专利名称：真空泵用的保护网和具备其的真空泵的制作方法
技术领域：
本发明涉及真空泵用的保护网和具备其的真空泵，特别是涉及能够充分提高保护网相对于固定用槽的紧固强度且充分抑制大气从吸气口冲入泵内时的保护网向泵内侧的挠曲的真空泵用的保护网和具备其的真空泵。
背景技术：
一直以来，在以涡轮分子泵为首的高速旋转型真空泵中，在其吸气口装配有异物侵入防止用的保护网，使得异物不从在壳体上端部的凸缘部内侧形成的吸气口侵入泵设备内的旋转体。在前述凸缘部为ISO规格的凸缘的情况下，由于空间的问题，保护网不能通过螺丝紧固而固定于吸气口部位。另外，保护网，若没有规定强度，则在大气从吸气口冲入泵内时有可能挠曲至泵内侧而与旋转叶片等泵内设备接触，从而使泵故障产生。因此，对保护网要求规定的强度。在这样的情况下，作为真空泵用的保护网和该保护网向吸气口部位的固定构造的第I现有技术，例如有如图6至图8(a)、(b)所示的构造。图6显示在周缘部形成有沿着该周缘部的周缘边沿Ia的金属丝网1，图7显示具备周缘部的周缘板部2a和架设于该周缘板部2a的内侧的十字状肋部2b的金属制的增强板2。真空泵用的保护网由将作为该分体零件形成的金属丝网I和增强板2重合且适当地施行点焊而使这两个零件为一体的复合零件形成。图8 (a)、(b)显示作为金属丝网I和增强板2的复合零件形成的保护网3向吸气口 4的部位的固定构造。在真空泵中的壳体5上部的凸缘部6内侧凹设有环状的固定用槽
7。由上述复合零件构成的保护网3，周缘边沿Ia与周缘板部2a的重合部被嵌入固定用槽7，进而环状的挡圈8被压入，保护网3被固定于吸气口 4的部位。在固定于该吸气口 4的部位的保护网3的正下方的真空泵内，具备伸展设置于转子9的旋转叶片10(图8(a))。另外，图9显示真空泵用的保护网和该保护网的向吸气口部位的固定构造的第2现有技术。在该现有技术中，真空泵用的保护网11由一个零件实现，该保护网11中的凸边部的部分以所需角度倾斜状地立起而形成倾斜状凸边部11a。该倾斜状凸边部11a，其高度h形成为与固定用槽7的嵌入宽度(图9中的上下方向宽度)对应的高度，不使用挡圈而将该倾斜状凸边部Ila的部分压入固定用槽7，由此，该倾斜状凸边部Ila与固定用槽7紧密嵌合，保护网11被固定于吸气口 4的部位。在大气从吸气口 4冲入泵内时，倾斜状凸边部Ila产生如图9中假想线所示的变形倾向，该倾斜状凸边部Ila的上缘部与固定用槽7内的上表面紧密相接而防止保护网11的落下，并且，抑制该保护网11挠曲至泵内侧。作为与如上所述的真空泵用的保护网相关联的现有技术，例如已知如下真空泵。该现有技术为，通过螺丝紧固将壳体基部固定于构成涡轮分子泵型真空泵的基体的基座的下方凸缘部。在壳体中央部的旋转轴的上端安装有转子，旋转叶片向着壳体的内周侧具有一定间隔地以放射状伸展设置于该转子。另一方面，在壳体的内周侧，环状的间隔件以层叠状配设为多段，基部被夹持在各间隔件之间的固定叶片向着转子侧延伸设置。这样，旋转叶片和固定叶片分别交替地从内侧和外侧重叠而构成涡轮机构。保护网为了装配于吸气口部位而在周围形成有环状的板(环)，该环状的环部被夹持在壳体上部的台阶部与最上段间隔件之间而保持于吸气口部位(例如，参照专利文献I)。专利文献1:日本特开平11-247790号公报。
发明内容
发明要解决的问题。在第I现有技术中，由于保护网由将作为分体零件形成的金属丝网和增强板重合后的复合零件形成，因而成本高。另外，向吸气口部位的固定构造通过将使金属丝网侧的周缘边沿和增强板侧的周缘板部重合后的扁平形状部分嵌入固定用槽且此后压入挡圈而进行。因此，保护网相对于固定用槽的紧固强度容易变得不足，从吸气口冲入泵内的大气的势导致，有可能保护网向泵内侧的挠曲量变大而与泵内设备接触，并且，也有可能向固定用槽的嵌入部脱落而保护网落下。在第2现有技术中，将倾斜状凸边部的高度h形成为与固定用槽的嵌入宽度对应的高度，将该倾斜状凸边部的部分压入固定用槽，由此，使该倾斜状凸边部与固定用槽紧密嵌合而将保护网固定至吸气口部位。因此，倾斜状凸边部的倾斜角度和高度h的尺寸管理等困难，另外，将倾斜状凸边部压入固定用槽而使该倾斜状凸边部与固定用槽紧密嵌合的作业也伴有相当的难度，由于这样的点，招致成本高。