电镀挂具及电镀装置的制作方法

本技术涉及电镀，尤其涉及电镀挂具及电镀装置。

背景技术：

1、电镀是利用电解原理在金属表面上镀上一薄层其它金属或合金的加工工艺，是晶圆加工、pcb板加工中的必要工序。随着pcb、光伏行业的飞速发展，电镀装置的工装夹具成为受镀件产品加工质量的重要保证。电镀装置的工装夹具需要具有夹持功能和导电功能，现有的电镀装置的工装夹具一般采用顶部装夹或者单边装夹，通过多个夹持点对受镀件进行定位。夹持点在夹持受镀件的同时，还实现导电。

2、但是，这种顶部装夹或者单边装夹的结构容易出现受镀件褶皱现象，而且，由于夹持点兼具夹持和导电功能，容易因夹持力过大将受镀件夹碎，特别是对于玻璃、硅片等易碎载体而言；如果夹持力过小，则容易出现导电不良，影响电镀质量，进而影响产品加工合格率，增加加工损耗。

技术实现思路

1、本实用新型的一个目的在于提供电镀挂具，通过导电组件和夹持组件分别实现导电功能和夹持功能，弹性导电夹保证导电良好，避免将受镀件夹碎，降低加工损耗，多边夹持导电以保证受镀件平整无褶皱，提升加工合格率。

2、为达此目的，本实用新型一方面采用以下技术方案：

3、提供电镀挂具，包括：

4、固定框组件，所述固定框组件包括固定导电机构；

5、活动框组件，所述活动框组件可活动地连接于所述固定框组件，且所述活动框组件和所述固定框组件之间具有夹持空间，所述夹持空间用于容置受镀件，所述活动框组件包括活动导电机构；

6、导电组件，所述导电组件包括设置于所述夹持空间内的多个弹性导电夹，多个所述弹性导电夹间隔设置于所述固定框组件的顶部和两个侧边以及所述活动框组件的顶部和两个侧边，所述弹性导电夹包括第一弹性夹体和第二弹性夹体，所述第一弹性夹体电连接所述固定导电机构，所述第二弹性夹体电连接所述活动导电机构，所述第一弹性夹体和所述第二弹性夹体始终弹性抵接所述受镀件的两侧；

7、夹持组件，所述夹持组件包括设置于所述夹持空间内的多个活动夹，多个所述活动夹间隔设置于所述固定框组件的顶部和两个侧边以及所述活动框组件的顶部和两个侧边，所述活动夹包括连接于所述固定框组件的第一夹持体和连接于所述活动框组件的第二夹持体，所述活动夹用于夹持所述受镀件，且所述第一夹持体和所述第二夹持体分别抵压所述受镀件的两侧。

8、作为本实用新型的一种优选结构，所述活动框组件还包括弹性推动机构，所述弹性推动机构包括导向柱和压缩弹簧，所述导向柱的一端固定连接所述活动框组件，另一端可活动地穿过所述固定框组件，所述压缩弹簧套装于所述导向柱上，所述压缩弹簧始终具有使所述活动框组件朝向所述固定框组件运动的趋势，以使所述弹性导电夹和所述活动夹夹持所述受镀件。

9、作为本实用新型的一种优选结构，所述固定框组件还包括顶部排夹机构和连接于所述顶部排夹机构两侧的两个侧边排夹机构；

10、所述固定导电机构包括顶部固定导电板和两个侧边固定导电板，所述顶部固定导电板可拆卸连接于所述顶部排夹机构，两个所述侧边固定导电板分别可拆卸连接于两个所述侧边排夹机构。

11、作为本实用新型的一种优选结构，所述活动框组件还包括顶部活动夹机构和连接于所述顶部活动夹机构两侧的两个侧边活动夹机构；

12、所述活动导电机构包括顶部活动导电板和两个侧边活动导电板，所述顶部活动导电板可拆卸连接于所述顶部活动夹机构，两个所述侧边活动导电板分别可拆卸连接于两个所述侧边活动夹机构。

13、作为本实用新型的一种优选结构，所述顶部排夹机构包括相互可拆卸连接的第一夹板和第一盖板，所述第一夹板上开设有第一导电槽，所述顶部固定导电板容置于所述第一导电槽内，所述第一盖板能够封闭所述第一导电槽；

