电镀载具及设备的制作方法

文档序号:37460645发布日期:2024-03-28 18:43阅读:9来源:国知局
电镀载具及设备的制作方法

本申请涉及电镀设备,特别涉及一种电镀载具及设备。


背景技术:

1、水平电镀技术是垂直电镀技术发展的延续,具有相同的方法和原理。水平电镀设备通常采用对辊组件输送待电镀件,并且在输送待电镀件的过程中,利用喷淋机构将电镀液直接淋至待电镀件的表面,以对其进行电镀。

2、由于待电镀件本身具有边缘效应(即在电镀时,电力线容易在待电镀件的尖角、边缘上集中,以至于待电镀件的尖角、边缘上电流密度比较大,从而导致尖角、边缘的镀层厚度大于平均厚度)等特性,该传输方式在实际使用中容易导致待电镀件的镀层厚度不均匀。

3、因此,亟需设计一种电镀载具及设备,解决以上的技术问题。


技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种电镀载具及设备,通过电镀载具的挡板,遮盖待电镀件的边缘部分,以使得待电镀件的电力线分布均匀,从而提高镀层厚度的均匀性。

2、为实现上述目的,本申请提供一种电镀载具,至少包括承载座和挡板,所述承载座具有承载通道,所述承载通道供待电镀件和至少一个所述挡板放置;其中,所述挡板包括盖板和均流板,所述均流板上开设有多个导流孔,当所述待电镀件和所述挡板均放置于所述承载通道内时,所述盖板遮盖所述待电镀件对应面的边缘部分,所述均流板遮盖所述待电镀件对应面的其余部分,以使得所述待电镀件的被遮盖面通过所述导流孔与外部连通。

3、作为上述技术方案的进一步改进:所述承载通道内开设有第一槽体和第二槽体,所述第一槽体的正投影面积大于所述第二槽体的正投影面积,以使得所述承载通道内部呈阶梯状;当所述挡板和所述待电镀件分别放置于所述第一槽体和所述第二槽体内时,所述挡板将所述待电镀件的对应面遮盖。

4、作为上述技术方案的进一步改进:所述第二槽体内设置有多个支撑块,多个所述支撑块共同组成容纳区域,以供所述待电镀件放置;当所述第一槽体和所述第二槽体内均放置有所述挡板,并且所述待电镀件放置于所述容纳区域内时,两个所述挡板分别遮盖所述待电镀件的上下两面。

5、作为上述技术方案的进一步改进:放置于所述第二槽体内的所述挡板边缘上开设有供所述支撑块穿过的避让槽,所述避让槽与所述支撑块的数量及尺寸均相匹配。

6、作为上述技术方案的进一步改进:所述容纳区域与所述第一槽体和第二槽体的底部之间均具有预设间距,以供电镀液流动。

7、作为上述技术方案的进一步改进:所述承载座上开设有布线槽,所述布线槽与所述第二槽体连通,以供连接所述待电镀件的导电线穿出。

8、作为上述技术方案的进一步改进:所述布线槽上设置有滤水孔。

9、为实现上述目的,本申请另一方面还提供一种电镀设备,使用如上所述的电镀载具,至少包括:电镀槽,填充有电镀液;传输机构,设置于所述电镀槽内,被配置为带动电镀载具移动;喷淋机构,设置于所述电镀槽内,被配置为向所述电镀载具喷淋电镀液;导电机构,可移动设置于所述电镀槽上,与所述电镀载具电连接,并且跟随所述电镀载具移动;液体循环机构,与所述电镀槽连接,被配置为驱动电镀液循环流动,形成液体环路;其中,所述液体循环机构与所述喷淋机构连接,电镀液经循环后阳离子浓度增大,以使得喷淋至所述待电镀件上的所述电镀液具有高浓度阳离子,所述电镀液经所述电镀载具流向所述待电镀件。

10、作为上述技术方案的进一步改进:还包括电源,所述电源用于给所述电镀设备提供能量来源,所述喷淋机构和所述导电机构分别与所述电源的正负极电连接。

11、作为上述技术方案的进一步改进:所述喷淋机构至少包括供液管道及多个阳极单元;其中,所述阳极单元具有出液通道,所述出液通道一端与所述供液管道连通,另一端朝向所述传输机构设置。

12、作为上述技术方案的进一步改进:所述液体循环机构至少包括储液池、循环泵和循环管道,所述电镀槽、储液池和循环泵之间通过多个循环管道依次连通,并且形成循环液体环路。

13、作为上述技术方案的进一步改进:所述传输机构至少包括多个间隔设置的导向辊,多个所述阳极单元均沿所述传输机构的传输方向布设,所述阳极单元位于两个所述导向辊的间隔内。

