一种大抽速抗大气冲击的分子泵转子的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种转子，尤其涉及一种用于分子泵的大抽速抗大气冲击的分子泵转子，包括转子主体，转子主体为中空筒体，其内部中心设置有转轴安装孔，转子主体顶端直径大于底端直径，在转子主体的外表面挖设有螺旋形牵引级沟槽，牵引级沟槽的深度从上到下逐渐变浅；每相邻两个螺旋形牵引级沟槽之间的槽壁设置成叶片；本实用新型根据气体的物理特性，牵引级沟槽与分子泵融合到一体，既获得了高抽速，又获得了较大的压缩比，另外，采用转子主体顶端直径大于底端直径，使转子顶端的叶片尺寸增大，即分子泵进气端叶片尺寸增大，同时优化了转子槽内壁的曲线，使转子槽内壁曲线进一步内凹，从而提高了抽速，并减轻了转子的重量，减小转子对轴承的压力。
【专利说明】一种大抽速抗大气冲击的分子栗转子
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种转子，尤其涉及一种用于分子泵的大抽速抗大气冲击的分子泵转子。
【背景技术】
[0002]分子真空泵是在1911年由德国人盖德(w -Gaede)首先发明的。其原理是靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。1958年，联邦德国的W.贝克首次提出有实用价值的涡轮分子泵。涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度(一般为150?400米/秒)。单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同，但叶片倾斜角相反。倾斜叶片的运动使气体分子从进气侧穿过叶片到达排气侧的几率，比从排气侧穿过叶片到达进气侧的几率大得多。叶轮连续旋转，气体分子便不断地由进气侧流向排气侧，从而产生抽气作用。
[0003]盖德牵引泵在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸汽，特别适于抽除较重的气体，但存在抽速小的特点。涡轮分子泵则存在加工多级动静叶片工艺复杂的特点。同时，由于叶片高速旋转，动片与静片的间隙很小，如果突然遭到大气的冲击，极易发生碎裂，造成整泵报废。复合分子泵将涡轮转子和牵引转子串联在一起，以获得更优的综合性能，但同时也继承了涡轮转子加工难度高，不耐冲击的特点。
实用新型内容
[0004]本实用新型的目的在于克服现有技术中的不足，而提供一种大抽速抗大气冲击的分子泵转子。
[0005]本实用新型所采用的技术方案:
[0006]一种大抽速抗大气冲击的分子泵转子，包括转子主体，转子主体为中空筒体，其内部中心设置有转轴安装孔，其特征在于:所述的转子主体顶端直径大于底端直径，在转子主体的外表面挖设有螺旋形牵引级沟槽，牵引级沟槽的深度从上到下逐渐变浅；每相邻两个螺旋形牵弓I级沟槽之间的槽壁设置成叶片。
[0007]所述转子主体顶端直径比底端直径大10-30mm。
[0008]所述叶片节距和叶片弦长的比值为1.3-1.5，转子主体外表面上均匀挖设有3-8条相同的螺旋形牵弓I级沟槽。
[0009]所述转子主体顶端牵引级沟槽的深度为50_70mm，底端牵引级沟槽的深度为
2-6mm。
[0010]所述的叶片也呈螺旋形设置在转子主体的外表面上，且叶片根部厚度大于顶部。
[0011]所述的转子主体的上端口端面上均匀设置有上面动平衡配重孔，转子主体外表面靠近下端均匀设置有下面动平衡配重孔。[0012]本实用新型的有益效果:
