基板装卸装置及其控制装置、镀覆装置、存储介质的制作方法

本发明涉及基板装卸装置、镀覆装置、基板装卸装置的控制装置、对用于在计算机上执行基板装卸装置的控制方法的程序进行储存的存储介质。

背景技术：

以往，在半导体晶片、印刷基板等基板的表面形成布线、凸块(突起状电极)等。已知有电解镀覆法作为这种布线及凸块等的形成方法。

电解镀覆法所用的镀覆装置具备基板保持器，基板保持器对圆形或多边形的基板的端面进行密封，使表面(被镀覆面)露出地进行保持。以这种镀覆装置对基板表面进行镀覆处理时，将对基板进行保持的基板保持器浸入镀覆液中。

日本特开2016-117919号公报(专利文献1)记载了半导体晶片的基板保持器。在这种基板保持器中，用可动保持部件(第二保持部件24)夹住载放于固定保持部件(第一保持部件22)上的基板，使第二保持部件24上的套圈27旋转并使其与第一保持部件22上的夹子33卡合，由此将基板固定于基板保持器。

日本专利第4179707号公报(专利文献2)记载了方形的基板的基板保持用夹具。该基板保持用夹具以设于矩形框架20的4处把持部件30对印刷基板P进行固定。

日本特开2009-270167号公报(专利文献3)记载了以水平的状态对基板进行搬运，以在镀覆单元26的保持基座42上水平保持的状态对基板实施镀覆处理的镀覆装置。

日本特开2016-127069号公报(专利文献4)记载了面向对专利文献1中那样的圆形的基板进行镀覆处理的镀覆装置的基板保持器装卸装置(图7)。

发明所要解决的问题

尽管在专利文献1记载了用于对圆形的半导体晶片进行镀覆处理的结构，但是当前存在对各种尺寸、形状、厚度的基板进行镀覆处理的需求。特别是，在用专利文献1的基板保持器对大型薄膜的基板进行保持的情况下，可能由于套圈的旋转而导致在基板产生挠曲。

尽管在专利文献2记载的基板保持用夹具中，以将基板的端部夹在把持部件30的一对阻挡件31、32之间的状态使两个阻挡件夹紧将基板固定在保持部件30，但是这种结构不适用于将基板保持用夹具进行的保持自动化的情况。

在专利文献3记载的结构中，保持使玻璃基板的被处理面朝上的状态，在装置内进行搬运和处理，从而不用设置复杂的姿势转换机构而使装置小型化。然而，在对与玻璃基板相比薄膜有翘曲的基板进行处理的情况下，当保持使被处理面朝上的状态进行搬运时，担心会在基板表面产生伤痕，基板会破损。

在大型基板的情况下，不只是基板就连保持基板的基板保持器也会大型化，另外其重量也会增加，因此在专利文献4记载的基板保持器装卸装置中，当要在基板保持器对大型且厚度很薄的基板进行装卸时，担心无法简单、快速、可靠地进行装卸。

技术实现要素：

本发明的目的在于解决上述问题中的至少一部分。

用于解决技术问题的方法

本发明的一个实施方式所涉及的基板装卸装置利用基板保持器的第一保持部件及第二保持部件对基板进行夹持来保持所述基板，具备第一保持器保持装置以及第二保持器保持装置，该第一保持器保持装置以第一姿势对所述第一保持部件进行支承，该第二保持器保持装置能够相对于第一保持器保持装置接近和离开地直行移动，能够以所述第一姿势和第二姿势对所述第二保持部件进行保持，该第二姿势与所述第一姿势大致正交，以所述第一姿势将所述第二保持部件按压于所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。

本发明的一个实施方式所涉及的镀覆装置具备基板装卸装置以及镀覆处理部，该基板装卸装置利用基板保持器的第一保持部件及第二保持部件对基板进行夹持来保持所述基板，该镀覆处理部接收在所述基板装卸装置中保持有所述基板的所述基板保持器且对所述基板实施镀覆处理，所述基板装卸装置具备第一保持器保持装置以及第二保持器保持装置，该第一保持器保持装置以第一姿势对所述第一保持部件进行支承，该第二保持器保持装置能够相对于第一保持器保持装置接近和离开地直行移动，能够以所述第一姿势和第二姿势对所述第二保持部件进行保持，该第二姿势与所述第一姿势大致正交，以所述第一姿势将所述第二保持部件按压于所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。

本发明的一个实施方式所涉及的控制装置是基板装卸装置的控制装置，所述基板装卸装置利用基板保持器的第一保持部件及第二保持部件对基板进行夹持来保持所述基板，所述控制装置执行包含下述步骤的处理：第一保持器保持装置以第一姿势对所述第一保持部件进行支承；第二保持器保持装置在以第二姿势对所述第二保持部件进行支承的状态下使所述基板固定于所述第二保持部件，再将所述第二保持部件回旋到所述第一姿势，该第二姿势与所述第一姿势大致正交；使第二保持器保持装置朝所述第一保持器保持装置直行；以及通过第二保持器保持装置将所述第二保持部件按压于所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。

本发明的一个实施方式所涉及的存储介质存储有用于使计算机执行基板装卸装置的控制方法的程序，所述基板装卸装置利用基板保持器的第一保持部件及第二保持部件对基板进行夹持来保持所述基板，所述存储介质存储有用于使计算机执行下述步骤的程序：通过第一保持器保持装置以第一姿势对所述第一保持部件进行支承；通过第二保持器保持装置在以第二姿势对所述第二保持部件进行支承的状态下使所述基板固定于所述第二保持部件，再将所述第二保持部件回旋到所述第一姿势，该第二姿势与所述第一姿势大致正交；使第二保持器保持装置朝所述第一保持器保持装置直行；以及通过第二保持器保持装置将所述第二保持部件按压于所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。

附图说明

图1是使用了本发明的一个实施方式所涉及的基板保持器的镀覆装置的整体配置图。

图2A是一个实施方式所涉及的基板保持器的大致主视图。

图2B是基板保持器的大致侧视图。

图2C是基板保持器的大致后视图。

图3A是基板保持器的前方立体图。

图3B是基板保持器的后方立体图。

图4A是基板保持器的前视图。

图4B是基板保持器的后视图。

图5A是后板的主视图。

图5B是后板的后视图。

图6A是示出了后板的安装状态的基板保持器的部分扩大后视图。

图6B是示出了后板的安装状态的基板保持器的部分扩大立体图。

图7是示出了夹紧件与连结部件的关系的立体图。

图8A是夹紧状态的夹紧件的立体图。

图8B是夹紧状态的夹紧件的侧视图。

图9A是夹紧状态的夹紧件的剖视立体图。

图9B是夹紧状态的夹紧件的剖视图。

图10A是示出松开状态的夹紧件的结构的立体图。

图10B是松开状态的夹紧件的侧视图。

图11A是松开状态的夹紧件的剖视立体图。

图11B是松开状态的夹紧件的剖视图。

图12A是示出后板的夹持件的部分缺口侧视图。

图12B是示出后板的夹持件的部分扩大立体图。

图13A是示出闭锁时的夹持件的状态的部分缺口立体图。

图13B是示出闭锁时的夹持件的状态的部分缺口剖视图。

图14A是示出打开时的夹持件的状态的部分缺口立体图。

图14B是示出打开时的夹持件的状态的部分缺口剖视图。

图15是示出前板的内封部的剖视图。

图16是示出前板的内封部和外封部的剖视图。

图17是前板主体的后视图。

图18是前板的包含连接器的区域的部分扩大俯视图。

图19A是前面板的剖视立体图。

图19B是前面板的剖视图。

图19C是示出了线缆的配置的前面板的部分扩大立体图。

图20A是省略了布线缓冲部的图示的情况下的表面部的线缆导入位置附近的立体图。

图20B是示出了省略了布线缓冲部的图示的情况下的表面部的线缆导入位置附近的顶视图。

图20C是示出了省略了布线缓冲部的图示的情况下的表面部的线缆导入位置附近的顶视图的扩大图。

图21A是靠近连接器侧的表面部的角落部附近的后视图。

图21B是对靠近连接器侧的表面部的角落部附近进一步扩大的后视图。

图21C是图21A的C-C线的剖视图。

图21D是线缆的去除了被覆的部分的立体图。

图22A是基板装卸装置的立体图。

图22B是基板装卸装置的侧视图。

图22C是基板装卸装置的俯视图。

图22D是基板装卸装置的保持器台和支承装置的后视图。

图23A是回旋装置的第一姿势的立体图。

图23B是回旋装置的第二姿势的立体图。

图23C是回旋装置的侧视图。

图23D是回旋装置的俯视图。

图23E是回旋装置的主视图。

图23F是回旋装置的支承板部的扩大立体图。

图23G是回旋装置的直行机构的剖视图。

图24A是保持器台的立体图。

图24B是保持器台的主视图。

图24C是保持器台的俯视图。

图24D是保持器台的侧视图。

图25A是定位销处于收纳状态下的保持器台的臂接收部的扩大立体图。

图25B是定位销处于突出状态下的保持器台的臂接收部的扩大立体图。

图25C是配置有基板保持器的臂部的状态下的保持器台的臂接收部的扩大立体图。

图26A是支承装置的立体图。

图26B是支承装置的主视图。

图26C是支承装置的俯视图。

图26D是支承装置的侧视图。

图26E是支承装置的后方立体图。

图26F是支承装置的后视图。

图27A是接收基板保持器之前的基板装卸装置的立体图。

图27B是接收基板保持器之后的基板装卸装置的立体图。

图27C是支承装置对基板保持器进行支承、固定时的基板装卸装置的侧视图。

图27D是支承板在后退状态下的支承装置的立体图。

图27E是支承板在前进状态下的支承装置的立体图。

图27F是进一步以辅助杆对支承板进行支承的状态下的支承装置的立体图。

图27G是驱动前的固定装置的立体图。

图27H是按压部件旋转时的固定装置的立体图。

图27I是杆后退时的固定装置的立体图。

图27J是以回旋装置的支承板对基板保持器进行按压、吸附时的基板装卸装置的侧视图。

图27K是推入吸附缸体的剖视图。

图27L是对解除固定后板的夹紧件的情况进行说明的基板装卸装置的部分扩大图。

图27M是以回旋装置卸下后板时的基板装卸装置的侧视图。

图27N是以第二姿势使回旋装置进行回旋时的基板装卸装置的侧视图。

图27O是用于对水平定位装置的结构进行说明的回旋装置的支承板的主视图。

图27P是第二姿势下的回旋装置的支承板部的立体图。

图27Q是卸下基板时的基板装卸装置的侧视图。

图27R是安装基板时的基板装卸装置的侧视图。

图27S是从第二姿势回到第一姿势时的基板装卸装置的侧视图。

图27T是回旋装置将后板按压到保持器台的前板时的基板装卸装置的侧视图。

图27U是动作前的通电确认装置的剖视图。

图27V是动作后的通电确认装置的剖视图。

图27W是回旋装置后退到退避位置时的基板装卸装置的侧视图。

图27X是支承装置的支承板后退时的基板装卸装置的侧视图。

图28是示出连接器的接点与通电确认装置的接点的对应关系的说明图。

附图标号说明

1 基板保持器

25 盒台

25a 盒

27 基板搬运装置

28 行进机构

29 基板装卸机构

30 暂存盒

32 预湿槽

33 预浸槽

34 预冲洗槽

35 鼓风槽

36 冲洗槽

37 基板保持器搬运装置

38 溢流槽

39 镀覆槽

50 清洗装置

50a 清洗部

100 镀覆装置

110 卸载部

120 处理部

120A 前处理/后处理部

120B 处理部

175 控制器

175A CPU

175B 存储器

175C 控制部

300 前板

301 前面

302 背面

303 开口部

310 前板主体

311 布线缓冲部

311a 布线孔

312 表面部

313 壁厚部

320 安装部

330 臂部

331 连接器

331a 外部连接接点对

331a1 第一侧的外部连接接点

331a2 第二侧的外部连接接点

332 定位片

332a 定位孔

340 夹紧件

340a 卡合部

342 杆

350 固定部件

361 内密封件

362 外密封件

363 密封件保持器

363a 布线槽

364 密封件保持器

365 线缆通路

370 连接器

371 导电板

390 定位销

400 后板

401 前面

402 背面

410 后板主体

420 夹持部

421 夹持件

421a 爪部

421b 长孔

421c 圆孔

422 螺旋弹簧

422a 脚部

422b 脚部

422c 卷绕部

423 固定部

423a 限制面

423b 引导面

424 固定轴

430 被卡合部

430a 突出部

470 按钮部

471 受力部

472 弹性部分

473 安装部

474 按压部件

475 紧固部件

490 定位片

601 导电线

602 被覆

1000 基板装卸装置

1100 保持器台

1111 脚部

1112 支柱

1113 下部横断板

1114 上部横断板

1115 凸缘

1116 伸出部

1117 第一安装部件

1118 第二安装部件

1120 臂接收部

1120a 凹部

1120b 凹部

1121 通电确认装置

1121a 连接器侧接点对

1121a1 第一侧的连接器侧接点

1121a2 第二侧的连接器侧接点

1121b 缸体侧接点对

1121b1 第一侧的缸体侧接点

1121b2 第二侧的缸体侧接点

1121c 通电缸体

1122 销孔

1123 定位销

1200 回旋装置

1210 支承板部

1210a 支承板

1211 促动器

1212 促动器

1213 促动器(推入吸附缸体)