14、所述侧边排夹机构包括相互可拆卸连接的第二夹板和第二盖板，所述第二夹板上开设有第二导电槽，所述侧边固定导电板容置于所述第二导电槽内，所述第二盖板能够封闭所述第二导电槽。

15、作为本实用新型的一种优选结构，所述顶部活动夹机构包括相互可拆卸连接的第三夹板和第三盖板，所述第三夹板上开设有第三导电槽，所述顶部活动导电板容置于所述第三导电槽内，所述第三盖板能够封闭所述第三导电槽；

16、所述侧边活动夹机构包括相互可拆卸连接的第四夹板和第四盖板，所述第四夹板上开设有第四导电槽，所述侧边活动导电板容置于所述第四导电槽内，所述第四盖板能够封闭所述第四导电槽。

17、作为本实用新型的一种优选结构，所述导电组件还包括顶部支撑导电板，所述顶部支撑导电板可拆卸连接于所述顶部排夹机构，且电连接所述侧边固定导电板；和/或，

18、所述固定框组件还包括支撑边框，所述支撑边框的两端分别连接两个所述侧边排夹机构上远离所述顶部排夹机构的一端。

19、作为本实用新型的一种优选结构，所述顶部固定导电板和/或所述侧边固定导电板和/或所述顶部活动导电板和/或所述侧边活动导电板的顶部导电端子均朝上延伸；和/或，

20、多个所述弹性导电夹和多个所述活动夹间隔设置；和/或，

21、所述第一夹持体和/或所述第二夹持体的材料为弹性材料。

22、作为本实用新型的一种优选结构，所述第一弹性夹体包括两个间隔设置的第一弹片，所述第二弹性夹体包括两个间隔设置的第二弹片，所述第一弹片和所述第二弹片相对设置。

23、本实用新型的另一个目的在于提供电镀装置，包括上述的电镀挂具，能够提升受镀件的电镀质量，提升加工合格率。

24、为达此目的，本实用新型另一方面采用以下技术方案：

25、提供电镀装置，包括上述的电镀挂具，所述电镀装置还包括电镀槽，所述电镀槽用于容置电镀液，所述电镀挂具能够部分没入所述电镀液。

26、本实用新型的有益效果：

27、本实用新型所提供的电镀挂具，导电组件包括设置于夹持空间内的多个弹性导电夹，多个弹性导电夹间隔设置于固定框组件的顶部和两个侧边，以及活动框组件的顶部和两个侧边，实现三边导通。弹性导电夹包括第一弹性夹体和第二弹性夹体，第一弹性夹体电连接固定导电机构，第二弹性夹体电连接活动导电机构，第一弹性夹体和第二弹性夹体始终弹性抵接受镀件的两侧，一方面，能够精确地和受镀件贴合过电，保证导通良好；另一方面，避免对受镀件施加较大的夹持力，避免将受镀件夹碎，降低加工损耗。夹持组件包括设置于夹持空间内的多个活动夹，多个活动夹间隔设置于固定框组件的顶部和两个侧边以及活动框组件的顶部和两个侧边，这种多边夹持和多边导电的结构能够使受镀件受力均匀、导电均匀，保证受镀件平整无皱褶，大大提升电镀质量。活动夹包括连接于固定框组件的第一夹持体和连接于活动框组件的第二夹持体，活动夹用于夹持受镀件，且第一夹持体和第二夹持体分别抵压受镀件的两侧，便于实现对受镀件的装夹，拆装方便。而且，导电组件和夹持组件分开设置的结构，避免夹持组件为保证导电效果而向受镀件施加过大夹持力，而且，可以根据使用需要分别增减弹性导电夹或者活动夹的个数，以提升夹持可靠性和导电均匀性。

28、本实用新型所提供的电镀装置，包括上述的电镀挂具，电镀挂具通过夹持组件实现对受镀件的多边夹持，避免受镀件褶皱；导电组件实现对受镀件的多边导电，保证导电均匀性，且弹性导电的结构避免将受镀件夹碎，降低加工损耗，提升电镀质量。