电镀装置以及半导体处理设备的制作方法

本公开内容涉及半导体制造领域，并且更具体而言涉及一种用于排出气体的装置以及一种包括该用于排出气体的装置的清洗设备。

背景技术：

1、现有的太阳能电池片采用印刷银浆技术，而银浆占据生产太阳能电池片总成本的25％以上，显然采用价格低廉的金属替代部分甚至全部银浆在降低晶体硅太阳能电池片的生产成本上具有显著的意义。

2、采用金属铜来替换昂贵银浆的是个好方法。但是在高温下，铜离子很容易被扩散到晶体硅内，从而造成晶体硅少子寿命降低，即降低晶体硅太阳能电池片的光电转换效率。因此，业内期望能够在低温条件下把金属铜沉积到晶体硅太阳能电池上，生成晶体硅太阳能电池片的电极。

3、采用的化学沉积金属的方法是电镀工艺。相对于物理沉积金属的工艺，电镀工艺不仅具有工艺简单的特点，而且还具有可以选择性沉积金属的优点。因为电镀工艺的生产成本可以被控制得很低，所以可以大幅度地降低生产晶体硅太阳能电池的成本。因此，使用电镀工艺在晶体硅太阳能电池片上沉积金属是目前相当活跃的一个技术研发领域。

4、然而，在电镀时存在如下问题：在实际电镀时，电镀过程中铜离子会集聚在导电刷上，清洗困难，也影响了铜电镀质量。再者，导电刷也会导致电镀不均匀，进而影响所生产的晶体硅太阳能电池片的良率。

技术实现思路

1、本公开内容的目的旨在解决现有技术中存在的上述问题和缺陷中的至少一方面，即至少能够防止导电刷上的铜的集聚，能够提高晶体硅太阳能电池片的良率。针对该技术问题，本公开内容的技术方案提出使用液体电极来取代导电刷，从而能够解决上述的导电刷上的铜的集聚的问题，进而提高晶体硅太阳能电池片的良率。

2、具体而言，本公开内容提出了一种电镀装置，所述电镀装置包括：

3、槽体，所述槽体包括电镀槽和导电槽，其中，所述电镀槽被构造用于容纳与阳极组件电连接的电镀液并且所述导电槽被构造用于容纳与阴极组件电连接的导电液；

4、滚轮，所述滚轮被设置在所述电镀槽中并且被构造用于为待电镀对象提供传输动力，其中，所述滚轮的下端与所述电镀液接触并且所述滚轮的上端用于支撑所述待电镀对象；

5、阴极喷射组件，所述阴极喷射组件被设置在所述导电槽之中并且被构造为与所述待电镀对象间隔开设置；以及

6、喷射泵，所述与所述导电液连通并且被构造用于驱动所述导电液经由所述阴极喷射组件喷射到所述待电镀对象上。

7、在依据本公开内容所提出的电镀装置之中，采用被设置在所述导电槽之中并且被构造为与所述待电镀对象间隔开设置的阴极喷射组件取代采用导电刷的传统的阴极电极，在使用时其既可以实施电镀工艺，也可以防止作为阴极的电极上的铜的集聚，从而能够提高晶体硅太阳能电池片的良率，为晶体硅太阳能电池片的技术进步作出贡献。

8、在依据本公开内容的一个实施例之中，所述滚轮的数量为至少两个，所述至少两个滚轮被设置在所述电镀槽之中并且所述至少两个滚轮的上表面的顶点处于一个水平面之中。以这样的方式能够平稳地对待处理或者待电镀的晶体硅太阳能电池片进行传输，以便在传输过程中对晶体硅太阳能电池片进行电镀。

9、在依据本公开内容的一个实施例之中，所述电镀装置还包括电源，所述电源的正极与所述阳极组件电连接并且所述电源的负极与所述阴极组件电连接。以这样的方式能够通过对依据本公开内容的电镀装置配置相应的电源来使得依据本公开内容的电镀装置配置的工作可靠性得以提高。

10、在依据本公开内容的一个实施例之中，所述槽体还包括第二电镀槽，所述第二电镀槽和所述电镀槽被设置在所述导电槽的两侧。第二电镀槽被构造用于与电源的阳极相连接，以形成电镀时的阳极，两个阳极配合中间的阴极喷射组件所形成的阴极，能够显著地提高电镀效率。

11、在依据本公开内容的一个实施例之中，所述滚轮的数量为至少四个，所述至少四个滚轮被分别设置在所述电镀槽和所述第二电镀槽之中并且所述至少四个滚轮的上表面的顶点处于一个水平面之中。以这样的方式能够平稳地对待处理或者待电镀的晶体硅太阳能电池片进行传输，以便在传输过程中对晶体硅太阳能电池片进行电镀。