1213a 吸盘

1213b 连杆

1213c 开口部

1213d 通路

1213e 活塞

1213g 各配管

1213h 吸引通路

1213i 气室

1213j 膜片

1214 真空装置

1215 促动器

1216 水平定位装置

1216a 连杆

1216b 气缸

1217 水平定位装置

1217a 连杆

1217b 气缸

1231 凸缘

1232 主体

1240 回旋机构

1241 框架

1241a 侧壁

1241b 侧壁

1244a 轴承

1244b 轴承

1242 电动马达

1243 支承板回旋轴

1245a 连结机构

1250 引导部件

1251 连结板

1252 引导部

1260 直线运动机构

1261 电动马达

1262 连结机构

1263 电磁制动器

1264 滚珠丝杠

1265 螺母

1266 基座

1300 支承装置

1301 基座

1302 支柱

1303 上部横断梁

1310 主体面板

1320 支承板

1321 连杆

1321b 气缸

1322 连杆

1322a 凸缘部件

1322b 气缸

1323 固定装置

1323a 按压部件

1323b 连杆

1323c 气缸

1323d 按压部

1400 基座

1500 轨道

1510 轨道部

具体实施方式

以下参照附图对用于本发明的实施方式进行说明。此外，在以下各实施方式中，对于与相同或相当的部件赋予相同的标号且省略其说明。另外，尽管在本说明书中使用了“前面”、“背面”、“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”等用语，但是它们为了说明方便而示出的在例示的图的纸上的位置、方向，在使用装置等实际的配置时有时会有所不同。

图1是使用了本发明的一个实施方式所涉及的基板保持器的镀覆装置的整体配置图。如图1所示，该镀覆装置100大致上分为：将基板(相当于被处理物的一个例子)装载于基板保持器1或从基板保持器1卸载基板的装载/卸载部110；对基板进行处理的处理部120；以及清洗部50a。处理部120还包含前处理/后处理部120A以及镀覆处理部120B，前处理/后处理部120A进行基板的前处理以及后处理，镀覆处理部120B对基板进行镀覆处理。此外，以该镀覆装置100进行处理的基板包含方形基板、圆形基板。另外，方形基板包含：长方形等多边形的玻璃基板、液晶基板、印刷基板、以及其他多边形的镀覆对象物。圆形基板包含：半导体晶片、玻璃基板、以及其他圆形的镀覆对象物。

装载/卸载部110具有两个盒台25以及基板装卸机构29。盒台25装载了盒25a，盒25a收纳了半导体晶片、玻璃基板、液晶基板、印刷基板等基板。基板装卸结构29构成为从基板保持器1(在图2以后后述)上对基板进行装卸。另外，在基板装卸机构29的附近(例如下方)设有暂存盒30，暂存盒30用于对基板保持器1进行收容。在这些单元25、29、30的中央配置基板搬运装置27，基板搬运装置27由搬运用机器人构成，搬运用机器人在这些单元之间对基板进行搬运。基板搬运装置27构成为通过行进机构28能够行进。

清洗部50a具有清洗装置50，清洗装置50对镀覆处理后的基板进行清洗和干燥。基板搬运装置27构成为将镀覆处理后的基板搬运到清洗装置50，从清洗装置50取出清洗后的基板。

前处理/后处理部120A具有：预湿槽32、预浸槽33、预冲洗槽34、鼓风槽35、以及冲洗槽36。在预湿槽32中基板浸渍于纯水中。在预浸槽33中对形成在基板的表面的种晶层等导电层的表面的氧化膜进行蚀刻除去。在预冲洗槽34中对预浸后的基板与基板保持器一起用清洗液(纯水等)进行清洗。在鼓风槽35中对清洗后的基板进行脱液。在冲洗槽36中对镀覆后的基板与基板保持器一起用清洗液进行清洗。按照预湿槽32、预浸槽33、预冲洗槽34、鼓风槽35、以及冲洗槽36这样的顺序进行配置。此外，该镀覆装置100的前处理/后处理部120A的结构只是一个例子，对镀覆装置100的前处理/后处理部120A的结构并不做限定，能采用其他结构。

镀覆处理部120B具有多个镀覆槽39，镀覆槽39具备溢流槽38。各镀覆槽39在内部收纳一个基板，使基板浸渍于保持于内部的镀覆液中，对基板表面实施铜镀覆等镀覆。这里对镀覆液的种类并不做特别限定，可以根据用途使用各种镀覆液。

镀覆装置100具有基板保持器搬运装置37，基板保持器搬运装置37位于这些各设备的侧方，在这些各设备之间对基板保持器和基板一起进行搬运，采用例如线性马达方式。该基板保持器搬运装置37构成为在基板装卸机构29、预湿槽32、预浸槽33、预冲洗槽34、鼓风槽35、冲洗槽36、以及镀覆槽39之间对基板保持器进行搬运。

包含如上所述结构的镀覆装置100的镀覆处理系统具有控制器175，控制器175构成为对上述各部分进行控制。控制器175具有：存储器175B、CPU(中央处理器)175A、以及控制部175C，存储器175B对规定的程序进行储存，CPU175A执行存储器175B的程序，控制部175C通过以CPU175A执行程序来实现。控制部175C例如能进行以下控制：基板搬运装置27的搬运控制、基板装卸机构29的对基板保持器装卸基板的控制、基板保持器搬运装置37的搬运控制、各镀覆槽39的镀覆电流及镀覆时间的控制、以及配置于各镀覆槽39的阳极掩模(未图示)的开口直径和调整板(未图示)的开口直径的控制等等。另外，控制器175构成为能与未图示的上级控制器通信，能与上级控制器所拥有的数据库之间进行数据的交换，上级控制器对镀覆装置100及其它相关装置进行总括控制。这里构成存储器175B的存储介质对各种设定数据和后述的镀覆处理程序等各种程序进行储存。可以使用可在计算机上进行读取的ROM或RAM等存储器、硬盘、CD-ROM、DVD-ROM或软盘等盘片状存储介质等公知的介质作为存储介质。

[基板保持器]

图2A是一个实施方式所涉及的基板保持器的大致主视图。图2B是基板保持器的大致侧视图。图2C是基板保持器的大致后视图。图3A是基板保持器的前方立体图。图3B是基板保持器的后方立体图。图4A是基板保持器的前视图。图4B是基板保持器的后视图。

基板保持器1具备前板300和后板400。在这些前板300和后板400之间对基板S进行保持。在本实施例中，基板保持器1在露出基板S的单面的状态下对基板S进行保持。基板S可以是半导体晶片、玻璃基板、液晶基板、印刷基板、以及其他被镀覆物。基板S呈圆形、方形等任意的形状。此外，在以下说明中，尽管以方形的基板为例进行说明，但是只要对基板保持器1的开口部的形状进行改变，也能对圆形或其他形状的基板进行保持。

前板300具备前板主体310和臂部330。臂部330是基板保持器搬运装置37所把持的把持部分，也是配置于基板装卸机构29和镀覆槽39时的支承部分。基板保持器1以相对于镀覆装置100的设置面垂直竖立的状态进行搬运，以垂直竖立的状态配置于镀覆槽39内。

前板主体310大致为长方形形状，具有布线缓冲部311和表面部312，具有前面301和背面302。前板主体310通过安装部320安装于臂部330的两处。在前板主体310设有开口部303，基板S的被镀覆面从开口部303露出。在本实施方式中，开口部303对应于长方形形状的基板S而形成为长方形形状。此外，在基板S是圆形的半导体晶片等的情况下，开口部303的形状也能形成为圆形。

在前板主体310的靠近臂部330的一侧设有布线缓冲部311。布线缓冲部311是对经由臂部330到达前板主体310的线缆进行分配的区域，另外也是收容预备长度的线缆的区域。布线缓冲部311形成为略厚于前板主体310的其他部分(表面部312)(参照图2B)。在本实施方式中，布线缓冲部311与前板主体310的其他部分(表面部312)分开单独形成，安装于表面部312。在臂部330的一端侧设有连接器331，连接器331用于与外部的布线进行电连接(参照图3A等)。后板400由夹紧件340固定在前板主体310(更详细来说是表面部312)的背面302(图2C、图3B、图4B)。

(后板安装于前板的结构)

图5A是后板的主视图。图5B是后板的后视图。图6A是示出了后板的安装状态的基板保持器的部分扩大后视图。图6B是示出了后板的安装状态的基板保持器的部分扩大立体图。图7是示出了夹紧件与连结部件的关系的立体图。

后板400具备后板主体410，后板主体410尽管大致为长方形形状，但是具有比前板300的前板主体310更小的尺寸(图3B、图4B)。后板主体410具有前面401(图5A)和背面402(图5B)。

后板主体410的前面401是基板S的载放面，安装于前板主体310的背面302。在后板主体410的前面401对应于基板S的各边设有总共八个夹持部420，夹持部420用于对基板S进行保持(固定)。在该例子中，夹持部420配置为在基板S的上边和下边各一个，在左边和右边各三个。此外，夹持部420的数量和配置可以根据基板S的尺寸、形状进行恰当地选择，并不限定于图示的数量和配置。

在后板主体410的四个角落中的三个角落设有定位片490。在定位片490上形成贯通孔490a。定位片490既可以与后板主体410一体形成，也可以与后板主体410分开单独形成，也可以安装于后板主体410。在前板主体310的背面302的与各个定位片490对应的位置设有定位销390(图6A、B)。定位销390既可以与前板主体310一体形成，也可以与前板主体310分开单独形成，也可以安装于前板主体310。后板400安装于前板300时，使定位销390插通于后板400的定位片490的贯通孔490a，进行两者的定位。

在前板300的背面302，如图4B所示，对应于后板400的四条边的各边配置固定部件350。配置为对于后板400的一条边设有两个固定部件350，它们沿着后板400的一条边排列。如图6A、图6B、图7所示，在各固定部件安装有两个夹紧件340。因此，在每一条边设有四个夹紧件340。另外，在各条边的两个固定部件350之间安装有杆342，杆342用于使四个夹紧件340同时动作。

遍及各条边的两个固定部件350而安装有旋转轴341。旋转轴341安装为相对于固定部件350能自由旋转(图7)。各夹紧件340和杆342安装于旋转轴341，经由键结合(键和键槽)而无法旋转(图8A、B，图9A、B)。尽管四个夹紧件340以相同的相位安装于旋转轴341，但是杆342以与四个夹紧件340不同的相位安装于旋转轴341。根据这种结构，一旦杆342进行旋转，伴随着这种旋转，四个夹紧件340也会同步地旋转。此外，尽管此处构成为夹紧件340绕与前板主体310的面301、302平行的旋转轴341进行旋转，但也可以构成为夹紧件340在与前板主体310的面301、302垂直的方向上往返运动夹紧后板400。

夹紧件340在其顶端部具有弯曲成钩状的卡合部340a。在夹紧件340的基端部具有贯通孔，旋转轴341插通于该贯通孔，经由键和键槽而固定成无法旋转(参照图9A)。杆342在没有受到来自外部的力的情况下，如图7所示，通过压缩弹簧343施力以使杆342从前板300的背面立起，伴随于此，各夹紧件340被向闭合方向施力。换句话说，夹紧件340构成为常闭型。另外，杆342构成为能接收来自外部的按压力的受力部。杆342例如能接收来自设于基板装卸机构29的促动器的按压力。在图10B中示意性地示出了促动器AR1。促动器AR1例如具备：气缸、电动机等的驱动部DRV、以及由驱动部DRV所驱动的棒状部件RD。杆342一旦受到来自促动器AR1的按压力，就朝前板300的背面302倾倒的方向旋转，伴随于此，各夹紧件340向打开方向旋转。在该例子中，促动器AR1对应于各条边的杆342设置了四个。优选为同时对四个促动器AR1进行驱动对杆342进行按压。但是也可以分别对四个促动器AR1进行驱动，并不限于同时进行驱动。

在后板400的背面402的与夹紧件340对应的位置设有被卡合部430。被卡合部430既可以如本实施方式所示，以与后板400的后板主体410不同的部件形成且安装于后板主体410上，也可以与后板主体410一体地形成。在被卡合部430形成突出部430a，突出部430a具有可以供夹紧件340的钩状的卡合部340a钩挂而卡合的形状。为了可靠地接收夹紧件340的卡合部340a的卡合，突出部430a具有比卡合部340a更长的尺寸。

以下一边参照附图一边对后板400安装于前板300的结构进行说明。

图8A是夹紧状态的夹紧件的立体图。图8B是夹紧状态的夹紧件的侧视图。图9A是夹紧状态的夹紧件的剖视立体图。图9B是夹紧状态的夹紧件的剖视图。图10A是示出松开状态的夹紧件的结构的立体图。图10B是松开状态的夹紧件的侧视图。图11A是松开状态的夹紧件的剖视立体图。图11B是松开状态的夹紧件的剖视图。

如前所述，夹紧件340为常闭型，在杆342没有受到按压力的情况下，如图8A、B以及图9A、B所示呈闭合状态。在将后板400安装到前板300的情况下，首先通过促动器AR1(图10B)向前板300的杆342施加按压力，如图10A、B以及图11A、B所示，使夹紧件340克服压缩弹簧343的作用力而朝打开方向旋转。在夹紧件340开放的状态下，后板400配置于前板300的背面302的规定的位置。此时，前板300的定位销390与后板400的定位片490的贯通孔490a卡合，后板400定位于前板300的规定的位置。