14、作为上述技术方案的进一步改进:所述传输机构还包括导向滚轮,所述导向滚轮设置于导向辊上,当所述传输机构处于工作状态时,所述电镀载具放置于所述导向滚轮上。

15、作为上述技术方案的进一步改进:所述导电机构至少包括导电轨道、导电夹爪、导电体及导电块;所述导电夹爪用于夹持所述导电线,所述导电轨道与所述导电夹爪滑动连接;所述导电体设置于所述导电轨道内,所述电源阴极与所述导电体电连接;所述导电块设置于所述导电夹爪上,并且与所述导电体接触;当所述电镀载具带动所述导电夹爪沿所述导电轨道移动时,所述导电块将其与所述导电体接触获取到的电能传输至所述待电镀件。

16、由此可见,本申请提供的一种电镀载具,通过将电镀载具的挡板遮盖待电镀件的边缘区域,使得电镀液需先经均流板的导流孔流向待电镀面的中心部分,再经中心部分向边缘部分扩散,以至于电力线运动至待电镀件边缘位置的路程大于电力线运动至待电镀件中心位置的路程。如此,可以使得电力线在待电镀面上的分布均匀,以此降低待电镀件边缘效应带来的镀层不均匀的影响;

17、本申请还提供了一种使用电镀载具的电镀设备,利用电镀载具避免待电镀件与传输机构的直接接触,以降低待电镀件破碎的可能性,同时还在喷淋机构中增设隔板,进一步提高镀层厚度的均匀性,另外,电镀设备具有液体循环机构,能够使得喷淋至待电镀件上的电镀液中的阳离子含量高于电镀槽内电镀液中的阳离子含量;

18、电镀设备包括电镀载具的全部技术方案,因此也具备电镀载具的全部技术优点。



技术特征:

1.一种电镀载具,其特征在于,至少包括承载座和挡板,所述承载座具有承载通道,所述承载通道供待电镀件和至少一个所述挡板放置;

2.根据权利要求1所述的电镀载具,其特征在于,所述承载通道内开设有第一槽体和第二槽体,所述第一槽体的正投影面积大于所述第二槽体的正投影面积,以使得所述承载通道内部呈阶梯状;

3.根据权利要求2所述的电镀载具,其特征在于,所述第二槽体内设置有多个支撑块,多个所述支撑块共同组成容纳区域,以供所述待电镀件放置;

4.根据权利要求3所述的电镀载具,其特征在于,放置于所述第二槽体内的所述挡板边缘上开设有供所述支撑块穿过的避让槽,所述避让槽与所述支撑块的数量及尺寸均相匹配。

5.根据权利要求4所述的电镀载具,其特征在于,所述容纳区域与所述第一槽体和第二槽体的底部之间均具有预设间距,以供电镀液流动。

6.根据权利要求2-5任意一项所述的电镀载具,其特征在于,所述承载座上开设有布线槽,所述布线槽与所述第二槽体连通,以供连接所述待电镀件的导电线穿出。

7.根据权利要求6所述的电镀载具,其特征在于,所述布线槽上设置有滤水孔。

8.一种电镀设备,使用如权利要求1至7中任一权利要求所述的电镀载具,其特征在于,至少包括:

9.根据权利要求8所述的电镀设备,其特征在于,还包括电源,所述电源用于给所述电镀设备提供能量来源,所述喷淋机构和所述导电机构分别与所述电源的正负极电连接。

10.根据权利要求9所述的电镀设备,其特征在于,所述喷淋机构至少包括供液管道及多个阳极单元;

11.根据权利要求10所述的电镀设备,其特征在于,所述液体循环机构至少包括储液池、循环泵和循环管道,所述电镀槽、储液池和循环泵之间通过多个循环管道依次连通,并且形成循环液体环路。

12.根据权利要求11所述的电镀设备,其特征在于,所述传输机构至少包括多个间隔设置的导向辊,多个所述阳极单元均沿所述传输机构的传输方向布设,所述阳极单元位于两个所述导向辊的间隔内。

13.根据权利要求12所述的电镀设备,其特征在于,所述传输机构还包括导向滚轮,所述导向滚轮设置于导向辊上,当所述传输机构处于工作状态时,所述电镀载具放置于所述导向滚轮上。

14.根据权利要求13所述的电镀设备,其特征在于,所述导电机构至少包括导电轨道、导电夹爪、导电体及导电块;


技术总结
本申请公开了一种电镀载具及设备。该电镀载具至少包括承载座和挡板,承载座具有承载通道,承载通道供待电镀件和至少一个挡板放置;其中,挡板包括盖板和均流板,均流板上开设有多个导流孔,当待电镀件和挡板均放置于承载通道内时,盖板遮盖待电镀件对应面的边缘部分,均流板遮盖待电镀件对应面的其余部分,以使得待电镀件的被遮盖面通过导流孔与外部连通。本申请可以通过电镀载具的挡板,遮盖待电镀件的边缘部分,以使得待电镀件的电力线分布均匀,从而提高镀层厚度的均匀性。

技术研发人员:请求不公布姓名,黄勇,请求不公布姓名
受保护的技术使用者:苏州太阳井新能源有限公司
技术研发日:20230829
技术公布日:2024/3/27
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