专利名称：基于碟型传感器阀的压电叠堆泵的制作方法
技术领域：
本发明属于微流体传输控制领域应用的压电泵，具体涉及ー种基于碟型传感器阀的压电叠堆泵。
背景技术：
压电泵具有结构简单、体积小、反应迅速、无电磁干扰、易于操作、流量及压カ可控性好等诸多优势，在医疗、化学分析、汽车发动机及燃料电池的燃料供给、微机电液系统等方面都有广泛的应用前景，因此其研制开发备受世界各国学者的广泛关注。为满足不同领域的应用需求，人们提出了多种形式结构的压电泵。虽然所提出的压电泵结构形式和性能差异较大，但都是利用压电振子在电场作用下产生的弯曲或伸缩变形实现流体驱动的。因压电泵每个工作循环输出的流体即为压电振子变形所引起的泵腔容积变化量，故可实现流量及压カ的精确控制，尤其适用于药品控释等方面。然而，在实际工作中，因压电泵输出流量及压カ受工作条件影响较大，除驱动电压、频率外，流体粘度、温度以及输出压カ等对其实际输出流量也都有较大影响。因此，单纯地采用调节驱动电压和频率的方法尚无法获得较高的输出精度。在药品控释、化学分析以及燃料电池等要求流量及压カ控制精确较高的场合仍需采用流量及压カ测量仪器进行监测，不仅増加了使用成本，也増加了系统体积、重量及复杂程度，严重地阻碍了压电泵在微机电系统及便携产品中的推广应用。为提高压电泵的输出精度和可控性、降低成本、减小系统总体的体积和重量，人们曾提出了多种结构的自带传感器压电泵，无需其它压カ及流量測量仪器即可实现输出流量及压カ的自动测量，如中国专利201110173933. 7,201110181209. 9及201110181208. 4等所提出的直接利用压电驱动器变形后所产生的电压表征输出性能的压电泵，中国专利201220276952. 2等所提出的利用置于泵腔内压カ传感器的输出电压表征输出性能的压电泵等。上述现有的自测量压电泵所采用的測量方式属于间接測量，在某些特殊的工作条件下其測量精度会下降、甚至测量结构完全无效，如当输送气体、含气量较大的液体、或所输送的水基液体因温度増加而严重气化时，泵腔内因气体含量増加而使压力降低、甚至不能使出口阀开启，此时虽然压电驱动器变形较大且有较高的传感电压输出，但泵的输出流量可能很小或根本无流体输出；同理，当进出ロ阀自身失效、或不能正常开启与关闭吋，同样会导致压电泵的測量精度降低、甚至无效。可见，现有的自测量压电泵在測量精度的准确性和可靠性方面还存在一定的不足。
发明内容
针对现有自测量压电泵在測量精度的准确性及可靠性方面的不足，本发明提出一种基于阀片开度检测实现输出流量及压カ测量的压电叠堆泵，简称ー种基于碟型传感器阀的压电泵。本发明采取的技术方案是阀盖通过螺钉安装在泵盖上，所述泵盖通过螺钉安装在泵体上；在所述阀盖和泵盖之间粘接有出ロ阀和进ロ阀，所述出ロ阀和进ロ阀都由环形压电薄膜和基板粘接而成，所述基板都开有通孔；在所述泵盖和泵体之间压接有泵腔隔膜，在所述泵腔隔膜的两侧通过螺钉分别安装有活塞和顶块；活塞以及安装于所述活塞上的密封圈、泵盖、出口阀及进ロ阀共同构成泵腔；安装在泵体端部的螺栓通过防扭挡块将压电叠堆驱动器压接在所述顶块上；所述压电叠堆驱动器、出ロ阀及进ロ阀分别通过导线组一、导线组ニ及导线组三与电控单元相连。当所述电控单元开启并进入稳态工作后、且驱动电压由0向Vtl增加时，压电叠堆驱动器开始伸长并推动顶块、泵腔隔膜及活塞向右运动，致使泵腔的容积减小、流体压カ增カロ，不断増加的流体压カ迫使出口阀开启、进ロ阀关闭，流体经出口阀从泵腔中排出，此为排出过程；当电控单元的输出电压换向后，即电压由Vtl向0减小时，压电叠堆驱动器在泵腔隔膜的作用下开始收缩，致使泵腔的容积增加、腔内流体压カ降低，不断降低的流体压カ迫使进ロ阀开启，出口阀关闭，流体经进ロ阀进入泵腔，此为吸入过程。在上述实施例压电泵的吸入过程与排出过程中，都伴随着进ロ阀和出口阀的交替开启与关闭、并有电压信号生成，因此进ロ阀和出口阀还具有传感器的功能；因进ロ阀及出ロ阀所产生的电压值、以及压电泵的输出流量和压カ均与阀的开度成正比，故压电泵的输出压カP和流量Q均为出口阀的输出电压Vg,。及进ロ阀输出电压Vg, ^的函数，可采用出口阀的输出电压Vg,。或进ロ阀的输出电压Vp表征压电泵输出压カ和流量，即有压カ为P =kl I Vg1、流量为Q = k2 I Vg I，其中kl、k2分别为压电泵输出压カ及流量的标定系数，Vg为出ロ阀的输出电压Vg,。或进ロ阀的输出电压Vg,パ本发明的特色及优势在于利用具有传感功能的单向阀直接测量泵的输出压力和流量、无需额外的传感器，故结构简单、測量精度的准确度及可靠度较高，且适于液体、气体以及气液混合物等不同介质的泵送过程中的实时监測。