接着，从前板300的杆342去除促动器AR1的按压力。由此，通过压缩弹簧343的作用力，杆342朝原来的位置旋转，各夹紧件340朝闭合方向旋转。其结果是，夹紧件340的卡合部340a与后板400的被卡合部430卡合，后板400固定于前板300(图8A、B以及图9A、B)。

在卸下后板400的情况下，如前所述，通过促动器(未图示)向前板300的杆342施加按压力，夹紧件340克服压缩弹簧343的作用力而朝打开方向旋转(图10A、B以及图11A、B)。其结果是，夹紧件340从被卡合部430脱离，能从前板300卸下后板400。

(基板安装于后板的结构)

图12A是示出后板的夹持件的部分缺口侧视图。图12B是示出后板的夹持件的部分扩大立体图。图13A是示出闭锁时的夹持件的状态的部分缺口立体图。图13B是示出闭锁时的夹持件的状态的部分缺口剖视图。图14A是示出打开时的夹持件的状态的部分缺口立体图。图14B是示出打开时的夹持件的状态的部分缺口剖视图。

在后板400的前面401与基板S的各条边对应地设有八个夹持部420(参照图5A)。另外，在后板400的背面402的与各夹持部420对应的位置设有按钮部470(参照图5B)。在没有向按钮部470施加力的情况下，按钮部470的前面401侧的面配置为与两个夹持件421的基端部保持规定的距离(图13B)。按钮部470具有：受力部471、相对于后板主体410可位移地对受力部471进行支承的弹性部分472、以及位于弹性部分472的外周的安装部473。按钮部470在安装部473由按压部件474以及紧固部件475固定。紧固部件475例如是双头螺栓、螺栓等。

各夹持部420如图12A、B所示，具备：固定于后板主体410的前面401的固定部423；无法旋转地固定于固定部423的固定轴424；对于固定轴424平移且可旋转地支承的两个夹持件421；以及设于各夹持件421的向闭合方向对夹持件421施力的螺旋弹簧422。

夹持件421在其顶端部具有爪部421a，在其基端侧形成有长孔421b以及两个圆孔421c。夹持件421安装为固定轴424插通于长孔421b。如图13B所示，螺旋弹簧422具有：卷绕部422c；以及从卷绕部422c延伸的脚部422a、422b。在螺旋弹簧422设有将铁丝等进行多次卷绕成圆形的卷绕部422c，剩余的部分为规定的长度的脚部422a、422b。脚部422a在顶端具有弯折成大致直角的弯折部，该弯折部插入并嵌合于夹持件421的两个圆孔421c中的基端侧的圆孔421c。另一方的脚部422b不安装于夹持件421，在顶端具有弯折成大致直角的弯折部，该弯折部以与设于固定部423的限制面423a抵接的状态进行支承。另外，脚部422a由设于固定部423的引导面423b进行引导(图13B、图14B)。

根据该结构，夹持件421能一边朝远离后板主体410的方向移动，一边朝后板主体410的外侧旋转(从图13B到图14B)。其结果是，夹持件421成为打开状态(图14A、B)。另外，反过来，夹持件421也能一边朝接近后板主体410的方向移动，一边朝后板主体410的内侧旋转(从图14B到图13B)。其结果是，夹持件421成为闭锁状态(图13A、B)。此外，在本实施方式中，夹持件421在不受到来自外部的力的情况下，通过螺旋弹簧422向闭锁方向施力，为常闭型(图13A、B)。另外，在图14B中，尽管为了避免图的复杂化，示出了按钮部470的受力部471没有发生位移的状态，但是实际上受力部471朝夹持件421进行位移并对夹持件421进行按压，通过该按压使夹持件421成为打开状态。

在基板S载放于后板400的情况下，从外部通过促动器AR2向后板400的八个按钮部470(受力部471)施加按压力(图14B)。由此，如图14A、B所示，受力部471朝前面401侧位移，与两个夹持件421的基端部抵接。通过从受力部471受到的力，夹持件421如图14B所示，一边朝远离后板主体410的方向移动，一边朝后板主体410的外侧旋转，成为打开状态(图14B)。如图14B示意性地示出的那样，促动器AR2例如具备：气缸、电动机等的驱动部DRV、以及由驱动部DRV所驱动的棒状部件RD。促动器AR2对应于八个按钮部470而设置有八个。优选为同时对八个促动器AR2进行驱动而对按钮部470进行按压。但是也可以分别对八个促动器AR2进行驱动，并不限于同时进行驱动。

在夹持件421打开的状态下，基板S载放于后板400的前面401的规定的位置，之后从按钮部470释放基于促动器AR2的按压力。其结果是，夹持件421通过螺旋弹簧422的作用力一边朝接近后板主体410的方向移动，一边朝后板主体410的内侧旋转，成为闭锁状态(从图14B到图13B)。此时，夹持件421的顶端的爪部421a与基板S的周缘部卡合，能够将基板S固定于后板400的前面401。

将如此安装有基板S的后板400如从图5到图13所说明的方式安装于前板300的话，基板S向基板保持器1安装完毕。在从后板400卸下基板S的情况下，如前所述，从外部通过促动器AR2向后板400的八个按钮部470(受力部471)施加按压力(图14A、B)。

此外，尽管在此处构成为夹持件421绕与后板主体410的面401、402平行的固定轴424进行旋转，但也可以构成为夹持件421在与后板主体410的面401、402垂直的方向上往返运动夹紧基板S。

(密封部的结构)

图15是示出前板的内封部的剖视图。图16是示出前板的内封部和外封部的剖视图。

在前板300的背面302，与开口部303相邻地设有内密封件361。内密封件361通过密封件保持器363安装于前板300的背面302。内密封件361对基板S和前板300之间进行密封，防止了镀覆液进入基板S的端部。在密封件保持器363也安装有用于向基板S供给电位的连接器370。

另外，如图16所示，在前板300的背面302，在内密封件361的更外侧，外密封件362通过密封件保持器364进行安装。外密封件362与后板400抵接，对前板300和后板400之间进行密封。

在本实施方式中，对内密封件361和外密封件362进行安装的密封件保持器363、364由不同的部件所构成，因此能分别对内密封件361和外密封件362进行更换。

图17是前板主体的后视图。图18是包含了前板的连接器的区域的部分扩大俯视图。图19A是前面板的剖视立体图。图19B是前面板的剖视图。图19C是示出了线缆的配置的前面板的部分扩大立体图。图20A是省略了布线缓冲部的图示的情况下的表面部的线缆导入位置附近的立体图。图20B是示出了省略了布线缓冲部的图示的情况下的表面部的线缆导入位置附近的顶视图。图20C是示出了省略了布线缓冲部的图示的情况下的表面部的线缆导入位置附近的顶视图的扩大图。

在前板主体310的背面302具有十八个连接器区域C1-C18。连接器区域C1-C7、C17、C18配置于表面部312中的连接器331侧的那半边的区域(第一区域、图17的右半边的区域)，连接器区域C8-C16表面部312中的远离连接器331侧的那半边的区域(第二区域、图17的左半边的区域)。在以下说明中，有时为了方便将配置于第一区域的线缆称为第一组线缆，将配置于第二区域的线缆称为第二组线缆。

各连接器区域C1-C18包含用于向如图15、图16所示的基板S供电的连接器(接点部件)370。各连接器区域C1-C18的连接器370分别从外部经由线缆L1-L18供电。此外，在以下说明中，在无需对各线缆进行区别的情况下，有时将线缆L1-L18合起来统称为线缆L。另外，有时也将任意的线缆作为线缆L进行参照。

线缆L1-L18的第一端部与设于臂部330的一端的连接器331连接，更详细地，与连接器331中个别的接点或每多根线共用的外部连接接点331a1、331a2电连接。线缆L1-L18经由连接器331的各接点能与外部的电源(电源电路、电源装置等)电连接。

在连接器331，线缆L1-L18与外部连接接点331a1、331a2连接(参照图27U、V、图28)。外部连接接点331a1、331a2与来自外部电源的供电端子连接。例如，第一组线缆(L1-L7、L17、L18)中的三根线缆与共用的第一侧的外部连接接点331a1连接，第二组线缆(L8-L16)中的三根线缆与共用的第二侧的外部连接接点331a2连接。将这样的第一侧的外部连接接点331a1和第二侧的外部连接接点331a2作为一对外部连接接点对331a(对应于图27U、V中左右的接点331a1、331a2)。具体来说，如下所示地构成外部连接接点。

线缆L17、L18、L1与共用的第一侧的外部连接接点331a1连接，线缆L8、L9、L10与共用的第二侧的外部连接接点331a2连接。将这样的第一侧的外部连接接点331a1和第二侧的外部连接接点331a2作为一对(第一对、或第一外部连接接点对331a)。

线缆L2、L3、L4与另一个第一侧的外部连接接点331a1连接，线缆L11、L12、L13与另一个第二侧的外部连接接点331a2连接。将这样的第一侧的外部连接接点331a1和第二侧的外部连接接点331a2作为一对(第二对、或第二外部连接接点对331a)。

线缆L5、L6、L7与另一个第一侧的外部连接接点331a1连接，线缆L14、L15、L16与另一个第二侧的外部连接接点331a2连接。将这样的第一侧的外部连接接点331a1和第二侧的外部连接接点331a2作为一对(第三对、或第三外部连接接点对331a)。

在连接器331中，各外部连接接点对331a的第一侧的外部连接接点331a1和第二侧的外部连接接点331a2彼此相对地进行配置。第一外部连接接点对331a的第一侧的外部连接接点331a1和第二侧的外部连接接点331a2彼此相对地进行配置，第二外部连接接点对331a的第一侧的外部连接接点331a1和第二侧的外部连接接点331a2彼此相对地进行配置，第三外部连接接点对331a的第一侧的外部连接接点331a1和第二侧的外部连接接点331a2彼此相对地进行配置。

在基板装卸机构29中，在基板保持器1保持了基板S之后(以前板300的夹紧件340对后板400进行固定之后)，连接器331的第一～第五对与电阻测定器(未图示)连接，向各对中的第一侧的外部连接接点331a1和第二侧的外部连接接点331a2之间施加规定的检查电压。由此，对各对中的第一侧的外部连接接点331a1和第二侧的外部连接接点331a2之间的电阻进行测定。而且，如果各外部连接接点对331a的电阻在规定值以下且在规定的范围内的话(各外部连接接点对的电阻没有波动，没有断线等异常)，判断为基板保持器1通电良好。

线缆L1-L18的另一端即第二端部如后所述，分别在连接器区域C1-C18中与连接器370电连接。各线缆L1-L18从连接器331开始，经过臂部330，通过一方的安装部320，进入布线缓冲部311(图18)。在布线缓冲部311中，线缆L1-L18中的线缆L17、L18、L1-L7朝向第一区域(连接器侧的区域)，线缆L8-L16朝向第二区域(远离连接器侧的区域)。在图18中主要示出了配置于第一区域的第一组线缆L17、L18、L1-L7。如图18所示，第一组线缆L17、L18、L1-L7通过布线缓冲部311，引导到表面部312中的密封件保持器363、364之间的线缆通路365。尽管省略了图示，但是第二组线缆L8-L16也通过布线缓冲部311的第二区域(远离连接器侧的区域)，引导到表面部312的第二区域中的线缆通路365。此外，在图18中，为了避免使图变得复杂，对线缆的长度的一部分的示出进行了省略。

在布线缓冲部311的表面部312侧设有壁厚部313(图19A、图19B)。在布线缓冲部311的壁厚部313和表面部312，到密封件保持器363、364之间的线缆通路365为止设有与各线缆L1-L18对应的布线孔311a(图19A、图19B)。此处，布线孔311a是具有线缆能通过的直径的锥孔。在图19A中，尽管只示出了一个布线孔311a，但是实际上布线孔311a如图19C所示对应于各线缆设有多个。至少设有线缆数量的布线孔311a。

在本实施方式中，如图19A、图19B所示，布线缓冲部311与前板主体310的表面部312分开设置，安装于前板主体310。在布线缓冲部311和表面部312的边界，在线缆的周围配置有O形环501，O形环501用于对布线孔311a和线缆L进行密闭。由此保护了布线孔311a和线缆L免受来自镀覆液、来自外部的异物的侵扰。

图21A是靠近连接器侧的表面部的角落部附近的后视图。图21B是对靠近连接器侧的表面部的角落部附近进一步扩大的后视图。图21C是图21A的C-C线的剖视图。图21D是线缆的去除了被覆的部分的立体图。

线缆L1-L7如图21A和图21B所示，在同一平面内并排导入线缆通路365内，沿着开口部303的连接器331侧的边进行配置。线缆彼此之间在表面部312的厚度方向上不重叠。因此，能对表面部312和前板300的厚度进行抑制。

如图21A和图21B所示，沿着开口部303的各条边，对于连接器区域C1-C18中的每一个区域配置有由导电体组成的连接器370。连接器370与内密封件361不接触，但相邻地配置。连接器370配置在密封件保持器363上，通过多个螺钉511固定于密封件保持器。在密封件保持器363上，从各连接器区域中的线缆通路365开始到连接位置(螺钉511的位置)为止，设有引入线缆的布线槽363a。线缆L如图21D所示，具备：由导电体组成的线芯或导电线601；以及用于对导电线601进行绝缘的被覆602。线缆L在顶端部(第二端部)去除被覆602，露出线芯或导电线601。而且，在布线槽363a引入线缆L的线芯601。此外，在经过分配的连接器区域中引入的线缆L，在其连接器区域到达终点。

