35)连接于输送驱动电机(36)的输出端上，所述输送驱动电机(36)的壳体安装在检测支撑架(34)上，所述检测支撑架(34)通过支架固定立柱(37)安装在设备支撑架(7)上。

4.根据权利要求1所述的一种平面及锥体表面扫描检测的装置，其特征在于：所述检测输送传送带(31)上侧设有两个检测导向板(38)，两个检测导向板(38)对称设置，所述检测导向板(38)通过导向板安装支架(39)安装在检测支撑架(34)上。

5.根据权利要求1所述的一种平面及锥体表面扫描检测的装置，其特征在于：所述残次料推板(5)包括残次料顶板(51)，残次料顶板(51)上设有顶板驱动块(52)，所述顶板驱动块(52)安装在顶出驱动气缸(53)的输出端上，所述顶出驱动气缸(53)的缸体安装在扫描检测平台(3)上。

6.根据权利要求1所述的一种平面及锥体表面扫描检测的装置，其特征在于：所述扫描检测平台(3)上侧设有检测控制箱体(2)，所述设备支撑架(7)上设有动力控制箱体(8)，所述检测控制箱体(2)通过箱体支架安装在扫描检测平台(3)上，所述动力控制箱体(8)通过固定螺栓安装在设备支撑架(7)上。

7.根据权利要求1所述的一种平面及锥体表面扫描检测的装置，其特征在于：所述设备支撑架(7)、震动排序上料装置(1)下侧设有设备调节垫脚(9)，所述设备调节垫脚(9)包括支撑垫板，所述支撑垫板上端通过双头调节螺杆安装在设备支撑架(7)、震动排序上料装置(1)上的螺孔内。

技术总结
本技术提供一种平面及锥体表面扫描检测的装置，包括：扫描检测平台，所述扫描检测平台下端安装在设备支撑架上，所述扫描检测平台的进料端上设有震动排序上料装置，所述扫描检测平台中部设有表面扫描检测设备，所述扫描检测平台一侧设有残次下料板，所述扫描检测平台上与残次下料板相对的一侧设有残次料推板，所述表面扫描检测设备包括顶部扫描检测设备、侧面描检测设备，所述侧面描检测设备通过设备安装板安装在扫描检测平台上，本技术不仅可以保证陶瓷盘检测前的位置正确，而且，可以实现对物料的立体表面进行扫描检测，同时，可以剔除不符合的产品，大大提高了扫描检测效率。

技术研发人员：董睿荣,吴恒潮,许逸宁,戴震安,刘盛骏,任武坤
受保护的技术使用者：苏州威孚材料有限公司
技术研发日：20230710
技术公布日：2024/3/21