一种改性的回收切割液的制作方法

文档序号:5096944阅读:162来源:国知局
专利名称:一种改性的回收切割液的制作方法
技术领域
本发明涉及硅片切割辅料技术领域,具体涉及一种改性的回收切割液。
背景技术
作为一种取之不尽的清洁能源,太阳能的开发利用正引起人类从未有过的极大关 注。商业化太阳能电池采用的是无毒性的晶硅,单晶和多晶硅电池的特点是光电转换效率 高、寿命长且稳定性好,但成本较高。随着半导体制造技术的不断成熟完善,硅片制造成本 不断降低,但是太阳能电池所用硅片的切割成本一直居高不下,要占到太阳能电池总制造 成本的2 5%左右。随着太阳能硅片切割行业的发展,在提高硅片质量的同时进行成本优化及降低环 境污染成为一种必然。回收液及回收砂的使用可以有效降低切割成本,但由于目前回收厂 家回收技术水平良莠不齐,造成了回收切割液质量与新液质量存在较大差异(回收砂也是 如此)。目前,回收液还不能够100%直接使用,需与新切割液按一定比例搀兑才能使用,初 步统计,09年回收液的使用掺量达到了 30 40%之间,2010年回收液的使用掺量将达到 50%。切割液经使用、回收后性能发生了变化,主要有以下三个原因第一、切割和回收过程中不良杂质的引入及没有去除;第二、切割和回收过程中功能组分的流失;第三、切割和回收过程中主体成分发生物理、化学性质的改变。因此使用回收质量不是很好的回收液对再一次的切割应用将产生污片得不到有 效控制、线痕片较多等影响硅片出片率的影响。

发明内容
本发明的目的是提供一种利用回收的切割液合成的性能优良、无需搀兑新液即可 使用的切割液。本发明的上述目的是通过以下技术方案实现的提供一种改性回收切割液,其由以下重量百分比的组分组成回收切割液90 99. 98抗极压螯合防沉剂0.01 9非离子表面活性剂0.01 1所述的回收切割液在改性的回收切割液中的重量百分比优选95 99. 95%。所述的抗极压螯合防沉剂在改性的回收切割液中的重量百分比优选0. 05 5%。所述的非离子表面活性剂在改性的回收切割液中的重量百分比优选0. 05 1%。所述的回收切割液是用于晶硅切片或切方后回收的切割液;进一步优选以聚烷氧 基化合物为主要成分的水溶性切割液。所述聚烷氧基化合物选自聚乙二醇、聚丙二醇、脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚中的一种或两种以上的混合物。所述的抗极压螯合防沉剂选自水溶性有机钛酸酯类化合物、结构式为(a)的蓖麻 油聚烷氧基化物或由它们以任意比例组成的混合物,
权利要求
一种改性的回收切割液,其特征在于,它由以下重量百分比的组分组成回收切割液90~99.98抗极压螯合防沉剂 0.01~9非离子表面活性剂 0.01~1。
2.权利要求1所述的改性的回收切割液,其特征在于所述的回收切割液在改性的回 收切割液中的重量百分比为95 99. 98%。
3.权利要求1所述的改性的回收切割液,其特征在于所述的抗极压螯合防沉剂在改 性的回收切割液中的重量百分比为0. 05 5%。
4.权利要求1所述的改性的回收切割液,其特征在于所述的非离子表面活性剂在改 性的回收切割液中的重量百分比为0. 05 1%。
5.权利要求1所述的改性的回收切割液,其特征在于所述的回收切割液是以聚烷氧 基化合物为主要成分的水溶性切割液。
6.权利要求5所述的改性的回收切割液,其特征在于所述聚烷氧基化合物选自聚乙 二醇、聚丙二醇、脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚中的一种或两种以上的混合物。
7.权利要求1所述的改性的回收切割液,其特征在于所述的抗极压螯合防沉剂选自 水溶性有机钛酸酯类化合物、结构式为(a)的蓖麻油聚烷氧基化物或由它们以任意比例组 成的混合物,O0-(E0)a(P0)b(B0^CH2-O—C—(CH2)t-CH^CH—CH2-CH-(CH2^-CH3OO-(EO)a(PO)hCBOi(a)IlICH—O—C—(CH2)y—CH^CH—CH2-CH-(CH2)5-CH3OO-(EO)a (P0)b(B01IlICH2-O—C—(CH2>—CH^CH—CH2-CH-(CH2^-CI^式(a)中,a、b和c为O 30的整数且不同时为O。
8.权利要求7所述的改性的回收切割液,其特征在于所述式(a)中的a为5 25的 整数,b和c为O 10的整数。
9.权利要求7所述的改性的回收切割液,其特征在于所述的水溶性有机钛酸酯类化 合物为不含金属离子的水溶性有机钛酸酯。
10.权利要求9所述的改性的回收切割液,其特征在于所述的不含金属离子的水溶性 有机钛酸酯是醇胺螯合类钛酸酯的一种或两种以上的混合物。
11.权利要求7所述的改性的回收切割液,其特征在于所述水溶性有机钛酸酯类化合 物选自二(三乙醇胺)钛酸二异丙酯、四异丙氧基钛、异丙基二油酸酰氧基(二辛基磷酸 酰氧基)钛酸酯、异丙基三(二辛基磷酸酰氧基)钛酸酯、异丙基三油酸酰氧基钛酸酯、异 丙基三(二辛基焦磷酸酰氧基)钛酸酯、双(二辛氧基焦磷酸酯基)乙撑钛酸酯、双(二辛 氧基焦磷酸酯基)乙撑钛酸酯和三乙醇胺的螯合物、四异丙基二(二辛基亚磷酸酰氧基) 钛酸酯、2,2’,2” -氮基三乙基钛酸酯三甘醇等溶液的一种或两种以上的混合物,或者它们 各自和醇胺的螯合物中的一种或两种以上的混合物。
12.权利要求1所述的改性的回收切割液,其特征在于所述的非离子表面活性剂为 AEO3磷酸酯、AEO9磷酸酯、壬基酚聚氧乙烯醚、十二烷基胺聚氧乙烯醚或聚丙二醇中的一种 或两种以上的混合物。
13.权利要求12所述的改性的回收切割液,其特征在于所述的壬基酚聚氧乙烯醚为 环氧摩尔加成数为7、8或9的壬基酚聚氧乙烯醚。
14.权利要求12所述的改性的回收切割液,其特征在于所述的十二烷基胺聚氧乙烯 醚为环氧加成数为5、6、7、8或9的十二烷基胺聚氧乙烯醚。
15.权利要求12所述的改性的回收切割液,其特征在于所述的聚丙二醇为分子量800 以下的聚丙二醇。
全文摘要
本发明提供一种改性的回收切割液,它由以下重量百分比的组分组成90~99.98%的回收切割液、0.01~9%的抗极压螯合防沉剂和0.01~1%的非离子表面活性剂。本发明的改性的回收切割液是将回收切割液中添加功能组分,克服了使用回收液带来的切片质量问题。有效地解决了100%直接使用回收液硅片难清洗、易产生污片问题;并且有效地降低了硅片表面损伤,提高切片成品率。使用本发明的改性的回收切割液能够有效地降低切割成本,实现废切割液变废为宝,减少环境污染并实现资源的重复利用。
文档编号C10M169/04GK101935577SQ20101050097
公开日2011年1月5日 申请日期2010年10月9日 优先权日2010年10月9日
发明者仲崇纲, 刘兆滨, 宋恩军, 富扬, 朱建民, 董振鹏 申请人:辽宁奥克化学股份有限公司
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