例如，在连接器区域C1形成布线槽363a(图21C)，布线槽363a朝连接器区域C1附近的线缆通路365开口，该布线槽363a通过设于连接器区域C1的四个螺钉(紧固部件)511的下方地进行延伸且到达终点(图21A)。同样地，在连接器区域C2形成布线槽363a，布线槽363a朝连接器区域C2附近的线缆通路365开口，该布线槽363a通过设于连接器区域C2的四个螺钉511的下方地进行延伸且到达终点。螺钉511和布线槽363a的位置关系如图21C所示。线缆L(在图21C中为L1)配置于布线槽363a时，通过螺钉511的凸缘部511a对连接器370和线缆(线芯)进行按压。

如下所述进行各连接器区域中的线缆L与连接器370的电连接。列举线缆L1为例，在线缆L1的顶端部(第二端部)除去被覆602，露出线芯(导电线)601(图21A-D)。线缆L1的顶端部在连接器区域C1的附近被导入至密封件保持器363的布线槽363a之内，在连接器区域C1内通过四处螺钉(紧固部件)511对连接器370一起进行按压。也就是说，螺钉(紧固部件)511和密封件保持器363对线缆L1的线芯601和连接器370一起进行夹持。其结果是，线缆L1与连接器370电连接。当基板保持器1保持基板S时，连接器370与基板S接触，从外部的电源经由线缆L1、连接器370对基板S进行供电。其他的连接器区域C2-C18也有相同的结构，从十八处连接器370对基板S进行供电。

由于在连接器区域C1没有引入线缆L2-L7，在连接器区域C1和连接器区域C2之间排列配置有线缆L2-L7。在连接器区域C2，与连接器C1同样地，在密封件保持器363的布线槽363a引入线缆L2，通过四处螺钉511对连接器370一起进行按压，线缆L2与连接器370电连接。其结果是，在连接器区域C2和连接器区域C3之间排列配置有线缆L4-L7。同样地，线缆L3-L7分别在连接器区域C3-C7中与连接器370电连接。其结果是，在连接器区域C3和连接器区域C4之间排列配置有线缆L4-L7，在连接器区域C4和连接器区域C5之间排列配置有线缆L5-L7，在连接器区域C5和连接器区域C6之间排列配置有线缆L6-L7，在连接器区域C6和连接器区域C7之间排列配置有线缆L7。

线缆L17、L18也同样地，分别在连接器区域C17、C18中与连接器370电连接。另外，在远离连接器侧的区域(第二区域)，线缆L8-L16也与第一区域的线缆同样地，分别在连接器区域C8-C16中与连接器370电连接。

在本实施方式中，尽管对连接器370与对线缆L一起被夹持，线缆L与连接器370直接电连接的情况进行了说明，但是也可以使其他的导电部件(第二导电部件)介于线缆L和连接器370之间。

[基板装卸装置]

图22A是基板装卸装置的立体图。图22B是基板装卸装置的侧视图。图22C是基板装卸装置的俯视图。图22D是基板装卸装置的保持器台和支承装置的后视图。

基板装卸装置1000包含在图1的基板装卸机构29内。基板装卸装置1000如图22A～D所示，具备：保持器台1100、回旋装置1200、以及支承装置1300。保持器台1100和支承装置1300固定于基座1400，基座1400固定于设置面。回旋装置1200安装于结构件(轨道)1500，能沿着结构件1500相对于保持器台1100接近和离开地在直线方向上进行往返移动。相对于基座1400的一个侧面进行结构件1500的安装，结构件1500具有与基座1400大致相同的高度。回旋装置1200配置于保持器台1100的第一侧，支承装置1300配置于保持器台1100的第二侧。基板装卸装置1000中，以在基板保持器1悬架于保持器台1100，以及以支承装置1300从后方侧对基板保持器1进行支承和固定的状态，利用回旋装置1200对基板保持器1的后板400进行装卸，基板S相对于由回旋装置1200卸下的后板400进行装卸。此外，在不通过支承装置1300对基板保持器1进行支承的情况下，能省略支承装置1300。

在以下说明中，有时将保持器台1100和支承装置1300的回旋装置1200的一侧称为第一侧或前方侧，将保持器台1100和支承装置1300的相反侧称为第二侧或后方侧。另外，有时将回旋装置1200的保持器台1100的一侧称为第一侧或前方侧，将回旋装置1200的相反侧称为第二侧或后方侧。

(回旋装置)

图23A是回旋装置的第一姿势的立体图。图23B是回旋装置的第二姿势的立体图。图23C是回旋装置的侧视图。图23D是回旋装置的俯视图。图23E是回旋装置的主视图。图23F是回旋装置的支承板部的扩大立体图。图23G是回旋装置的直行机构的剖视图。

回旋装置1200如图23A～E所示，具备：主体1232、回旋机构1240、以及支承板部1210。主体1232呈大致长方体形状，具有：沿着结构件1500的长度方向的边；以及沿着结构件1500的宽度方向的边。形成为相比于沿着结构件1500的长度方向的边，沿着结构件1500的宽度方向的边的长度更长。在主体1232的下部一体地或者分开地设有凸缘1231。在凸缘1231的下面安装有引导部件1250。引导部件1250具备：安装于凸缘1231的下面的两块连结板1251；以及安装于各连结板1251的下面的引导部1252。连结板1251沿着横穿结构件1500的方向延伸。在各连结板1251的下面，在结构件1500的宽度方向的两侧各设有一个引导部1252。各引导部1252与结构件1500的各轨道部1510卡合，回旋装置1200的主体1232沿着轨道部1510被引导。通过这种结构，回旋装置1200被引导部1252引导，能沿着轨道部1510移动。

在引导部件(连结板1251)的下面设有直线运动机构1260(图23E)。直线运动机构1260如图23G所示，具备：电动马达1261、连结机构1262、电磁制动器1263、滚珠丝杠1264、以及螺母1265。引导部件1250(连结板1251)固定于螺母1265。直线运动机构1260固定于结构件1500上。电动马达1261例如是伺服发动机。连结机构1262是将电动马达1261的旋转轴与滚珠丝杠1264可动作地进行连结的联轴器，将电动马达1261的旋转轴的旋转传递到滚珠丝杠1264。电磁制动器1263例如是，通过励磁线圈(电磁铁)的接通/断开，而使电枢相对于制动毂卡合、分开，从而对滚珠丝杠1264的旋转进行停止或许可。螺母1265通过固定于由轨道部1510限制了直线运动方向上的移动的引导部件1250而停止旋转，通过滚珠丝杠1264的旋转而沿着滚珠丝杠1264的轴向直线运动(前进或后退)。滚珠丝杠1264以及螺母1265构成旋转直线运动转换机构，将电动马达1261的旋转转换为引导部件1250和回旋装置1200的直行运动。

在回旋装置1200的主体1232的上部安装有回旋机构1240(图23C)。回旋机构1240具备：框架1241、电动马达1242、以及支承板回旋轴1243(图23D)。框架1241在俯视时具有支承板部1210侧开口的形状。电动马达1242安装于框架1241的开口侧的侧壁外侧。支承板回旋轴1243的第一端经由设于框架1241的侧壁1241a的减速器1244a与电动马达1242的旋转轴连结。支承板回旋轴1243的第二端由设于相反侧的框架1241的侧壁1241b的轴承1244b可旋转地支承。构成为支承板回旋轴1243通过连结机构1245a、1245b不可旋转地固定于支承板部1210，电动马达1242一旦转动的话，伴随着支承板回旋轴1243的旋转，支承板部1210也旋转。此外，在省略减速器1244a的情况下，通过以轴承代替减速器1244a，对支承板回旋轴1243的第一端可旋转地进行支承。

支承板部1210通过回旋机构1240而绕支承板回旋轴1243旋转，从而能获得第一姿势(在本例中为直立姿势)(图23A)和第二姿势(在本例中为水平姿势)(图23B)这两种姿势。此外，水平姿势是相对于装置设置面水平的意思，直立姿势是相对于装置设置面垂直的意思。直立姿势有时也称为垂直姿势。只要是在不会对基板S安装到后板400造成障碍的范围之内，水平姿势相对于完全水平也可以略有偏差。只要是在不会对后板400安装到前板300造成障碍的范围之内，垂直姿势也可以不是完全垂直。根据这种意思，有时也将水平姿势和直立姿势(垂直姿势)分别称为大致水平姿势、大致直立姿势(大致垂直姿势)。

支承板部1210具备：具有支承面的支承板1210a，支承面对基板保持器1的后板400进行支承；以及设于支承板1210a的支承面上的各种装置(图23C、图23E、图23F)。参照图23E、图23F对各种装置进行说明。

如图23E、图23F所示，在支承板1210a具备：八个促动器1211、八个促动器1212、四个促动器1213、四个真空装置1214、四个促动器1215、两个长度方向的水平定位装置1216、以及两个宽度方向的水平定位装置1217。通过设有多个促动器1212，对各促动器的按压力进行调整，能均匀地按压后板400。同样地，通过设有多个促动器1213，对各促动器的按压力进行调整，能均匀地按压后板400。此外，根据必要的按压力和/或吸附力，能将促动器和真空装置的数量选择为最合适的数量。

促动器1211对应于图14B中的上述促动器AR2。在本例中，促动器1211在支承板1210a的背面侧具有：作为驱动部DRV的气缸，以及由气缸所驱动的棒状部件(连杆)RD。促动器1211对按钮部470进行按压，将夹持件421打开(图14B)。此外，实际上在如图23E、图23F所示的圆形区域的大致中心，连杆RD从支承板1210a的背面侧朝前面侧露出。

促动器1212、1213是在保持器台1100从后板400侧对基板保持器1进行按压，并用于对基板保持器的内密封件361、外密封件362进行压缩的促动器。促动器1212、1213与促动器1211同样地，构成为在支承板1210a的背面侧具有由气缸所驱动的连杆。此外，实际上在如图23E、图23F所示的圆形区域的大致中心，促动器1212的连杆RD从支承板1210a的背面侧朝前面侧露出。

促动器1213还具有吸附机构，吸附机构通过真空喷射器或伯努力吸盘等吸盘(或者也称为非接触吸盘)对后板400进行吸引(参照图27K，后述)。促动器1213具备按压和吸附功能，构成为推入吸附机构。在以下说明中，也将促动器1213称为推入吸附缸体1213。

真空装置1214是通过使用真空喷射器等的真空垫对后板400进行吸引、吸附的装置。真空装置1214在支承板1210a呈第二姿势(在本实施方式中为水平姿势)的状态下开始对后板400的吸引。

促动器1215对应于图10B中的上述促动器AR1。在本例中，促动器1215具有：作为驱动部DRV的气缸1215b，以及作为由气缸所驱动的棒状部件RD的连杆1215a。在支承板1210a的各条边的大致中央各设有一个促动器1215。促动器1215对杆342进行按压，将夹紧件340打开(图10A、图10B)。

水平定位装置1216是具有由气缸所驱动的连杆的促动器，对配置于支承板1210a上的后板400的侧面进行按压，进行后板400在支承板1210a面内的定位。在支承板1210a的一条边(在本例中为上边)上设有两处水平定位装置1216。

水平定位装置1217是具有由气缸所驱动的连杆的促动器，对配置于支承板1210a上的后板400的侧面进行按压，进行后板400在支承板1210a面内的定位。在支承板1210a的一条边(在本例中为右边)上设有两处水平定位装置1217。

水平定位装置1216和水平定位装置1217分别设于与支承板1210a相邻的边。在本例中，支承板1210a的上边和下边比左边和右边更短。因此，水平定位装置1216和水平定位装置1217也可以说分别设于短边和长边。水平定位装置1216设于短边，沿着长边对后板400进行按压，进行长度方向的定位。水平定位装置1217设于长边，沿着短边对后板400进行按压，进行宽度方向的定位。

(保持器台)

图24A是保持器台的立体图。图24B是保持器台的主视图。图24C是保持器台的俯视图。图24D是保持器台的侧视图。

保持器台1100具备：脚部1111、支柱1112、下部横断板1113、上部横断板1114、凸缘1115、以及臂接收部1120。两个脚部1111保持规定的间隔固定于基座1400上。在下部横断板1113的两端部的附近分别固定有支柱1112、及脚部1111的上面。两根支柱1112分别通过例如螺栓固定于下部横断板1113和脚部1111。在各支柱1112的上部设有伸出部1116，在伸出部1116和支柱1112的上面安装有凸缘1115。在凸缘1115上配置第一安装部件1117，通过螺栓等固定于凸缘1115和上部横断板1114。上部横断板1114的两端固定于凸缘1115的下面。臂接收部1120通过第二安装部件1118安装于第一安装部件1117上。臂接收部1120具有凹部1120a，基板保持器1的臂部330的各端部插入凹部1120a。此外，在插入了安装有连接器331的臂部330的凹部1120a内配置后述的通电确认装置1121。上部横断板1114将各支柱1112的上部相互连结。

图25A是定位销处于收纳状态下保持器台的臂接收部的扩大立体图。图25B是定位销处于突出状态下保持器台的臂接收部的扩大立体图。图25C是配置有基板保持器的臂部的状态下保持器台的臂接收部的扩大立体图。

在臂接收部1120具有凹部1120a，凹部1120a用于接收基板保持器1的臂部330进入。在凹部1120a的外方侧形成凹部1120b，凹部1120b与凹部1120a连续且宽度比凹部1120a更窄。在该凹部1120b的底面设有销孔1122。在销孔1122内容纳了定位销1123，定位销1123能处于通过电动马达、气缸等的动力机构1123a(图26F)从销孔1122突出的位置(图25B)和收容于销孔1122内部的位置(图25A)这两个位置。

