电镀装置的制作方法

本技术有关于基板电镀装置，尤其是一种其阴极吊框具有遮蔽组件的电镀装置，阴极吊框用于悬吊待电镀基板，遮蔽组件则能够遮蔽待电镀基板的边缘。

背景技术：

1、常见的基板电镀装置包含龙门式电镀装置及垂直连续电镀线式电镀装置，龙门式电镀装置以吊架将待电镀的基板浸入电镀液中静置进行电镀，垂直连续电镀线则是将基板以吊架输送通过电镀液进行电镀。

2、如图1所示，本申请涉及到垂直连续电镀线式电镀装置。垂直连续电镀线式电镀装置包含一电镀槽20，电镀槽20中盛装有电镀液21。电镀槽中20设置有平行间隔配置的多列电极板31，电极板31浸没在电镀液21中。一般而言，在电镀的过程中，多个基板10分别悬吊于多个阴极吊架40并被浸没在电镀液21中，多个阴极吊架40呈一列排列且依序输送通过至少其中一列电极板31的一侧。当基板10通过电极板时，将电镀液21中游离的金属离子附着至基板10。在基板10的边缘处，金属离子容易大量堆积而造成电镀不均。

3、有鉴于此，本发明人针对上述现有技术，特潜心研究并配合科学原理的运用，尽力解决上述问题，即成为本发明人改良的目标。

技术实现思路

1、本实用新型提供了一种其阴极吊框具有遮蔽组件的电镀装置。

2、本实用新型提供了一种电镀装置，其包含：

3、一阴极吊框，具有一窗口以及相对配置的两个侧面，该阴极吊框包含多个框条，且该框条相连接而围设形成该窗口；

4、多个导电夹器，设置在该框条的至少其中之一上，且该导电夹器朝向该窗口内配置；及

5、一遮蔽组件，设置在该框条的其中之一上，且该遮蔽组件包含枢设配置的一活动挡片，该活动挡片配置在该阴极吊框的其中一个该侧面上且遮蔽该窗口的边缘。

6、在本实用新型的一实施例中，多个该导电夹器分别设置在多个该框条之中相对配置的其中两个上。

7、在本实用新型的一实施例中，多个该导电夹器的至少其中之一与该遮蔽组件共同设置在多个该框条的其中之一上。

8、在本实用新型的一实施例中，该遮蔽组件在该阴极吊框的至少其中一个该侧面上遮蔽共同设置的该导电夹器。

9、在本实用新型的一实施例中，该遮蔽组件包含一固定挡片，该固定挡片固定配置在该阴极吊框的另一个该侧面上且遮蔽该窗口的边缘。

10、在本实用新型的一实施例中，该遮蔽组件包含枢设配置的一对活动挡片，一对该活动挡片相对地分别配置在该阴极吊框的各该侧面且分别遮蔽该窗口的边缘。

11、在本实用新型的一实施例中，一对该活动挡片相连动。

12、在本实用新型的一实施例中，一对该活动挡片以同一枢转轴枢设在该阴极吊框上。

13、本实用新型的电镀装置，其阴极吊框具有遮蔽组件，阴极吊框用于悬吊待电镀基板，遮蔽组件则能够遮蔽待电镀基板的边缘。借此能够阻挡向基板边缘移动的金属离子而减少金属离子在基板边缘的附着厚度，因此能使基板整体的电镀厚度均一。

技术特征：

1.一种电镀装置，其特征在于，包含：

2.如权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，多个该导电夹器分别设置在多个该框条之中相对配置的其中两个上。

3.如权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，多个该导电夹器的至少其中之一与该遮蔽组件共同设置在多个该框条的其中之一上。

4.如权利要求3所述的电镀装置，其特征在于，该遮蔽组件在该阴极吊框的至少其中一个该侧面上遮蔽共同设置的该导电夹器。

5.如权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，该遮蔽组件包含一固定挡片，该固定挡片固定配置在该阴极吊框的另一个该侧面上且遮蔽该窗口的边缘。

6.如权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，该遮蔽组件包含枢设配置的一对活动挡片，一对该活动挡片相对地分别配置在该阴极吊框的各该侧面且分别遮蔽该窗口的边缘。

7.如权利要求6所述的电镀装置，其特征在于，一对该活动挡片相连动。

8.如权利要求6所述的电镀装置，其特征在于，一对该活动挡片以同一枢转轴枢设在该阴极吊框上。

技术总结
本技术提供了一种电镀装置，其包含一阴极吊框、多个导电夹器及一遮蔽组件。阴极吊框具有一窗口以及相对配置的两侧面，阴极吊框包含多个框条，且该框条相连接而围设形成窗口。导电夹器设置在该框条的至少其中之一上，且该导电夹器朝向窗口内配置。遮蔽组件设置在该框条的其中之一上，且遮蔽组件包含枢设配置的一活动挡片，活动挡片配置在阴极吊框的其中一个侧面上且遮蔽窗口的边缘。本技术的电镀装置的阴极吊框具有遮蔽组件，阴极吊框用于悬吊待电镀基板，遮蔽组件则能够遮蔽待电镀基板的边缘。借此能够阻挡向基板边缘移动的金属离子而减少金属离子在基板边缘的附着厚度，因此能使基板整体的电镀厚度均一。

技术研发人员：吴笙隆,纪益顺,蔡聿凯
受保护的技术使用者：华通电脑股份有限公司
技术研发日：20230905
技术公布日：2024/4/17