在专利文献I所记载的现有技术中，在壳体的内周侧，环状的间隔件以层叠状配设为多段，关于保护网，其环状的环部被夹持在最上段间隔件与壳体上部的台阶部之间而固定于吸气口部位。因此，在保护网的更换时等，在需要保护网的拆卸的情况下，需要将壳体基部相对于基座的下方凸缘部的螺丝紧固解开而拔出壳体等麻烦的作业。于是，为了通过以同一块作为具有所需强度的保护网而谋求该保护网的成本降低、充分提高保护网相对于固定用槽的紧固强度、抑制大气从吸气口冲入泵内时的保护网向泵内侧的挠曲、防止向泵内设备的接触并防止保护网的落下、保护网向吸气口部位的安装容易且拆卸也变得容易，产生了应该解决的技术问题，本发明以解决该问题为目的。用于解决问题的技术方案。本发明是为了达成上述目的而提出的，技术方案I记载的发明提供以下真空泵用的保护网:为通过将形成于保护网的周缘部的边沿嵌入凹设在真空泵的吸气口的内周部的固定用槽并进一步将挡圈压入前述固定用槽而将前述保护网张紧设置在前述吸气口部位的真空泵用的保护网，在前述边沿的各处，使被前述挡圈卡止的卡止部相对于前述边沿以大致直角竖立设置。依照该构成，在边沿的各处相对于该边沿以大致直角竖立设置的卡止部被挡圈卡止，保护网相对于固定用槽的紧固强度变得充分牢固。所以，在大气从吸气口冲入泵内时，抑制了保护网向泵内侧的挠曲，并且防止了保护网的落下。技术方案2记载的发明提供以下真空泵用的保护网:在技术方案I记载的发明中，前述保护网具备金属丝网部和架设于前述边沿的内侧的增强用的肋部，并且，前述金属丝网部和前述肋部由同一块部件形成。
依照该构成，通过使金属丝网部和增强用的肋部为一体而形成保护网，从而提高保护网自身的强度，更可靠地抑制大气从吸气口冲入泵内时的保护网向泵内侧的挠曲。技术方案3记载的发明提供具备技术方案I或2记载的真空泵用的保护网的真空栗。依照该构成，相对于固定用槽的紧固强度充分牢固且保护网自身的强度也提高的保护网张紧设置在吸气口部位。所以，可靠地抑制了大气从吸气口冲入泵内时的保护网向泵内侧的挠曲。发明的效果。技术方案I记载的发明，能够充分提高保护网相对于固定用槽的紧固强度。结果，能够抑制大气从吸气口冲入泵内时的保护网向泵内侧的挠曲，能够防止向泵内设备的接触，并且能够防止保护网的落下。另外，由于不是将相对于边沿以大致直角竖立设置的卡止部自身压入固定用槽而使该卡止部与固定用槽紧密嵌合，因而具有保护网向吸气口部位的安装容易且拆卸也变得容易的优点。技术方案2记载的发明，除了技术方案I记载的发明的效果之外，还具有以下优点:不是将保护网作为将作为分体零件形成的金属丝网和增强板重合后的复合零件而形成，而是以同一块成为所需强度，由此，能够谋求保护网的成本降低。技术方案3记载的发明具有以下优点:相对于固定用槽的紧固强度充分牢固且保护网自身的强度也提高的保护网张紧设置在吸气口部位，由此，能够可靠地抑制大气从吸气口冲入泵内时的保护网向泵内侧的挠曲，能够防止由于保护网与旋转叶片等泵内设备接触而导致的泵故障。
图1是作为本发明的一个实施例显示的真空泵的纵截面图。图2是适用于本发明的实施例所涉及的真空泵用的保护网的保护网的平面图。图3是图2的保护网中的卡止部部分的放大图，(a)是从正面方向观察的立体图，(b)是从侧面方向观察的立体图。图4是在将图2的保护网紧固于固定用槽时使用的挡圈的平面图。图5是将图2的保护网的向吸气口部位的固定构造省略一部分而显示的横截面图。图6是第2现有技术中的金属丝网的平面图。图7是同上现有技术中的增强板的平面图。图8是显示同上现有技术中的保护网的向吸气口部位的固定构造的图，(a)是显示固定构造的整体的横截面图，(b)是放大显示图(a)中的保护网的向固定用槽的紧固部分的横截面图。图9是显示第2现有技术中的保护网的向固定用槽的紧固部分的横截面图。