在臂接收部1120的凹部1120a内配置有通电确认装置1121。此外，在基板保持器1的臂部330的端部中，在没有连接器331的那侧的臂接收部1120不设置通电确认装置1121。

在保持器台1100收入基板保持器1之前，如图25A所示，定位销1123处于收纳于销孔1122内的状态。在保持器台1100收入基板保持器1时，定位销1123移动到从销孔1122突出的位置(图25B)。之后，由未图示的输送装置将基板保持器1的臂部330载放到臂接收部1120的话，定位销1123插入与臂部330一体或分开设置的定位片332的定位孔332a。由此，进行臂部330对于臂接收部1120的定位，进行基板保持器1在保持器台1110的定位。

(支承装置)

图26A是支承装置的立体图。图26B是支承装置的主视图。图26C是支承装置的俯视图。图26D是支承装置的侧视图。图26E是支承装置的后方立体图。图26F是支承装置的后视图。

支承装置300具备：基座1301、两根支柱1302、上部横断梁1303、主体面板1310、支承板1320。基座1301固定于上述基座1400。两根支柱1302保持规定的间隔固定于基座1301上。上部横断梁1303固定于两根支柱1302的上部。

支承板1320构成为通过多根连杆1321和多根加强连杆1322相对于主体面板1310能在接近和离开的方向上往返运动。

在支承板1320的左右方向的中心部，在上下方向上均匀地配置有三根连杆1321(图26A)。在图26A中，上下方向中央和下部的连杆1321隐藏在支承板1320后。上下方向中央的连杆1321是如图26E所示的气缸1321b的连杆部。气缸1321b固定于主体面板1310的背面，连杆1321从主体面板1310的背面侧朝前面侧贯穿。上下两根连杆1321穿过设于主体面板1310的贯通孔，引导到主体面板1310的背面侧(图26E)，相对于主体面板1310可自由滑动地进行移动。在这样的上下的连杆1321的前方侧端部，在支承板1320的背面固定有螺栓等紧固部件(图26C)。中央的连杆1321穿过设于主体面板1310的贯通孔，与配置于主体面板1310的背面侧的气缸1321b(图26C、图26E)的缸体部连接。在该中央的连杆1321的前方侧端部，在支承板1320的背面也固定有螺栓等紧固部件。因此，通过气缸1321b的驱动，中央的连杆1321前进的话，支承板1320也前进。另外，通过气缸1321b的驱动，中央的连杆1321后退的话，支承板1320也后退。伴随着通过中央的连杆1321使支承板1320前进和后退，上下的连杆1321也前进和后退，起到了对支承板1320的移动进行引导的功能。

加强连杆1322是配置在主体面板1310的后方侧的各气缸1322b(图26C)的连杆部。加强连杆1322与气缸1322b的缸体部连接。在该例子中，如图26E所示，沿着支承板1320的周缘部配置十四个气缸1322b，也对应于气缸1322b的位置配置有加强连杆1322。构成为凸缘部件1322a螺纹固定于加强连杆1322的前方侧端部(图26C、图26E)，利用凸缘部件1322a的端面对支承板1320的背面进行按压。加强连杆1322利用凸缘部件1322a的端面将支承板1320的背面朝前面侧进行按压。加强连杆1322起到了对连杆1321对支承板1320的支承进行辅助的功能。

另外，在支承板1320的四个角落的附近安装有固定装置1323(图26A-图26D、图27G-图27I)。如图27G-图27I所示，固定装置1323具备：按压部件1323a、连杆1323b、以及气缸1323c，按压部件1323a安装于连杆1323b的第一端，气缸1323c与连杆1323b的第二端连接。按压部件1323a具有与前板300的背面抵接的按压部1323d(图27G)。此处，气缸1323c是旋转夹持型的装置。气缸1323c使连杆1323b和按压部件1323a一边朝突出方向划动一边旋转(从图27G到图27H)，连杆1323b和按压部件1323a以旋转90°的状态朝后退方向划动，利用按压部1323d对前板300进行按压(图27I)。

(基板装卸装置的动作流程)

图27A～X是用于对基板装卸装置的动作进行说明的图。图27A是接收基板保持器之前的基板装卸装置的立体图。图27B是接收基板保持器之后的基板装卸装置的立体图。图27C是支承装置对基板保持器进行支承、固定时的基板装卸装置的侧视图。图27D是支承板在后退状态下支承装置的立体图。图27E是支承板在前进状态下支承装置的立体图。图27F是进一步利用辅助杆对支承板进行支承的状态下支承装置的立体图。图27G是驱动前的固定装置的立体图。图27H是按压部件旋转时的固定装置的立体图。图27I是杆后退时的固定装置的立体图。图27J是利用回旋装置的支承板对基板保持器进行按压、吸附时的基板装卸装置的侧视图。图27K是推入吸附缸体的剖视图。图27L是对解除固定后板的夹紧件进行说明的基板装卸装置的部分扩大图。图27M是利用回旋装置卸下后板时的基板装卸装置的侧视图。图27N是以第二姿势使回旋装置进行回旋时的基板装卸装置的侧视图。图27O是用于对水平定位装置的结构进行说明的回旋装置的支承板的主视图。图27P是第二姿势下的回旋装置的支承板部的立体图。图27Q是卸下基板时的基板装卸装置的侧视图。图27R是安装基板时的基板装卸装置的侧视图。图27S是从第二姿势回到第一姿势时的基板装卸装置的侧视图。图27T是回旋装置将后板按压到保持器台的前板时的基板装卸装置的侧视图。图27U是动作前的通电确认装置的剖视图。图27V是动作后的通电确认装置的剖视图。图27W是回旋装置后退到退避位置时的基板装卸装置的侧视图。图27X是支承装置的支承板后退时的基板装卸装置的侧视图。

如从图27A到图27B所示，在基板装卸装置1000的保持器台1100设置基板保持器1。此时，在保持器台1100上将基板保持器1设置为：前板300朝向支承装置1300侧，后板400朝向回旋装置1200侧。另外，回旋装置1200位于从保持器台1100后退的待机位置，支承装置1300的支承板1320位于从保持器台1100后退的退避位置。

基板保持器1的设置动作的详细如下所述。首先，保持器台1100的定位销1123上升(图25B)。之后，未图示的输送装置将基板保持器1置于保持器台1100。此时，将基板保持器1的臂部330的两端被收入保持器台1100的各臂接收部1120的凹部1120a、1120b，定位销1123与臂部330的定位孔332a卡合，基板保持器1被定位在保持器台1100(图25C)。之后，定位销1123下降(图25A)。

接着，通过支承装置1300的支承板1320进行基板保持器1的支承和固定(图27C)。首先，从支承装置1300的支承板1320后退的退避位置(图27D)开始进行支承装置1300的气缸1321b(图26E、图26F)的驱动，使支承板1320与基板保持器1的前板300抵接(图27C、图27E)。再进行支承装置1300的气缸1322b(图26E、图26F)的驱动，通过加强连杆1322再对支承板1320进行支承(图27F)。另外，通过设于支承板1320的四个角落附近的固定装置1323，从背面侧朝支承板1320对基板保持器1的前板300进行按压，通过固定装置1323将前板300固定于支承板1320(图27G、H、I)。

接着，使回旋装置1200移动到基板保持器1的按压位置，进行基板保持器1的后板400的按压、吸附(图27J)。首先，对回旋装置1200的直线运动机构1260进行驱动，使回旋装置1200在与保持器台1100接近的方向上从待机位置移动到按压位置。此时，回旋装置1200的支承板1210a与支承于保持器台1100的基板保持器1的后板400抵接。在这种状态下，回旋装置1200的直线运动机构1260的电磁制动器动作，回旋装置1200的位置被固定。之后，回旋装置1200的促动器动作，将基板保持器1朝支承装置1300的支承板1320按压，对基板保持器1的密封件361、362进行压缩。接着，回旋装置1200的推入吸附缸体1213的促动器(图27K的活塞1213e、连杆1213b)动作，通过推入吸附缸体1213将基板保持器1朝支承装置1300的支承板1320按压，进一步对基板保持器1的密封件361、362进行压缩。之后，使推入吸附缸体1213的吸引机构(图27K的吸引通路1213h)动作，通过推入吸附缸体1213对后板400进行吸附。

推入吸附缸体1213如图27K所示，具备：连杆1213b、与连杆1213b的基端部连结的活塞1213e、与连杆1213b的顶端部连结的吸盘1213a。在连杆1213b的顶端面，开口部1213c开口，开口部1213c经由连杆1213b内的通路1213d与吸引通路1213h连接。连杆1213b经由膜片1213j安装于支承板1210a。吸引通路1213h沿长度方向贯穿活塞1213e的内腔并延伸。

活塞1213e配置于气室1213i内，将气室1213i划分为两室。气室1213i内的各室与各配管1213g连接，通过经由各配管1213g对各室进行空气的供给和各室的空气的排出，活塞1213e能在长度方向上往返移动(图27K的上侧图、下侧图)。膜片1213j对连杆1213b朝后退方向(支承板1210a的背面侧)施力，对活塞1213e造成的连杆1213b的移动进行缓冲。活塞1213e和气室1213i构成了气缸。通过气缸，活塞1213e和连杆1213b前进，通过吸盘1213a对基板保持器1的后板400进行按压(图27K的下侧图的状态)。

另外，在图27K的上侧图或下侧图的状态下，通过使用真空喷射器的真空压对后板400进行吸附。也就是说，经由吸引通路1213h对吸盘1213a侧的空气进行吸引，将后板400吸附于吸盘1213a。或者，也可以构成为从吸引通路1213h朝吸盘1213a供给空气，通过从吸盘1213a和后板400之间的间隙漏出的空气在吸盘1213a内产生负压，通过该负压将后板400非接触地对吸盘1213a进行吸附。

之后，通过回旋装置1200的促动器1215对后板400的杆342进行按压，将夹紧件340打开，成为夹紧件340与后板400分开的状态(图27L)。该动作对应于图10A、图10B的促动器AR1的动作。此外，在图27L中，尽管示出了回旋装置1200的支承板1210a从后板400离开的状态，但是实际上，在回旋装置1200的支承板1210a与后板400抵接的状态下促动器1215进行动作。

之后，降低推入吸附缸体1213的按压力，解除推入吸附缸体1213对密封件的按压，促动器1212的连杆后退，也解除促动器1212对密封件的按压。此时，继续推入吸附缸体1213对后板400的吸引，后板400成为吸附在推入吸附缸体1213的状态。接着，解除回旋装置1200的电磁制动器，对直线运动机构1260进行驱动，使回旋装置1200从按压位置移动到夹紧件开闭位置。此时，后板400以吸附在回旋装置1200的状态从前板300离开。夹紧件开闭位置是后板400相比于夹紧件340的开闭动作的范围(可动范围)更远离前板300的位置。在该状态下，使促动器1215的连杆1215a后退，解除对杆342的按压的话，夹紧件340闭合。此时，由于后板400已经从夹紧件340的开闭动作的范围离开，因此，夹紧件340不与后板400卡合，成为闭锁状态。

接着，回旋装置1200再从夹紧件开闭位置后退到回旋位置(图27M)。回旋位置是回旋装置1200回旋时(在图23A的姿势和图23B的姿势之间回旋时)支承板部1210不会与保持器台1100发生干涉的充分远离保持器台1100的回旋装置1200的位置。

然后，回旋装置1200的支承板部1210从第一姿势(直立姿势)向第二姿势(水平姿势)进行回旋(图27N)。对回旋装置1200的电动马达1242进行驱动，支承板部1210从直立姿势向水平姿势进行回旋。另外，回旋装置1200再从回旋位置移动到基板交接位置。此外，基板交接位置是回旋装置1200从未图示的搬运机器人收取基板的合适的位置，可以是从回旋位置只前进规定的距离的位置。另外，基板交接位置也可以是与回旋位置相同的位置。在这种情况下，回旋装置1200以停止于回旋位置(基板交接装置)的状态收取基板。

接着，停止推入吸附缸体1213进行的吸引，使推入吸附缸体1213的吸盘1213a后退。另外，如图27O所示，使水平定位装置1216、1217的气缸1216b、1217b动作，使连杆1216a、1217a突出，在支承板1210a的面内对后板400进行定位。而且，如图27P所示，使真空装置1214动作，并使后板400吸附于支承板部1210a。另外，使促动器1211(AR2)动作，如图14B所示，将后板400的夹持件421打开，将基板S从后板400释放。

接着，利用未图示的搬运机器人从后板400卸下基板S(图27Q)。继续促动器1211(AR2)的动作，在夹持件421从基板S释放的状态下，未图示的搬运机器人从后板400卸下基板S。此时，卸下的是例如基板处理(例如镀覆处理)后的基板S。

接着，向后板400安装另一块基板S(图27R)。继续促动器1211(AR2)的动作，在夹持件421与基板S分开的状态下，未图示的搬运机器人将另一块基板S载放于后板400。另一块基板S例如是基板处理(例如镀覆处理)前的基板S。之后，停止促动器1211的动作，夹持件421回到闭锁位置。由此，通过夹持件421将新的基板S进行固定。另外，使水平定位装置1216、1217的连杆1216a、1217a退避。然后，使回旋装置1200从基板交接位置移动到回旋位置(此外，在基板交接位置和回旋位置相同的情况下，不需要进行该移动)。