[0013]1、本实用新型采用牵引级沟槽与分子泵转子主体结合为一体的设计，实现了与复合分子泵相近似的特点，既获得了高抽速，又获得了较大的压缩比，同时也大幅增加了强度，提高了抗大气冲击的能力。
[0014]2、本实用新型采用转子主体顶端直径大于底端直径，使转子顶端的叶片尺寸增大，即分子泵进气端叶片尺寸增大，同时优化了转子槽内壁的曲线，使转子槽内壁曲线进一步内凹，从而提高了抽速，并减轻了转子的重量，减小转子对轴承的压力。
[0015]3、本实用新型，取消了定片、隔环，不但降低了设备制作和安装的复杂程度，也降低了成本。
[0016]4、本实用新型采用在转子主体上挖设牵弓I级沟槽，相邻的两个牵引级沟槽之间的槽壁形成了叶片，由于直接加工叶片要求技术难度较高，加工槽的要求简单，也降低了加工成本。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1是本实用新型的结构图。
[0018]图2是本实用新型的剖视图。
【具体实施方式】
[0019]如图1、2所示，一种大抽速抗大气冲击的分子泵转子，包括转子主体1，转子主体I为中空筒体，转子主体顶端直径比底端直径大10-30mm，其内部中心设置有转轴安装孔4，在转子主体的外表面挖设有螺旋形牵引级沟槽2，每相邻两个螺旋形沟槽之间的槽壁形成叶片3，设置叶片节距和叶片弦长的比值为1.4，在转子主体表面挖设有5条相同的螺旋形牵引级沟槽，每条牵引级沟槽的深度从上到下逐渐变浅，转子主体顶端牵引级沟槽的深度为50-70mm，底端牵引级沟槽的深度为2_6mm ;叶片在转子主体表面也呈螺旋形，且叶片根部厚度大于顶部，在转子主体的上端口端面上均匀设置有上面动平衡配重孔5，转子主体外表面靠近下端均匀设置有下面动平衡配重孔6。
[0020]本实用新型根据气体的物理特性，采用牵引级沟槽与转子主体结合为一体的设计，实现了与复合分子泵相近似的特点，既获得了高抽速，又获得了较大的压缩比，同时也大幅增加了强度，提高了抗大气冲击的能力；另外，采用转子主体顶端直径大于底端直径，使转子顶端的叶片尺寸增大，即分子泵进气端叶片尺寸增大，同时优化了转子槽内壁的曲线，使转子槽内壁曲线进一步内凹，从而提高了抽速，并减轻了转子的重量，减小转子对轴承的压力。
【权利要求】
1.一种大抽速抗大气冲击的分子泵转子，包括转子主体，转子主体为中空筒体，其内部中心设置有转轴安装孔，其特征在于:所述的转子主体顶端直径大于底端直径，在转子主体的外表面挖设有螺旋形牵引级沟槽，牵引级沟槽的深度从上到下逐渐变浅；每相邻两个螺旋形牵弓I级沟槽之间的槽壁设置成叶片。
2.根据权利要求1所述的大抽速抗大气冲击的分子泵转子，其特征在于:所述转子主体顶端直径比底端直径大10-30mm。
3.根据权利要求1所述的大抽速抗大气冲击的分子泵转子，其特征在于:所述叶片节距和叶片弦长的比值为1.3-1.5，转子主体外表面上均匀挖设有3-8条相同的螺旋形牵引级沟槽。
4.根据权利要求1所述的大抽速抗大气冲击的分子泵转子，其特征在于:所述转子主体顶端牵引级沟槽的深度为50-70mm，底端牵引级沟槽的深度为2_6mm。
5.根据权利要求1所述的大抽速抗大气冲击的分子泵转子，其特征在于:所述的叶片也呈螺旋形设置在转子主体的外表面上，且叶片根部厚度大于顶部。
6.根据权利要求1所述的大抽速抗大气冲击的分子泵转子，其特征在于:所述的转子主体的上端口端面上均匀设置有上面动平衡配重孔，转子主体外表面靠近下端均匀设置有下面动平衡配重孔。
【文档编号】F04D29/32GK203488434SQ201320578331
【公开日】2014年3月19日 申请日期:2013年9月18日 优先权日:2013年9月18日
【发明者】刘敏强, 郁晋军, 董欣, 于天化 申请人:北京北仪创新真空技术有限责任公司