基板电镀用的移动式基板夹持机构的制作方法

文档序号:5290054阅读:295来源:国知局
专利名称:基板电镀用的移动式基板夹持机构的制作方法
技术领域
基板电镀用的移动式基板夹持机构技术领域[0001]本实用新型涉及一种基板电镀用的挂架,具体设计一种移动式基板夹持机构。
技术背景[0002]为目前国内最先进的电镀设备,在基板的固定及移动机构,亦称之为挂架,现 有采用的方式有两种[0003]一是为了适应“龙门式间隔电镀”要求而设计出的“间隔提升挂架”,如附图 1所示,即此挂架是非连续性移动的的,不可以在固定的导轨上面连续逐步向前移动,而 是通过由固定在槽体上面可以前后移动的天车,将夹好基板10的挂架20提升起来放到特 定的槽体里进行镀铜加工,然后用天车再将已镀好铜的基板挂架提升到另一端下板,故 称之为间隔提升挂架。此种挂架虽可以满足电镀需求,但是缺点较多第一、镀铜不可 以连续生产,效率低下;第二、基板镀铜前后需要多人合做一起夹板,拆板,自动化程 度底。[0004]二是“铜框挂架”的形式,如附图2所示,此种挂架20亦可以在镀铜槽内连续 电镀,但仍有较多缺点第一、与间隔提升挂架相同,仍需要较多人一起合作在挂架上 装板,拆板;第二、此种方式在挂架长时间使用后挂架本身会被镀上一层铜,生产一定 时间后,需更换新的挂架,造成浪费。实用新型内容[0005]本实用新型的目的在于提供一种基板电镀用的移动式基板夹持机构,采用本机 构能够简化基板上架的安装与拆卸步骤,使用操作步骤简便,其配合传动轨道即可实现 连续电镀,而不需要配合天车将整个机构连同基板都提升出镀铜槽。[0006]本实用新型的目的可通过以下的技术措施来实现[0007]—种基板电镀用的移动式基板夹持机构,其特征在于它包括基板挂架,所述 的基板挂架包括飞把以及与飞把固定相连的位于飞把下方横向设置的伸展架,飞把开有 架设在轨道上的滑动槽,所述伸展架上安装有至少一个用于夹持基板的电镀夹,所述基 板挂架在外力作用下能够沿轨道移动从而带动基板移动。[0008]所述基板挂架的飞把为T型把,它包括横杆和竖杆,所述伸展架安装在竖杆的 下端,所述的滑动槽开设在所述横杆上。[0009]所述横杆的外侧面上固定安装单向皮带轮,所述单向皮带轮与驱动机构相连, 在驱动机构驱动下向基板挂架传递动力继而带动基板挂架移动。[0010]所述伸展架包括伸展架基板和加长杆,所述伸展架基板上设有条形孔,所述条 形孔的上下两侧分别固定有条形钢条形成加长杆导轨,所述加长杆的一端置于所述加长 杆导轨中,并由蝴蝶型螺栓相对固定在伸展架基板的条形孔上,所述加长杆的另一端伸 出所述加长杆导轨并安装所述电镀夹。[0011]所述每个伸展架上安装有两个电镀夹,其中一个安装于靠近于飞把竖杆的一端,另一个安装于加长杆上并随着加长杆移动,从而用于夹持不同大小的镀铜基板。[0012]所述电镀夹连接自动气缸,并由自动气缸驱动电镀夹的打开或夹持。[0013]所述飞把、伸展架和电镀夹均采用可导电的金属制成。[0014]所述电镀夹包括夹头、触点和开夹斜面,所述夹头和触点外包覆一层绝缘材料层。[0015]所述夹头外包覆的绝缘材料层为PVC胶。[0016]本基板电镀用的移动式基板夹持机构具有以下有益效果[0017]1、本机构能够配合主动传动机构向前传动式的将基板置于镀铜槽中电镀,省略 了天车的提升操作,简化操作,而且使得镀铜均勻。[0018]2、本机构的电镀夹外层包覆有绝缘层,从而可以防止机构本身镀铜,而不需要 时常更换电镀夹,长了该机构的使用寿命,节省成本;[0019]3、本机构采用可调节长度的伸展架,对于不同宽度的基板,只需要将加长杆 调节伸出加长杆导轨,使得伸展架上的两个电镀夹的位置相对较宽时即可夹持较宽的基 板。[0020]4、本机构的电镀夹可以通过自动气缸控制其启闭,从而简化了人工拆板、夹板 的复杂操作,提高自动化程度。[0021]5、本机构采用金属材料制成,可直接导电到基板上,方便基板吸附铜离子,提 高镀铜效率。


[0022]图1是传统的龙门式间隔提升挂架的结构示意图;[0023]图2是传统的铜框挂架的结构示意图;[0024]图3是本实用新型移动式基板夹持机构的结构示意图;[0025]图4是图3所示移动式基板夹持机构的另一结构示意图;[0026]图5是图3所示移动式基板夹持机构的侧视图;[0027]图6是图3所示移动式基板夹持机构的单个电镀夹的结构示意图;[0028]图7是图3所示移动式基板夹持机构的使用状态图。
具体实施方式