在回旋位置，使回旋装置1200的支承板部1210从第二姿势(水平姿势)向第一姿势(直立姿势)进行回旋(图27S)。

接着，利用夹紧件340将后板400固定于前板300(图27T)。首先，使回旋装置1200从回旋位置前进到夹紧件开闭位置。此时，保持于回旋装置1200的后板400存在于前板300的夹紧件340的可动范围外。在该位置使促动器1215动作，对前板300的杆342进行按压，将夹紧件340打开。之后，使回旋装置1200从夹紧件开闭位置前进到按压位置(位于夹紧件340的可动位置)。此时，保持于回旋装置1200的后板400不与夹紧件340发生干涉地与前板300抵接、按压。然后，停止回旋装置1200的真空装置1214的动作。此时，后板400通过回旋装置1200被按压于前板300，前板300的定位销390嵌合保持于后板400的定位片490，即便停止真空装置1214的动作后板400也会不落下。接着，回旋装置1200的电磁制动器动作。接着，回旋装置1200的促动器1212动作，将后板400向前板300对按压，对基板保持器1的密封件361、362进行压缩。另外，使推入吸附缸体1213的气缸动作，利用吸盘1213a将后板400向前板300按压，进一步对基板保持器1的密封件361、362进行压缩。在该状态下，使促动器1215的连杆退避，将夹紧件340闭合，利用夹紧件340将后板400相对于前板300固定。之后，解除促动器1212对后板400的按压，另外，使推入吸附缸体1213的吸盘1213a从后板400退避，解除推入吸附缸体1213对后板400的按压。

(通电确认处理)

另外，实施基板保持器1的通电确认(图27U、图27V)。在保持器台1100的臂接收部1120的内部设有如图27U、图27V所示的通电确认装置1121。通电确认装置1121具备：连接器侧接点对1121a、配置于连接器侧接点对1121a的下方的缸体侧接点对1121b、以及固定有缸体侧接点对1121b的通电缸体1121c。通电缸体1121c通过未图示的驱动单元能在上下方向上移动。

图28是示出连接器的接点与通电确认装置的接点的对应关系的说明图。

在图28中，第一侧和第二侧分别与图27U、V中的左右对应。设有第一对至第三对的连接器侧接点对1121a和缸体侧接点对1121b。在图27U、V中示出了第一对的连接器侧接点对1121a和缸体侧接点对1121b。在图27U、V的纸面的里面，以第二对的连接器侧接点对1121a和缸体侧接点对1121b、第三对的连接器侧接点对1121a和缸体侧接点对1121b的顺序进行配置。

如图28所示，第一对的缸体侧接点对1121b与第一对的连接器侧接点对1121a对应，第一对的连接器侧接点对1121a与基板保持器1的连接器331的第一对的外部连接接点对331a对应。在基板保持器1的连接器331的第一对外部连接接点对331a中，第一侧的外部连接接点对331a1与如图17所示的线缆L17、L18、L1(连接器区域C17、C18、C1)电连接。第二侧的外部连接接点对331a2与线缆L8、L9、L10(连接器区域C8、C9、C10)电连接。

同样地，在图28中，第二对的缸体侧接点对1121b与第二对的连接器侧接点对1121a对应，第二对的连接器侧接点对1121a与基板保持器1的连接器331的第二对的外部连接接点对331a对应。在基板保持器1的连接器331的第二对外部连接接点对331a中，第一侧的外部连接接点对331a1与线缆L2、L3、L4(连接器区域C2、C3、C4)电连接。第二侧的外部连接接点对331a2与线缆L11、L12、L13(连接器区域C11、C12、C13)电连接。

同样地，在图28中，第三对的缸体侧接点对1121b与第三对的连接器侧接点对1121a对应，第三对的连接器侧接点对1121a与基板保持器1的连接器331的第三对的外部连接接点对331a对应。在基板保持器1的连接器331的第三对外部连接接点对331a中，第一侧的外部连接接点对331a1与线缆L5、L6、L7(连接器区域C5、C6、C7)电连接。第二侧的外部连接接点对331a2与线缆L14、L15、L16(连接器区域C14、C15、C16)电连接。

此处尽管连接器侧接点对1121a和缸体侧接点对1121b上下配置，使通电缸体1121c上下移动，但是也可以连接器侧接点对1121a和缸体侧接点对1121b在水平方向上排列，使通电缸体1121c水平移动。

通电确认装置1121在不动作时，如图27U所示，通电缸体1121c位于下方，缸体侧接点对1121b从连接器侧接点对1121a离开。将基板保持器1的臂部330的连接器331载放于保持器台1100的臂接收部1120时，如图27U所示，连接器331的第一至第三对的外部连接接点对331a(331a1、331a2)分别与第一至第三的连接器侧接点对1121a(1121a1、1121a2)接触(图28的箭头A1)。

在该状态下，通电确认装置1121动作。首先，如图27V所示，使通电缸体1121c上升，使缸体侧接点对1121b的各接点1121b1、1121b2与连接器侧接点对1121a的各接点1121a1、1121a2接触(图28的箭头A2)。然后，在缸体侧接点对1121b的第一及第二侧的接点1121b1、1121b2之间施加规定的检查电压V0的话，在第一对中形成从缸体侧接点对1121b的第一侧的接点1121b1开始、连接器侧接点对1121a的第一侧的接点1121a1、连接器331的外部连接接点对331a的第一侧的外部连接接点331a1、线缆L17、L18、L1、连接器区域C17、C18、C1的连接器370、基板S、连接器区域C8、C9、C10的连接器370、线缆L8、L9、L10、连接器331的外部连接接点对331a的第二侧的外部连接接点331a2、连接器侧接点对1121a的第二侧的接点1121a2、回到缸体侧接点对1121b的第二侧的接点1121b2的电流环路。在第二及第三对中也形成同样的电流环路。

然后，在各对中，对流过第一侧和第二侧之间的电流环路的电流进行测定，算出各对中外部连接接点331a的第一侧和第二侧的接点331a1、331a2之间的电阻值。此时，第一至第三对中外部连接接点331a的第一侧和第二侧的接点331a1、331a2之间的电阻值在规定值以下且在规定的范围内的话，能判断为基板保持器1的电气系统及基板S的电气特性正常。在第一至第三对中外部连接接点331a的第一侧和第二侧的接点331a1、331a2之间的电阻值不满足上述条件的情况下，判断为在基板保持器1的连接器331、线缆L、连接器370之间的某处存在电气缺陷，或者基板S表面的电气特性有缺陷、或者基板S向基板保持器1的安装有问题。在通电确认动作中没有问题的话，使通电缸体1121c下降。此外，在通电确认动作中存在问题的情况下，从基板保持器1卸下基板更换为另一块基板，或者从之后的处理卸下基板保持器1本身。

之后，解除回旋装置1200的电磁制动器，使回旋装置1200从按压位置朝回旋位置后退(图27W)。

另外，使支承装置1300的支承板1320从保持器台1100退避(图27X)。首先，以与图27G～图27I的顺序相反的顺序解除支承装置1300的固定装置1323进行的基板保持器1(前板300)的固定。接着，使支承装置1300的加强连杆1322从支承板1320退避。然后，通过使连杆1321的退避，支承板1320朝主体面板1310侧后退。

接着，使保持器台1100的定位销1123上升，使定位销1123与基板保持器1的臂部330的定位孔332a卡合。之后，未图示的输送装置卸下基板保持器1。

此外，在空的基板保持器1安装基板的情况下，省略图27Q的基板的卸下处理。另外，基板处理结束时，在基板保持器1以空的状态回到暂存盒的情况下，省略图27R的基板的安装处理。

(实施方式的作用效果)

根据本实施方式所涉及的基板保持器1，通过夹紧件340对夹持基板的前板300和后板400相互进行固定，夹紧件340能绕与前板主体310的面平行的轴进行旋转或者在与前板主体310的面交叉的方向上往返运动，因此能对向基板施加旋转方向的力进行抑制乃至防止。尽管在基板为大型且薄的基板的情况下，向基板施加旋转方向的力的话，担心会在产生挠曲，但是根据该基板保持器1，即便在对大型且薄的基板进行保持的情况下也能对挠曲的产生进行抑制乃至防止。

另外，由于夹紧件340为常闭型，因此在将后板主体410与前板主体310抵接时打开夹紧件的话，在夹紧状态下无需通过促动器等从外部施加力，能对能耗进行抑制。

另外，由于能在多处通过夹紧件340对后板400进行夹持，另外通过连结部件(旋转轴341)使各夹紧件340的动作进行同步，因此能高效地进行夹紧动作。另外，能使从外部施加力的促动器AR1的结构简单化。由于杆342能从外部的第一促动器AR1受力并经由旋转轴341使各夹紧件340动作，因此夹紧件340进行的固定的自动化变得容易。

另外，通过在后板400设有收入夹紧件340的卡合部340a的形状的被卡合部430，能提高夹紧件进行的卡合。通过构成为将分开的被卡合部安装于后板主体410，能容易地对被卡合部430的尺寸、形状、个数等进行合适地选择。

另外，通过夹持件421将基板固定于后板400，夹持件421能绕与后板主体410的面平行的轴424进行旋转或者在与后板主体410的面交叉的方向上往返运动，因此能对向基板施加旋转方向的力进行抑制乃至防止。尽管在基板为大型且薄的基板的情况下，向基板施加旋转方向的力的话，担心会在产生挠曲，但是根据该基板保持器，即便在对大型且薄的基板进行保持的情况下也能对挠曲的产生进行抑制乃至防止。另外，由于夹持件421在与基板的面垂直的方向上移动，因此能对应薄基板的翘曲和基板的厚度的差异。

由于夹持件421为常闭型，因此在基板与后板主体410抵接时打开夹持件421的话，在夹紧状态下无需通过促动器等从外部施加力，能对能耗进行抑制。

由于设有按钮部470，按钮部470从与基板抵接侧的面相反的面受力，因此能将促动器AR2配置于基板抵接面的相反侧，基板固定后的后板400的移动、姿势的变更变得容易。

由于按钮部470能从外部的第二促动器AR2受力而使各夹持件421动作，因此夹持件421进行的固定的自动化变得容易。

由于分别设置对内密封件361和外密封件362进行保持的密封件保持器363、364，因此能分别进行各密封件的更换。

另外，在本实施方式的基板保持器中，通过在线缆L的一端部除去被覆602，将线缆L的线芯601与导电板371(或连接器370)一起进行夹持，以简单的结构能确立线缆L和导电板371(或连接器370)之间的电连接。也就是说，无需在线缆端部设置连接器等，就能进行线缆L和导电板371(或连接器370)之间的连接。在基板S的多处与连接器370接触进行供电的情况下，尽管在基板保持器内需要对线缆L进行走线进行电连接，根据该基板保持器，以简单的结构能确立线缆L和导电板371(或连接器370)之间的电连接，能对基板保持器的大型化进行抑制。另外，在向大型的基板供电的情况、对基板的供给电流值较大的情况下，增加线缆的数量，线缆的直径也会变大。例如，在这种情况下，根据该基板保持器，简单的线缆的连接变得有效。

另外，在本实施方式的基板保持器中，通过螺栓、螺钉等紧固部件511以简单的结构、简单的作业，能确立线缆L和导电板371(或连接器370)之间的电连接。

另外，在本实施方式的基板保持器中，由于能使用密封件保持器363对线缆L和导电板371进行夹持，因此能利用现有的结构，能对基板保持器的大型化、成本增加进行抑制。

另外，在本实施方式的基板保持器中，由于密封件361、362的密封件保持器363、364各自分开，分别进行密封件的更换变得容易。另外，分别进行密封件保持器363、364的更换变得容易。

另外，在本实施方式的基板保持器中，通过使线缆L在基板保持器的厚度方向不重叠，能对基板保持器的厚度的增加进行抑制。特别是，尽管在大型的基板、电流量较大的情况下，线缆的数量、线缆的直径有可能变大，但是根据该结构，能对基板保持器的厚度方向的增大进行抑制。

另外，在本实施方式的基板保持器中，由于将除去了顶端的被覆602的各线缆L依次引入各导电板371(或连接器370)的位置进行连接，因此能确保到连接位置为止的线缆间的绝缘的同时，能以简单的结构将线缆与导电部件连接。

在将本实施方式的基板保持器适用于镀覆装置的情况下，由于能对基板保持器的大型化进行抑制，因此也能对镀覆装置的大型化进行抑制。

在本实施方式所涉及的基板保持器的制造方法中，通过在线缆L的一端部除去被覆602，将线缆L的线芯601与导电板371(或连接器370)一起进行夹持，以简单的结构能确立线缆L和导电板371(或连接器370)之间的电连接。也就是说，无需在线缆端部设置连接器等，就能进行线缆L和导电板371(或连接器370)之间的连接。在基板S的多处与连接器370接触进行供电的情况下，尽管在基板保持器内需要对线缆L进行走线进行电连接，根据该基板保持器，以简单的结构能确立线缆L和导电板371(或连接器370)之间的电连接，能对基板保持器的大型化进行抑制。另外，在向大型的基板供电的情况、对基板的供给电流值较大的情况下，增加线缆的数量，线缆的直径也会变大。例如，在这种情况下，根据该基板保持器，简单的线缆的连接变得有效。