12、在依据本公开内容的一个实施例之中，所述阴极喷射组件被构造为包括一列喷嘴，所述一列喷嘴的排布方向和所述滚轮的纵向方向大体上平行。以这样的方式能够在需要电镀的晶体硅太阳能电池片经过时均匀地对其进行电镀，提高电镀的效率并且使得电镀效果更加优良。

13、在依据本公开内容的一个实施例之中，所述阴极喷射组件被构造为包括一条缝隙，所述缝隙的延伸方向和所述滚轮的纵向方向大体上平行。以这样的方式能够在需要电镀的晶体硅太阳能电池片经过时均匀地对其进行电镀，提高电镀的效率并且使得电镀效果更加优良。

14、在依据本公开内容的一个实施例之中，所述电镀装置还包括流量计，所述流量计被配置用于控制所述喷射泵所喷射出的导电液的流量。以这样的方式能够实时得知喷射泵所喷射出的导电液的流量，从而能够预防导电液不充分从而影响电镀效果，从另一方面说在此设置流量计也能够提高电镀的效果和效率。

15、在依据本公开内容的一个实施例之中，所述电镀装置还包括压力计，所述压力计被配置用于控制所述喷射泵所喷射出的导电液的压强。以这样的方式能够实时得知喷射泵所喷射出的导电液的压强，从而能够预防导电液不充分从而影响电镀效果，从另一方面说在此设置流量计也能够提高电镀的效果和效率。

16、此外，本公开内容的第二方面提供了一种半导体处理设备，所述半导体处理设备包括根据本公开内容的第一方面所提出的电镀装置。

17、综上所述，在依据本公开内容所提出的电镀装置之中，采用被设置在所述导电槽之中并且被构造为与所述待电镀对象间隔开设置的阴极喷射组件取代采用导电刷的传统的阴极电极，在使用时其既可以实施电镀工艺，也可以防止作为阴极的电极上的铜的集聚，从而能够提高晶体硅太阳能电池片的良率，为晶体硅太阳能电池片的技术进步作出贡献。

技术特征：

1.一种电镀装置，其特征在于，所述电镀装置包括：

2.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述滚轮的数量为至少两个，所述至少两个滚轮被设置在所述电镀槽之中并且所述至少两个滚轮的上表面的顶点处于一个水平面之中。

3.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述电镀装置还包括电源，所述电源的正极与所述阳极组件电连接并且所述电源的负极与所述阴极组件电连接。

4.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述槽体还包括第二电镀槽，所述第二电镀槽和所述电镀槽被设置在所述导电槽的两侧。

5.根据权利要求4所述的电镀装置，其特征在于，所述滚轮的数量为至少四个，所述至少四个滚轮被分别设置在所述电镀槽和所述第二电镀槽之中并且所述至少四个滚轮的上表面的顶点处于一个水平面之中。

6.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述阴极喷射组件被构造为包括一列喷嘴，所述一列喷嘴的排布方向和所述滚轮的纵向方向大体上平行。

7.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述阴极喷射组件被构造为包括一条缝隙，所述缝隙的延伸方向和所述滚轮的纵向方向大体上平行。

8.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述电镀装置还包括流量计，所述流量计被配置用于控制所述喷射泵所喷射出的导电液的流量。

9.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述电镀装置还包括压力计，所述压力计被配置用于控制所述喷射泵所喷射出的导电液的压强。

10.一种半导体处理设备，其特征在于，所述半导体处理设备包括根据权利要求1至9中任一项所述的电镀装置。

技术总结
本公开内容涉及电镀装置和半导体处理设备，其中，所述电镀装置包括：槽体，所述槽体包括电镀槽和导电槽，其中，所述电镀槽被构造用于容纳与阳极组件电连接的电镀液并且所述导电槽被构造用于容纳与阴极组件电连接的导电液；滚轮，所述滚轮被设置在所述电镀槽中并且被构造用于为待电镀对象提供传输动力，其中，所述滚轮的下端与所述电镀液接触并且所述滚轮的上端用于支撑所述待电镀对象；阴极喷射组件，所述阴极喷射组件被设置在所述导电槽之中并且被构造为与所述待电镀对象间隔开设置；以及喷射泵，所述与所述导电液连通并且被构造用于驱动所述导电液经由所述阴极喷射组件喷射到所述待电镀对象上。

技术研发人员：付金海,高志峰,周景辉,黄允文,刘二壮
受保护的技术使用者：上海普达特设备科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15