图1是发明一个较佳实施例中压电叠堆泵排出流体时的结构剖示图；图2是发明一个较佳实施例中压电叠堆泵吸入流体后的结构剖示图；图3是图2的A-A剖视图；图4是发明一个较佳实施例中压电叠堆泵输入电压波形；图5是发明一个较佳实施例中出口阀的输出电压波形；图6是发明一个较佳实施例中进ロ阀的输出电压波形；
具体实施例方式阀盖2通过螺钉安装在泵盖4上，所述泵盖4通过螺钉安装在泵体10上；在所述阀盖2和泵盖4之间粘接有出ロ阀I和进ロ阀3，所述出ロ阀I由环形压电薄膜1-2和基板1-1粘接而成、进ロ阀3由环形压电薄膜3-2和基板3-1粘接而成，所述基板1-1和3-1都开有通孔；在所述泵盖4和泵体10之间压接有泵腔隔膜8，在所述泵腔隔膜8的两侧通过螺钉分别安装有活塞7和顶块9 ;活塞7以及安装于所述活塞7上的密封圈6、泵盖4、出口阀I及进ロ阀3共同构成泵腔5 ;安装在泵体10端部的螺栓13通过防扭挡块12将压电叠堆驱动器11压接在所述顶块9上；所述压电叠堆驱动器11、出口阀I及进ロ阀3分别通过导线组一 14、导线组ニ 17及导线组三16与电控单元15相连。
当所述电控単元15开启并进入稳态工作后、且驱动电压由0向Vtl增加时，压电叠堆驱动器11开始伸长并推动顶块9、泵腔隔膜8及活塞7向右运动，致使泵腔5的容积减小、流体压カ增加，不断増加的流体压カ迫使出口阀I开启、进ロ阀3关闭，流体经出口阀I从泵腔5中排出，此为排出过程；当电控单元15的输出电压换向后，即电压由Vtl向0减小吋，压电叠堆驱动器11在泵腔隔膜8的作用下开始收缩，致使泵腔5的容积增加、腔内流体压カ降低，不断降低的流体压カ迫使进ロ阀3开启，出口阀I关闭，流体经进ロ阀3进入泵腔5，此为吸入过程。在上述实施例压电泵的吸入过程与排出过程中，都伴随着进ロ阀3和出口阀I的交替开启与关闭、并有电压信号生成，因此进ロ阀3和出口阀I还具有传感器的功能；因进ロ阀3及出口阀I所产生的电压值、以及压电泵的输出流量和压カ均与阀的开度成正比，故压电泵的输出压力P和流量Q均为出口阀I的输出电压Vg,。及进ロ阀3的输出电压Vp的函数，可采用出口阀I的输出电压Vg,。或进ロ阀3的输出电压VgJ表征压电泵输出压カ和流量，即有压カ为P = 1^1^|、流量为0 = k2 I Vg I，其中kl、k2分别为压电泵输出压カ及流量的标定系数，其中Vg为 出口阀I的输出电压Vg,。或进ロ阀3的输出电压Vg,パ
权利要求
1.基于碟型传感器阀的压电叠堆泵，其特征在于阀盖通过螺钉安装在泵盖上，所述泵盖通过螺钉安装在泵体上；在所述阀盖和泵盖之间粘接有出口阀和进口阀；所述出口阀和进口阀都由环形压电薄膜和基板粘接而成，所述基板都开有通孔；在所述泵盖和泵体之间压接有泵腔隔膜，在所述泵腔隔膜的两侧通过螺钉分别安装有活塞和顶块；活塞以及安装于所述活塞上的密封圈、泵盖、出口阀及进口阀共同构成泵腔；安装在泵体端部的螺栓通过防扭挡块将压电叠堆驱动器压接在所述顶块上；所述压电叠堆驱动器、出口阀及进口阀分别通过导线组一、导线组二及导线组三与电控单元相连。
全文摘要
本发明涉及一种基于碟型传感器阀的压电叠堆泵，属于微流体传输与控制领域。阀盖安装在泵盖上，泵盖安装在泵体上；在阀盖和泵盖之间粘接有出口阀和进口阀；出口阀和进口阀都由环形压电薄膜和基板粘接而成，所述基板都开有通孔；在所述泵盖和泵体之间压接有泵腔隔膜，泵腔隔膜的两侧通过螺钉分别安装有活塞和顶块；活塞、泵盖、出口阀及进口阀共同构成泵腔；螺栓通过防扭挡块将压电叠堆驱动器压接在顶块上；压电叠堆、出口阀及进口阀分别通过导线组与电控单元相连。特色与优势利用具有传感功能的单向阀直接测量压电泵的输出压力和流量，故结构简单、测量精度的准确度及可靠度较高，且适于液体、气体以及气液混合物等不同介质的泵送过程中的实时监测。
文档编号F04B43/04GK103032296SQ20121055129
公开日2013年4月10日 申请日期2012年12月6日 优先权日2012年12月6日
发明者张忠华, 阚君武, 王淑云, 马泽辉, 程光明 申请人:浙江师范大学