本实施方式所涉及的镀覆方法是对保持于基板保持器1的基板进行镀覆处理的镀覆方法，包含：将基板保持于基板保持器1的步骤；基板保持器1具有至少一根线缆L、至少一个连接器370、以及夹持部件511的步骤，至少一根线缆L具有除去了被覆的一端部，至少一个连接器370构成为能与基板电接触，夹持部件511将线缆L的一端部与连接器370一起进行夹持，或者夹持部件511将线缆L的一端部与第二导电部件一起进行夹持，该第二导电部件与连接器370电导通；以及经由线缆L对对保持于基板保持器1的基板进行供电并进行镀覆处理的步骤。

在这种镀覆方法中，即便是在向大型的基板供电的情况下、对基板的供给电流值较大的情况下，基板保持器中线缆和连接器之间的电连接也是简单的结构，因此能使用对大型化进行抑制乃至防止的基板保持器进行镀覆处理。

在本实施方式所涉及的镀覆方法中，还包含以下步骤：基板保持器1具备第一规定数量的线缆L以及多个外部连接接点对331a，各外部连接接点对331a具有第一侧的接点331a1以及第二侧的接点331a2，在第一侧以及第二侧的接点331a1、331a2电连接第二规定数量的线缆L，第二规定数量小于第一规定数量且为2以上，使电阻测定器与各外部连接接点对331a的第一侧的接点331a1和第二侧的接点331a2之间接触，对各外部连接接点对331a的电阻进行测定。

在这种情况下，在镀覆处理前对各外部连接接点对331a的第一及第二侧的接点331a1、331a2之间的电阻进行测定，实施对多个外部连接接点对331a的电阻是否存在偏差进行确认的通电确认处理。因此，由于对是否发生多个外部连接接点对331a的电阻之间的偏差所引起的镀覆膜厚的均匀性问题事先进行了确认，能进行镀覆处理。其结果是，能提高镀覆处理的可靠性。

[1]本实施方式的基板装卸装置1000利用基板保持器1的前板及后板300、400对基板进行夹持来保持该基板，具备保持器台1100以及回旋装置1200，保持器台1100以第一姿势对前板300进行支承，回旋装置1200能够相对于保持器台1100接近和离开地直行移动，能够以第一姿势和第二姿势对后板400进行保持，该第二姿势与第一姿势大致正交，以第一姿势将后板400按压于前板300而使前板300和后板400彼此固定。

根据本实施方式的基板装卸装置1000，基板保持器1的后板400以第二姿势接收了基板之后，前板及后板300、400能以第一姿势彼此固定。例如，以水平姿势接收了基板之后，前板及后板300、400以直立姿势彼此固定的话，能以直立姿势对装载了基板的基板保持器1进行搬运。由此，能对基板的被处理面朝上进行搬运的情况下在基板表面产生伤痕和基板破损的问题进行抑制。

另外，由于回旋装置1200能够相对于保持器台1100接近、离开地直行移动，回旋装置1200能在充分远离保持器台1100的位置使后板400回旋而改变姿势，能对装置的大型化进行防止，前板及后板300、400之间的定位也变得容易。

[2]在本实施方式的基板装卸装置中，第一姿势例如可以是相对于基板装卸装置1000的设置面大致垂直的姿势。

在这种情况下，由于第二姿势是相对于设置面大致水平的姿势，以基板保持器1的后板400大致水平的状态接收基板，以大致垂直的姿势使前板及后板300、400彼此固定，因此适用于如上所述的向基板保持器1安装基板。

[3]在本实施方式的基板装卸装置1000中具备支承装置1300，支承装置1300具有第一支承板1320和固定装置1323，第一支承板1320用于在回旋装置1200的相反侧对前板300进行支承，固定装置1323用于将前板300保持于第一支承板1320。

在这种情况下，由于在回旋装置1200的相反侧，在利用支承装置1300对基板保持器1进行支承和固定的状态下，回旋装置1200进行后板400的装卸，因此将后板400按压于前板300时，支承装置1300对前板300进行支承，能对前板300的位置偏离进行防止。

[4]根据本实施方式的基板装卸装置1000，支承装置1300具有多根连杆1321，多根连杆1321与第一支承板1320中的支承有前板300的一侧的相反侧的面连结，通过多根连杆1321的移动，第一支承板1320能进行移动。

通过多根连杆1321，第一支承板1320能以正确的姿势进行移动，另外，能对第一保持部件良好地进行支承。

[5]在本实施方式的基板装卸装置1000中，固定装置1323在与前板300的面重叠的位置和与前板300的面不重叠的位置之间具有可旋转的按压部件1323a。

在将固定装置1323设于与前板300的面不重叠的位置的状态下，使第一支承板1320与前板300抵接，之后将固定装置1323设于与前板300的面重叠的位置，利用固定装置1323将前板300固定于第一支承板1320的话，既能够避免与前板300的干涉，又能够进行固定动作。

[6]在本实施方式的基板装卸装置1000中，保持器台1100还具有臂接收部1120，臂接收部1120对前板300的臂部330进行支承，前板300悬架于臂接收部1120。

由于保持器台1100构成为由前板300的臂部330进行悬架，因此能简单地构成保持器台1100。

[7]在本实施方式的基板装卸装置1000中，保持器台1100的臂接收部1120具有定位销1123，定位销1123能在用于与定位孔332a卡合的位置以及与定位孔332a不卡合的位置之间移动，定位孔332a设于前板300的臂部330。

根据定位销1123，能正确地将基板保持器1相对于保持器台进行定位。

[8]在本实施方式的基板装卸装置1000中，臂接收部1120具有通电确认装置1121，通电确认装置1121用于对经由前板300的连接器331的基板的电导通进行检查，所述通电确认装置1121对所述连接器331的多个外部连接接点对331a的接点间的电阻值进行测定。

在这种情况下，由于通过通电确认装置1121，能对处理前的基板的电气特性、基板保持器的电气特性是否存在异常进行确认，因此能对使用存在异常的基板、基板保持器进行基板处理的情况进行防止。另外，在多根缆线L与连接器331的共用的外部连接接点331a1、331a2连接的情况下，通过对连接器331的各外部连接接点对331a的外部连接接点331a1、331a2之间的电阻值进行测定，能确认各外部连接接点对331a的电阻值之间是否有偏差，进行通电确认处理。其结果是，能提高镀覆处理的可靠性。

[9]在本实施方式的基板装卸装置1000中，第一支承板1320构成为矩形状且对多边形形状的第一保持部件进行支承。

通过多边形形状的第一保持部件，能对矩形等大型基板进行合适地保持。

[10]在本实施方式的基板装卸装置1000中，回旋装置1200具有第一促动器1215，第一促动器1215用于使设于支承在保持器台1100的前板300的夹紧件340动作，使后板400保持于前板300。

通过回旋装置1200的第一促动器1215，能使前板300的夹紧件340动作，通过前板300的夹紧件340能容易地进行后板400的固定。另外，由于在前板300设有夹紧件340，能容易地构成从保持器台1100分离及移动的后板400。

[11]在本实施方式的基板装卸装置1000中，第一促动器1215具有第一棒状部件，第一棒状部件在与第一支承板1320垂直的方向上移动，通过该第一棒状部件对与夹紧件340连结的杆342按压，使前板300的夹紧件340绕与第一支承板1320平行的轴旋转。

在这种情况下，由于夹紧件340绕与第一支承板1320平行(即与基板平行)的轴旋转，因此能对向基板施加基板面方向的力进行抑制，能对基板的挠曲、形变等进行抑制。因此，在对大型且薄的基板进行保持的情况下也能对挠曲的产生进行抑制乃至防止。

[12]在本实施方式的基板装卸装置1000中，第一棒状部件是由气缸驱动的活塞。

因此，能通过气缸以合适的力使第一棒状部件按压杆342。

[13]在本实施方式的基板装卸装置1000中，回旋装置1200具有第二支承板1210a和第二促动器1211，第二支承板1210a用于对后板400进行支承，第二促动器1211设于第二支承板1210a，第二促动器1211使设于后板400的夹紧件421动作，使基板保持于夹紧件421。

在这种情况下，由于后板400接收基板时，以夹紧件421将基板固定于第二支承板1210a，因此之后即便是在对后板400的姿势进行变更的情况下，也能可靠地对基板进行保持。

[14]在本实施方式的基板装卸装置1000中，第二促动器1211具有第二棒状部件，第二棒状部件在与第二支承板1210a垂直的方向上移动，通过该第二棒状部件使后板400的夹紧件421绕与第二支承板1210a平行的轴旋转。

在这种情况下，由于夹紧件421绕与第二支承板1210a平行(即与基板平行)的轴旋转，因此能对向基板施加基板面方向的力进行抑制，能对基板的挠曲、形变等进行抑制。因此，在对大型且薄的基板进行保持的情况下也能对挠曲的产生进行抑制乃至防止。

[15]在本实施方式的基板装卸装置1000中，第二棒状部件是由气缸驱动的活塞。

因此，能通过气缸使第二棒状部件向夹紧件421施加合适的力。

[16]在本实施方式的基板装卸装置1000中，回旋装置1200具有：推入吸附缸体1213和真空装置1214，推入吸附缸体1213和真空装置1214用于将后板400保持于第二支承板1210a；回旋机构1240，回旋机构1240用于使第二支承板1210a回旋；以及直线运动机构1260，直线运动机构1260使第二支承板1210a相对于保持器台1100接近和离开。

在这种情况下，通过回旋机构1240和直线运动机构1260，能使第二支承板1210a进行回旋和直线运动，另外，通过推入吸附缸体1213、真空装置1214，能良好地保持进行回旋和直线运动中的后板400。

[17]在本实施方式的基板装卸装置1000中，推入吸附缸体1213具有吸盘1213a和开口部1213c，吸盘1213a按压于后板400，开口部1213c用于在吸盘1213a开口向后板400侧供给气体。

根据该推入吸附缸体1213，能进行后板400的按压和吸附这两者。

[18]在本实施方式的基板装卸装置1000中，回旋机构1240具有第一电动马达1242，第一电动马达1242用于使第二支承板1210a旋转。

通过第一电动马达1242能使第二支承板1210a正确旋转。

[19]在本实施方式的基板装卸装置1000中，直线运动机构1260具有第二电动马达1261和旋转直线运动转换机构(滚珠丝杠1264、螺母1265)，旋转直线运动转换机构将第二电动马达1261的动力转换到直线方向，第二电动马达1261具有电磁制动器1263。

在这种情况下，通过第二电动马达1261能使回旋装置1200正确地移动到所希望的位置，或者通过电磁制动器1263能对回旋装置1200的位置进行固定。

[20]在本实施方式的基板装卸装置1000中，回旋装置1200还具有水平定位装置1216、1217，水平定位装置1216、1217用于与后板400的侧面抵接，在第二支承板1210a的面内对后板400进行定位。

通过水平定位装置1216、1217，能在第二支承板1210a的面内对后板400正确地进行定位。由此，搬运机器人能正确地将基板安装到后板400。

[21]在本实施方式的基板装卸装置1000中，第二支承板1210a构成为矩形状且对多边形形状的后板400进行支承。

通过多边形形状的后板400，能对矩形等大型基板进行合适地保持。

[22]本实施方式的镀覆装置具备基板装卸装置1000以及镀覆处理部120B，基板装卸装置1000利用基板保持器1的前板及后板300、400对基板进行夹持来保持该基板，镀覆处理部120B接收基板装卸装置1000中保持有基板的基板保持器1且对基板实施镀覆处理。基板装卸装置1000具备保持器台1100以及回旋装置1200，保持器台1100以第一姿势对前板300进行支承，回旋装置1200能够相对于保持器台1100接近和离开地直行移动，可以第一姿势和第二姿势对后板400进行保持，该第二姿势与第一姿势大致正交，以第一姿势使后板400按压前板300而使前板300和后板400彼此固定。

根据该镀覆装置，作为基板装卸装置1000的作用效果，起到了与上述相同的作用效果。另外，由于使用合适地保持有基板的基板保持器1进行镀覆处理，因此提高了镀覆处理的可靠性。特别是，利用基板保持器1对薄型且大型的基板进行合适地保持，能良好地进行镀覆处理。

[23]本实施方式的控制器(控制装置)175控制利用基板保持器1的前板及后板300、400对基板进行夹持来保持该基板的基板装卸装置1000。控制器175执行包含下述步骤的处理：通过保持器台1100以第一姿势对前板300进行支承；通过回旋装置1200在以第二姿势对后板400进行支承的状态下使基板固定于后板400，再使后板400回旋到第一姿势，该第二姿势与第一姿势大致正交；使回旋装置1200朝保持器台1100直行；以及通过回旋装置1200将后板400按压于前板300而使前板300和后板400彼此固定。

根据该控制装置，作为基板装卸装置1000的作用效果，起到了与上述相同的作用效果。

[24]本实施方式所涉及的存储介质存储有用于使计算机执行基板装卸装置1000的控制方法的程序，该基板装卸装置1000利用基板保持器1的前板及后板300、400对基板进行夹持来保持该基板。程序使计算机执行下述步骤：通过保持器台1100以第一姿势对前板300进行支承；通过回旋装置1200在以第二姿势对后板400进行支承的状态下使基板固定于后板400，再使后板400回旋到第一姿势，该第二姿势与第一姿势大致正交；使回旋装置1200朝保持器台1100直行；以及通过回旋装置1200将后板400按压于前板300而使前板300和后板400彼此固定。

