中空结构体及使用其的电子部件、负型感光性树脂组合物的制作方法

本发明涉及中空结构体及使用其的电子部件、负型感光性树脂组合物。

背景技术：

1、电子设备的高速、高品质通信中，mems(micro electro mechanical systems；微电子机械系统)等电子部件是不可缺少的技术。在mems中，传感器、噪声滤波器等需要中空结构，在中空结构支撑材料和中空结构顶壁材料中使用感光性树脂组合物(专利文献1～3)。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2014-74773号公报

5、专利文献2：日本特开2013-178526号公报

6、专利文献3：国际公开第2016/158760号。

技术实现思路

1、发明要解决的课题

2、以往的使用了感光性树脂组合物的中空结构体存在在高温高湿条件下金属布线腐蚀性高的课题。

3、用于解决课题的手段

4、为了解决上述课题，本发明涉及以下内容。

5、中空结构体，其为从具有金属布线的基板的上表面起依次层叠有作为中空结构支撑材料的膜厚为5～30μm的有机膜(i)、和作为中空结构顶壁材料的膜厚为5～30μm的有机膜(ii)的中空结构体，其中，

6、用下述离子溶出量的评价方法对所述有机膜(i)和所述有机膜(ii)分别单独地进行评价时，有机膜(i)的离子溶出量和有机膜(ii)的离子溶出量的合计为4000ppm以下。

7、(离子溶出量的评价方法)

8、将有机膜放入质量比为10倍量的纯水中，于100～121℃进行10～20小时热水萃取后，将萃取液的上清液作为检测液。向离子色谱分析装置导入检测液及目标离子的标准液，通过校正曲线法求得检测液中的甲酸离子、乙酸离子、丙酸离子和硫酸离子的浓度，将其合计换算为相对有机膜的质量而言的溶出离子质量，将换算而得的值作为离子溶出量。

9、发明的效果

10、本发明能够抑制高温高湿条件下保存时的金属布线腐蚀。

技术特征：

1.中空结构体，其为从具有金属布线的基板的上表面起依次层叠有作为中空结构支撑材料的膜厚为5～30μm的有机膜(i)、和作为中空结构顶壁材料的膜厚为5～30μm的有机膜(ii)的中空结构体，其中，

2.根据权利要求1所述的中空结构体，其中，用所述离子溶出量的评价方法对所述有机膜(i)进行评价时的离子溶出量为2000ppm以下。

3.根据权利要求1或2所述的中空结构体，其中，用所述离子溶出量的评价方法对所述有机膜(ii)进行评价时的离子溶出量为2000ppm以下。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的中空结构体，其中，由所述离子溶出量的评价方法得到的所述有机膜(i)的检测液的导电率为500μs/cm以下。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的中空结构体，其中，由所述离子溶出量的评价方法得到的所述有机膜(ii)的检测液的导电率为500μs/cm以下。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的中空结构体，其中，所述有机膜(i)包含使正型感光性树脂组合物固化而得的固化物，所述正型感光性树脂组合物含有：

7.根据权利要求6所述的中空结构体，其中，所述萘醌二叠氮化合物(b)含有式(1)及/或式(2)表示的化合物，

8.根据权利要求1～5中任一项所述的中空结构体，其中，所述有机膜(i)包含使负型感光性树脂组合物固化而得的固化物，所述负型感光性树脂组合物含有：

9.根据权利要求8所述的中空结构体，其中，所述聚合性化合物(e)含有式(4)表示的化合物，

10.根据权利要求6～9中任一项所述的中空结构体，其中，所述热交联性化合物(c)含有含多官能环氧基的化合物(c-1)及含多官能烷氧基甲基的化合物(c-2)，相对碱溶性树脂(a)100质量份，含多官能环氧基的化合物(c-1)的含量为5～30质量份、含多官能烷氧基甲基的化合物(c-2)的含量为1～10质量份。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的中空结构体，其中，所述有机膜(i)在有机膜(i)100质量％中含有30～80质量％的无机粒子，且所述有机膜(ii)在有机膜(ii)100质量％中含有0～80质量％的无机粒子；或者，

12.根据权利要求11所述的中空结构体，其中，所述无机粒子是折射率为1.55～1.75的玻璃粒子。

13.根据权利要求1～12中任一项所述的中空结构体，其中，在与所述基板的上表面和有机膜(i)的壁面垂直的截面中，当将该有机膜(i)与所述基板的接地面的长度设为x、并将该有机膜(i)与所述有机膜(ii)的接地面的长度设为y时，1≥y/x≥0.6。

14.电子部件，其具有权利要求1～13中任一项所述的中空结构体。

15.负型感光性树脂组合物，其含有：

16.根据权利要求15所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述聚合性化合物(e)含有式(4)表示的化合物，

17.根据权利要求15或16所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述热交联性化合物(c)含有含多官能环氧基的化合物(c-1)及含多官能烷氧基甲基的化合物(c-2)，相对碱溶性树脂(a)100质量份，含多官能环氧基的化合物(c-1)的含量为5～30质量份、含多官能烷氧基甲基的化合物(c-2)的含量为1～10质量份。

技术总结
本发明提供酸离子含量少、高温高湿条件下保存时的布线腐蚀少的中空结构体。本发明为从具有金属布线的基板的上表面起依次层叠有作为中空结构支撑材料的膜厚为5～30μm的有机膜(I)、和作为中空结构顶壁材料的膜厚为5～30μm的有机膜(II)的中空结构体，用下述离子溶出量的评价方法对所述有机膜(I)和所述有机膜(II)分别单独地进行评价时，有机膜(I)的离子溶出量和有机膜(II)的离子溶出量的合计为4000ppm以下。(离子溶出量的评价方法)将有机膜放入质量比为10倍量的纯水中，于100～121℃进行10～20小时热水萃取后，将萃取液的上清液作为检测液。向离子色谱分析装置导入检测液及目标离子的标准液，通过校正曲线法求得检测液中的甲酸离子、乙酸离子、丙酸离子和硫酸离子的浓度，将其合计换算为相对有机膜的质量而言的溶出离子质量，将换算而得的值作为离子溶出量。

技术研发人员：小山祐太朗,荒木齐
受保护的技术使用者：东丽株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15