[0029]图3至图7示出本实用新型的移动式基板夹持机构的整体结构示意图,该机构包 括基板挂架,所述的基板挂架包括飞把1以及与飞把固定相连的位于飞把下方横向设置 的伸展架3,基板挂架的飞把1为T型把,它包括横杆11和竖杆12,飞把1横杆11上开 有架设在轨道上的滑动槽13。伸展架3上安装有至少一个用于夹持基板的电镀夹4,基 板挂架在外力作用下能够沿轨道移动从而带动基板10移动。横杆11的外侧面上固定安 装单向皮带轮2,单向皮带轮2与驱动机构相连,在驱动机构驱动下向基板挂架传递动力 继而带动基板挂架移动。伸展架3安装在竖杆12的下端,伸展架3包括伸展架基板31 和加长杆33,伸展架基板31上设有条形孔,条形孔的上下两侧分别固定有条形钢条32形 成加长杆导轨,加长杆33的一端置于加长杆导轨中,并由蝴蝶型螺栓34相对固定在伸展 架基板31的条形孔上,加长杆33的另一端伸出加长杆导轨并安装电镀夹4。[0030]每个伸展架3上安装有两个电镀夹4,该电镀夹4的结构为常规的固定夹结构, 且该电镀夹4连接自动气缸,并由自动气缸驱动电镀夹的打开或夹持。其中一个安装于 靠近于飞把1竖杆12的一端,另一个安装于加长杆33上并随着加长杆33移动,如图7 所示,加长杆可向伸展架的两端伸长,从而用于夹持不同大小的镀铜基板。图7中虚线 表示的电镀夹位置标明该加长杆可达到的最远距离。[0031]电镀夹4包括夹头42、触点43和开夹斜面41,夹头42和触点43外包覆一层绝 缘材料层。夹头42外包覆的绝缘材料层为PVC胶,触点43外包覆的绝缘材料层为Viton 材料,其化学名为全氟丙烯和偏二氟乙烯的共聚物,国内一般称之为氟橡胶。飞把、伸 展架和电镀夹亦均采用可导电的金属制成,从而,可将用于镀铜的阴极电流传输到电镀 夹4上的触点43,再通过触点43传递到其夹持的基板10上,进而使基板吸收铜离子,达 到镀铜的目的,而包覆在夹头和触点上的绝缘材料又可以防止夹头和触点因为带有阴极 电流而镀上一层铜,影响生产。[0032]本实用新型的实施方式不限于此,在本实用新型上述基本技术思想前提下,按 照本领域的普通技术知识和惯用手段对本实用新型内容所做出其它多种形式的修改、替 换或变更,均落在本实用新型权利保护范围之内。权利要求1.一种基板电镀用的移动式基板夹持机构,其特征在于它包括基板挂架,所述的 基板挂架包括飞把以及与飞把固定相连的位于飞把下方横向设置的伸展架,飞把开有架 设在轨道上的滑动槽,所述伸展架上安装有至少一个用于夹持基板的电镀夹,所述基板 挂架在外力作用下能够沿轨道移动从而带动基板移动。
2.根据权利要求1所述基板电镀用的移动式基板夹持机构,其特征在于所述基板 挂架的飞把为T型把,它包括横杆和竖杆,所述伸展架安装在竖杆的下端,所述的滑动 槽开设在所述横杆上。
3.根据权利要求2所述基板电镀用的移动式基板夹持机构,其特征在于所述横杆 的外侧面上固定安装单向皮带轮,所述单向皮带轮与驱动机构相连,在驱动机构驱动下 向基板挂架传递动力继而带动基板挂架移动。
4.根据权利要求1所述基板电镀用的移动式基板夹持机构,其特征在于所述伸展 架包括伸展架基板和加长杆,所述伸展架基板上设有条形孔,所述条形孔的上下两侧分 别固定有条形钢条形成加长杆导轨,所述加长杆的一端置于所述加长杆导轨中,并由蝴 蝶型螺栓相对固定在伸展架基板的条形孔上,所述加长杆的另一端伸出所述加长杆导轨 并安装所述电镀夹。
5.根据权利要求4所述基板电镀用的移动式基板夹持机构,其特征在于所述每个 伸展架上安装有两个电镀夹,其中一个安装于靠近于飞把竖杆的一端,另一个安装于加 长杆上并随着加长杆移动,从而用于夹持不同大小的镀铜基板。
6.根据权利要求1至5任一项所述基板电镀用的移动式基板夹持机构,其特征在于 所述电镀夹连接自动气缸,并由自动气缸驱动电镀夹的打开或夹持。
7.根据权利要求1至5任一项所述基板电镀用的移动式基板夹持机构,其特征在于 所述飞把、伸展架和电镀夹均采用可导电的金属制成。
8.根据权利要求1至5任一项所述基板电镀用的移动式基板夹持机构,其特征在于 所述电镀夹包括夹头、触点和开夹斜面,所述夹头和触点外包覆一层绝缘材料层。
9.根据权利要求8所述基板电镀用的移动式基板夹持机构,其特征在于所述夹头 外包覆的绝缘材料层为PVC胶。
专利摘要本实用新型公开了一种基板电镀用的移动式基板夹持机构,它包括基板挂架,所述的基板挂架包括飞把以及与飞把固定相连的位于飞把下方横向设置的伸展架,飞把开有架设在轨道上的滑动槽,所述伸展架上安装有至少一个用于夹持基板的电镀夹,所述基板挂架在外力作用下能够沿轨道移动从而带动基板移动。采用本机构能够简化基板上架的安装与拆卸步骤,使用操作步骤简便,其配合传动轨道即可实现连续电镀,而不需要配合天车将整个机构连同基板都提升出镀铜槽。
文档编号C25D17/08GK201809473SQ20102027360
公开日2011年4月27日 申请日期2010年7月27日 优先权日2010年7月27日
发明者邓高荣 申请人:广州明毅电子机械有限公司
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