根据该存储介质，作为基板装卸装置1000的作用效果，起到了与上述相同的作用效果。

根据上述实施方式至少能把握以下的技术思想。

[1]本发明的一个实施方式所涉及的基板装卸装置，利用基板保持器的第一及第二保持部件对基板进行夹持来保持该基板，具备第一保持器保持装置以及第二保持器保持装置，该第一保持器保持装置以第一姿势对所述第一保持部件进行支承，该第二保持器保持装置能够相对于第一保持器保持装置接近和离开地直行移动，可以所述第一姿势和第二姿势对所述第二保持部件进行保持，该第二姿势与所述第一姿势大致正交，以所述第一姿势使所述第二保持部件按压所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。

根据该基板装卸装置，基板保持器1的第二保持部件以第二姿势接收了基板之后，第一及第二保持部件能以第一姿势彼此固定。例如，以水平姿势接收了基板之后，第一及第二保持部件以直立姿势彼此固定的话，能以直立姿势对装载了基板的基板保持器进行搬运。由此，能对基板的被处理面朝上进行搬运的情况下在基板表面产生伤痕和基板破损的问题进行抑制。此外，此处的水平姿势、直立姿势(垂直姿势)只要是在不会对基板装卸装置的动作造成障碍的范围之内，也可以有若干偏离，也可以称为大致水平姿势、大致直立姿势(大致垂直姿势)。

另外，由于第二保持器保持装置能够相对于第一保持器保持装置接近、离开地直行移动，第二保持器保持装置能在充分远离第一保持器保持装置的位置对第二保持部件进行回旋而改变姿势，能对装置的大型化进行防止，第一及第二保持部件之间的定位也变得容易。

[2][1]记载的基板装卸装置中，所述第一姿势是相对于所述基板装卸装置的设置面大致垂直的姿势。

在这种情况下，由于第二姿势是相对于设置面大致水平的姿势，以基板保持器的第二保持部件大致水平的状态接收基板，以大致垂直的姿势使第一及第二保持部件彼此固定，因此适用于如上所述的向基板保持器安装基板。

[3][1]或[2]记载的基板装卸装置中，还具备支承装置，该支承装置具有第一支承板和固定机构，该第一支承板用于在所述第二保持器保持装置的相反侧对所述第一保持部件进行支承，该固定机构用于将所述第一保持部件保持于所述第一支承板。

在这种情况下，由于在第二保持器保持装置的相反侧利用支承装置对第一保持部件进行支承和固定的状态下，第二保持器保持装置进行第二保持部件的装卸，因此第二保持部件按压于第一保持器保持装置的第一保持部件时，第二保持器保持装置能对第一保持部件的位置偏离进行防止。

[4][3]记载的基板装卸装置中，所述支承装置具有多根连杆，该多根连杆与所述第一支承板的支承了所述第一保持部件的一侧的相反侧的面连结，通过所述多根连杆的移动，所述第一支承板能进行移动。

通过多根连杆，第一支承板能以正确的姿势进行移动，另外，能对第一保持部件良好地进行支承。

[5][3]记载的基板装卸装置中，所述固定机构在与所述第一保持部件的面重叠的位置和与所述第一保持部件的面不重叠的位置之间具有可旋转的按压部件。

在将固定机构设于与第一保持部件的面不重叠的位置的状态下，第一支承板与第一保持部件抵接，之后将固定机构设于与第一保持部件的面重叠的位置，利用固定机构将第一保持部件固定于第一支承板的话，既能够避免与第一保持部件的干涉，又能够进行固定动作。

[6][3]记载的基板装卸装置中，所述第一保持部件具有臂部，所述第一保持器保持装置还具有臂接收部，该臂接收部对所述第一保持部件的臂部进行支承，所述第一保持部件悬架于所述臂接收部。

由于构成为由第一保持部件的臂部进行悬架，因此能简单地构成第一保持器保持装置。

[7][6]记载的基板装卸装置中，所述臂接收部具有定位销，该定位销能在用于与定位孔卡合的位置以及与所述定位孔不卡合的位置之间移动，该定位孔设于所述第一保持部件的所述臂部。

在这种情况下，根据定位销，能正确地决定基板保持器相对于第一保持部件的位置。

[8][6]记载的基板装卸装置中，所述臂接收部具有通电确认装置，该通电确认装置用于对经由所述第一保持部件的连接器的所述基板的电导通进行检查，所述通电确认装置对所述连接器的多个外部连接接点对的外部连接接点间的电阻值进行测定。

在这种情况下，由于通过通电确认装置，能对处理前的基板的电气特性、基板保持器的电气特性是否存在异常进行确认，因此能对使用存在异常的基板、基板保持器进行基板处理进行防止。另外，在多根缆线与连接器的共用的外部连接接点连接的情况下，通过对连接器的各外部连接接点对的外部连接接点之间的电阻值进行测定，能确认各外部连接接点对的电阻值之间是否有偏差，进行通电确认处理。其结果是，能提高镀覆处理的可靠性。

[9][3]至[8]中的任意一项记载的基板装卸装置中，所述第一支承板构成为矩形状且对多边形形状的所述第一保持部件进行支承。通过多边形形状的第一保持部件，能对矩形等大型基板进行合适地保持。

[10][1]至[9]中的任意一项记载的基板装卸装置中，所述第二保持器保持装置具有第一促动器，该第一促动器用于使设于支承在所述第一保持器保持装置的所述第一保持部件的夹紧件动作，使所述第二保持部件保持于所述第一保持部件。

在这种情况下，通过第二保持器保持装置的第一促动器，能使第一保持部件的夹紧件动作，通过第一保持部件的夹紧件能容易地进行第二保持部件的固定。另外，由于在第一保持部件设有夹紧件，能容易地构成从第一保持器保持装置分离及移动的第二保持部件。

[11][10]记载的基板装卸装置中，所述第一促动器具有第一棒状部件，该第一棒状部件在与第一支承板垂直的方向上移动，通过该第一棒状部件对与所述夹紧件连结的杆按压，所述第一保持部件的所述夹紧件绕与所述第一支承板平行的轴旋转。

在这种情况下，由于夹紧件绕与第一支承板平行(即与基板平行)的轴旋转，因此能对向基板施加基板面方向的力进行抑制，能对基板的挠曲、形变等进行抑制。因此，在对大型且薄的基板进行保持的情况下也能对挠曲的产生进行抑制乃至防止。

[12][11]记载的基板装卸装置中，所述第一棒状部件是由气缸驱动的活塞。

因此，能通过气缸以合适的力使第一棒状部件按压杆。

[13][1]至[12]中的任意一项记载的基板装卸装置中，第二保持器保持装置具有第二支承板和第二促动器，该第二支承板用于对所述第二保持部件进行支承，该第二促动器设于第二支承板，所述第二促动器使设于所述第二保持部件的夹紧件动作，使所述基板保持于夹紧件。

在这种情况下，由于第二保持部件接收基板时，利用夹紧件将基板固定于第二支承板，因此之后即便是在对第二保持部件的姿势进行变更的情况下，也能可靠地对基板进行保持。

[14][13]记载的基板装卸装置中，所述第二促动器具有第二棒状部件，该第二棒状部件在与所述第二支承板垂直的方向上移动，通过该第二棒状部件使所述第二保持部件的夹紧件绕与所述第二支承板平行的轴旋转。

在这种情况下，由于夹紧件绕与第二支承板平行(即与基板平行)的轴旋转，因此能对向基板施加基板面方向的力进行抑制，能对基板的挠曲、形变等进行抑制。因此，在对大型且薄的基板进行保持的情况下也能对挠曲的产生进行抑制乃至防止。而且，由于夹紧件在与基板垂直的方向上移动，因此也能对应薄基板的翘曲和基板的厚度的差异。

[15][14]记载的基板装卸装置中，所述第二棒状部件是由气缸驱动的活塞。在这种情况下，能通过气缸从第二棒状部件向夹紧件施加合适的力。

[16][1]至[15]中的任意一项记载的基板装卸装置中，第二保持器保持装置具有：吸附装置，该吸附装置用于将所述第二保持部件保持于所述第二支承板；回旋机构，该回旋机构用于使所述第二支承板回旋；以及直线运动机构，该直线运动机构使所述第二支承板相对于第一保持部件接近和离开。

通过回旋机构和直线运动机构，能使第二支承板进行回旋和直线运动，另外，通过吸附装置，能使进行回旋和直线运动中的第二支承板保持良好。

[17][16]记载的基板装卸装置中，所述吸附装置具有推入吸附缸体，所述推入吸附缸体具有吸盘和开口部，该吸盘按压于所述第二保持部件，该开口部在所述吸盘开口并用于向所述第二保持部件侧供给气体。

根据推入吸附缸体，能进行第二保持部件的按压和吸附这两者。

[18][16]或[17]记载的基板装卸装置中，所述回旋机构具有第一电动马达，该第一电动马达用于使所述第二支承板旋转。

通过第一电动马达能使第二支承板正确旋转。

[19][16]至[18]中的任意一项记载的基板装卸装置中，所述直线运动机构具有第二电动马达和旋转直线运动转换机构，该旋转直线运动转换机构将第二电动马达的动力转换到直线方向，所述第二电动马达具有电磁制动器。在这种情况下，通过第二电动马达能使第二保持器保持装置正确地移动到所希望的位置，或者通过电磁制动器能对第二保持器保持装置的位置进行固定。

[20][16]至[19]中的任意一项记载的基板装卸装置中，第二保持器保持装置还具有水平定位装置，该水平定位装置用于与所述第二保持部件的侧面抵接，在所述第二支承板的面内对所述第二保持部件进行定位。

通过水平定位装置，能在第二支承板的面内对第二保持部件正确地进行定位。由此，搬运机器人能正确地将基板安装到第二保持部件。

[21][16]至[20]中的任意一项记载的基板装卸装置中，所述第二支承板构成为矩形状且对多边形形状的所述第二保持部件进行支承。

通过多边形形状的第二保持部件，能对矩形等大型基板进行合适地保持。

[22]本发明的一个实施方式所涉及的镀覆装置具备基板装卸装置以及镀覆处理部，该基板装卸装置利用基板保持器的第一及第二保持部件对基板进行夹持来保持该基板，该镀覆处理部接收所述基板装卸装置中保持有所述基板的所述基板保持器且对所述基板实施镀覆处理，所述基板装卸装置具备第一保持器保持装置以及第二保持器保持装置，该第一保持器保持装置以第一姿势对所述第一保持部件进行支承，该第二保持器保持装置能够相对于第一保持器保持装置接近和离开地直行移动，能够以所述第一姿势和第二姿势对所述第二保持部件进行保持，该第二姿势与所述第一姿势大致正交，以所述第一姿势将所述第二保持部件按压于所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。

根据该镀覆装置，起到了与上述[1]相同的作用效果。另外，由于使用合适地保持有基板的基板保持器进行镀覆处理，因此提高了镀覆处理的可靠性。特别是，利用基板保持器对薄型且大型的基板进行合适地保持，能良好地进行镀覆处理。

[23]本发明的一个实施方式所涉及的控制装置是基板装卸装置的控制装置，该基板装卸装置利用基板保持器的第一及第二保持部件对基板进行夹持来保持该基板，该控制装置执行包含下述步骤的处理：通过第一保持器保持装置以第一姿势对所述第一保持部件进行支承；通过第二保持器保持装置在以第二姿势对所述第二保持部件进行支承的状态下使所述基板固定于所述第二保持部件，再使所述第二保持部件回旋到所述第一姿势，该第二姿势与所述第一姿势大致正交；使第二保持器保持装置朝所述第一保持器保持装置直行；以及通过第二保持器保持装置将所述第二保持部件按压于所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。

根据该控制装置，起到了与上述[1]相同的作用效果。

[24]本发明的一个实施方式所涉及的存储介质存储有用于使计算机执行基板装卸装置的控制方法的程序，该基板装卸装置利用基板保持器的第一及第二保持部件对基板进行夹持来保持该基板，该存储介质存储有用于使计算机执行下述步骤的程序：第一保持器保持装置以第一姿势对所述第一保持部件进行支承；第二保持器保持装置在以第二姿势对所述第二保持部件进行支承的状态下使所述基板固定于所述第二保持部件，再使所述第二保持部件回旋到所述第一姿势，该第二姿势与所述第一姿势大致正交；使第二保持器保持装置朝所述第一保持器保持装置直行；以及通过第二保持器保持装置将所述第二保持部件按压于所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。

根据该存储介质，起到了与上述[1]相同的作用效果。

尽管以上基于几个例子对本发明的实施方式进行了说明，但是上述发明的实施方式是为了使本发明容易理解，而不是对本发明进行限定。能够不脱离本发明的主旨地进行变更、改良，并且，其等同方式当然也包含于本发明之内。例如，大型基板的形状不限于矩形，也可以是正方形，也可以是除此之外的多边形形状，例如五边形、六边形。另外，本发明当然也适用于在基板保持器上装卸圆形的基板的基板装卸装置。另外，在能解决上述问题的至少一部分的范围或者起到了效果的至少一部分的范围内，可以对发明要保护的技术方案和说明书所记载的各结构要素进行任意地组合或者省略。

本申请主张基于2016年12月22日申请的日本专利申请号2016-249631号的优先权。含有2016年12月22日申请的日本专利申请号2016-249631号的说明书、权利要求书、附图和摘要的全部的公开内容作为参照而整体编入本申请。

含有日本特开2016-117919号公报(专利文献1)、日本专利第4179707号公报(专利文献2)、日本特开2009-270167号公报(专利文献3)、日本特开2016-127069号公报(专利文献4)的说明书、权利要求书、附图和摘要的全部的公开内容通过参照而整体编入于本申请。