具体实施例方式本发明为了达成通过以同一块作为具有所需强度的保护网而谋求该保护网的成本降低、充分提高保护网相对于固定用槽的紧固强度、抑制大气从吸气口冲入泵内时的保护网向泵内侧的挠曲、防止向泵内设备的接触并防止保护网的落下、保护网向吸气口部位的安装容易且拆卸也变得容易的目的，为通过将形成于保护网的周缘部的边沿嵌入凹设于真空泵的吸气口的内周部的固定用槽并进一步将挡圈压入前述固定用槽而将前述保护网张紧设置在前述吸气口部位的真空泵用的保护网，通过在前述边沿的各处使被前述挡圈卡止的卡止部相对于前述边沿以大致直角竖立设置而实现。实施例1。以下，参照图2至图5，说明本发明的优选实施例。此外，在图4和图5中，与前述图8(a)、(b)中的构成要素相同或均等的部件，以与前述相同的符号表示，省略重复的说明。图1是本发明所涉及的真空泵的纵截面图。在图1中，真空泵100具备框体130，其具有吸气口 110和排气口 120。在该框体130内，在上部设有涡轮分子泵部140，在其下方设有圆筒形的螺纹槽泵部150，并且形成有排气通路240，其穿过该涡轮分子泵部140内和该螺纹槽泵部150内且将前述吸气口 110和前述排气口 120连通而成。前述排气通路240更具体地形成为:使前述涡轮分子泵部140的后述相对置的转子170的外周面与前述框体130的内周面之间的间隙和前述螺纹槽泵部150的后述圆筒转子210的外周面与定子230的内周面之间的间隙相互连通，并且，使前述涡轮分子泵部140侧的间隙上端侧与前述吸气口 110连通且将前述螺纹槽泵部150侧的间隙下端侧连通至前述排气口 120。前述涡轮分子泵部·140由在固定设置于旋转轴160的铝合金制的转子170的外周面突出设置的许多旋转叶片180、180……和在前述框体130的内周面突出设置的许多固定叶片190、190……的组合构成。前述螺纹槽泵部150由前述涡轮分子泵部140中的转子170的下端部的圆筒转子210和定子230构成，定子230与该圆筒转子210的外周具有小间隙地对置，设置有与该小间隙一起形成前述排气通路240的一部分而成的螺纹槽220。该螺纹槽220形成为随着向下方行进而深度变浅。另外，该定子230被固定于前述框体130的内表面。而且，前述螺纹槽220的下端在前述排气通路240的最下游侧与前述排气口 120连通。另外，在前述旋转轴160的中间部，固定有设在电动机框体250内的感应电动机等高频电动机260的电动机转子260a。该旋转轴160由磁轴承支承，在上部和下部设有保护轴承 270、270。接着,说明图1所示的真空泵的动作。通过前述高频电动机260的驱动,从前述吸气口 110流入的气体处于分子流或接近分子流的中间流状态，其气体分子通过前述涡轮分子泵部140的旋转的、前述旋转叶片180、180……和从前述框体13突出设置的前述固定叶片190、190……的作用而沿向下方向被施加运动量，伴随着该旋转叶片180、180……的高速旋转，气体向下游侧压缩移动。另外，压缩移动的气体，在前述螺纹槽泵部150中，被引导至旋转的前述圆筒转子210和沿着具有小间隙地形成的前述定子230随着行进至下游而深度变浅的前述螺纹槽220，被压缩至粘性流状态且流动于前述排气通路240内，从前述排气口 120排出。接着，说明本实施例所涉及的真空泵用的保护网的构成。在图2至图4中，本实施例中的保护网12，通过对I块金属板施行蚀刻处理，从而以在周缘部具备边沿12a的金属丝网部12b和架设于前述边沿12a的内侧的增强用的十字状肋部12c成为一体的同一块形成。在金属丝网部12b，以例如蜂窝状穿孔有许多六角孔。在前述边沿12a的各处,被后述挡圈卡止的卡止部12d如图3(a)、(b)所示相对于该边沿12a以大致直角竖立设置。在前述蚀刻处理时，形成从边沿12a突出至外方的突出部，将该突出部相对于边沿12a以大致直角弯折，由此形成卡止部12d。如图2所示，卡止部12d在保护网12的周缘部形成为:以2个为一组的四组分别隔开等间隔。图4显示挡圈8。挡圈8 —部分被切口，在其切口部8a形成有适当的间隙。接着，使用图5说明如上所述构成的真空泵用的保护网的向吸气口部位的固定和作用。在边沿12a的外缘，卡止部12d相对于该边沿12a以大致直角竖立设置。将这样的边沿12a嵌入凹设于吸气口 4的内周部的固定用槽7，进而将挡圈8压入该固定用槽7。此时，挡圈8以形成于其切口部8a的部分的间隙缩减的方式被压入固定用槽7，由此产生扩开倾向，该扩开倾向起作用，从而将卡止部12d进一步压入，具备该卡止部12d的边沿12a被牢固地紧固于固定用槽7。通过这样的具备卡止部12d的边沿12a部分的向固定用槽7的紧固形态，保护网12被固定于吸气口 4的部位。另外，关于保护网12，通过将金属丝网部12b和增强用肋部12c—体地形成，保护网12自身也强度提高。所以，在大气从吸气口 4冲入泵内时，充分抑制了保护网12向泵内侧的挠曲，并且防止了保护网12的落下。如前所述，卡止部12d在保护网12的周缘部形成为以2个为一组的四组分别隔开等间隔，该四组的部分的卡止部12d由挡圈8压入而紧固于固定用槽7。另外，由于不是将卡止部12d自身压入固定用槽7而使该卡止部12d与固定用槽7紧密嵌合而紧固，而是用挡圈8将卡止部12d压入而紧固，因而仅进行挡圈8的安装或拆卸导致保护网12向吸气口4部位的安装和拆卸变容易。如上所述，在本实施例涉及的真空泵用的保护网和具备其的真空泵中，不是把保护网12作为将作为分体零件形成的金属丝网和增强板重合后的复合零件而形成，而是以同一块一体地形成金属丝网部12b和增强用的十字状肋部12c而成为所需强度，由此，能够谋求保护网12的成本降低。能够充分提高保护网12相对于固定用槽7的紧固强度。结果，能够抑制大气从吸气口 4冲入泵内时的保护网12向泵内侧的挠曲，能够防止由于保护网12与旋转叶片等泵内设备接触而导致的泵故障，并且能够防止保护网12的落下。由于不是将相对于边沿12a以大致直角竖立设置的卡止部12d自身压入固定用槽7而使该卡止部12d与固定用槽7紧密嵌合，因而保护网12向吸气口 4部位的安装容易且拆卸也变得容易。此外，只要不脱离本发明的精神，本发明能够作出各种改变，而且，本发明当然还及于该改变的内容。产业上的可利用性。能够广泛地适用于以下条件不可缺少的气体吸入机构整体:通过以同一块作为具有所需强度的保护网，从而谋求该保护网的成本降低，充分提高保护网相对于固定用槽的紧固强度，抑制大气从吸气口冲入气体吸入机构内时的保护网向气体吸入机构内侧的挠曲，防止向气体吸入机构内设备的接触，并且防止保护网的落下，保护网向吸气口部位的安装容易且拆卸也变得容易。
符号说明
1金属丝网
2增强板
3保护网(现有)
4吸气口
5壳体
6凸缘部
7固定用槽
8挡圈
9转子
10旋转叶片
11保护网(现有)
12保护网 12a边沿
12b金属丝网部 12c肋部 12d卡止部 100真空泵
110吸气口
120排气口
130框体 140涡轮分子泵部 150螺纹槽泵部 160旋转轴 170转子 180旋转叶片 190固定叶片 210圆筒转子 220螺纹槽
230定子 240排气通路 250电动机框体 260高频电动机 260a电动机转子 270保护轴承。
权利要求
1.一种真空泵用的保护网，通过将形成于保护网的周缘部的边沿嵌入凹设在真空泵的吸气口的内周部的固定用槽并进一步将挡圈压入所述固定用槽而将所述保护网张紧设置在所述吸气口部位，其特征在于，在所述边沿的各处，使被所述挡圈卡止的卡止部相对于所述边沿以大致直角竖立设置。
2.根据权利要求1所述的真空泵用的保护网，其特征在于，所述保护网具备金属丝网部和架设于所述边沿的内侧的增强用的肋部，并且，所述金属丝网部和所述肋部由同一块部件形成。
3.一种真空泵，其特征在于，具备根据权利要求1或2所述的真空泵用的保护网。
全文摘要
通过以同一块作为具有所需强度的保护网，从而谋求该保护网的成本降低，充分提高保护网相对于固定用槽的紧固强度，抑制大气从吸气口冲入泵内时的保护网向泵内侧的挠曲，防止向泵内设备的接触并且防止保护网的落下，保护网向吸气口部位的安装容易且拆卸也变得容易。为通过将形成于保护网(12)的周缘部的边沿(12a)嵌入凹设在吸气口(4)的内周部的固定用槽(7)并进一步将挡圈(8)压入固定用槽(7)而将保护网(12)张紧设置在吸气口(4)的部位的真空泵用的保护网，在前述边沿(12a)的各处，使被挡圈(8)卡止的卡止部(12d)相对于边沿(12a)以大致直角竖立设置。
文档编号F04B37/16GK103201520SQ20118005501
公开日2013年7月10日 申请日期2011年7月28日 优先权日2010年11月24日
发明者奥寺智, 坂口祐幸 申请人:埃地沃兹日本有限公司