一种干泵排气管道的消音装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及消音装置【技术领域】，公开了一种干泵排气管道的消音装置，包括筒体，设于筒体内的隔音装置，隔音装置将筒体内部的腔体分割为第一腔室和第二腔室，隔音装置上还安装有连通第一腔室和第二腔室的第一消音管，筒体的两端分别安装有进口法兰和出口法兰，进口法兰和出口法兰分别位于第一腔室和第二腔室的一侧，进口法兰通过一第三消音管与第二腔室连通，出口法兰通过一第二消音管与第一腔室连通。本实用新型采用隔音装置将筒体分割成两个腔室，同时将进口法兰和出口法兰分别通过消音管与相对的腔室连通，再将两个腔室通过消音管连通，可使通入的气流形成回流，极大地降低了噪音，同时还能避免发生共振现象。
【专利说明】一种干泵排气管道的消音装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及消音装置【技术领域】，更具体地说，特别涉及一种干泵排气管道的消音装置。
【背景技术】
[0002]在晶圆Fab工厂中，真空系统是芯片制程中相当重要和复杂的一个环节，包括了反应腔室、真空管道、前级泵、干泵、尾气管等，其中的干泵则是提供真空最常用的设备；一般在芯片制程中，对不同的工艺其真空度的要求也不一样，所需求的干泵也不一样，因而尾气管道的口径要求也不一样(例如有的管道比较脏，需要大口径真空管道以防止堵塞，甚至需要管道加热，有的比较干净，不需要从泵出口变径接排风管道);这样在FAB工厂能看到各种规格的干泵和各个口径的真空管道；因此就会出现部分尾气管口径相对于干泵的出口过大，再加一个转接头，就形成一个“喇叭口”，当干泵开启的时候，就会发出犹如摩托车启动时“咚！咚！咚”的声音，更甚者会与厂务的排风管道形成共振，影响厂房的安全。故而，理想的解决方案就是加装一个干泵排气管道的消音装置。现有技术中有采用一段不锈钢波纹管进行消音，但是效果不太理想，而且波纹管在长时间使用后容易漏气，具有安全隐患；如使用干泵厂家提供的选配配件消音器，需要针对不同型号的干泵配备的有不同的消音器，大大增加了使用成本。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的在于提供一种减小噪音且能避免发生共振现象的干泵排气管道的消音装置。
[0004]为了解决以上提出的问题，本实用新型采用的技术方案为:一种干泵排气管道的消音装置，包括筒体，设于筒体内的隔音装置，所述隔音装置将筒体内部的腔体分割为第一腔室和第二腔室，所述隔音装置上还安装有连通第一腔室和第二腔室的第一消音管，所述筒体的两端分别安装有进口法兰和出口法兰，所述进口法兰和出口法兰分别位于第一腔室和第二腔室的一侧，所述进口法兰通过一第三消音管与第二腔室连通，所述出口法兰通过一第二消音管与第一腔室连通。
[0005]根据本实用新型的一优选实施例:所述隔音装置包括第一隔音板和第二隔音板，所述第一隔音板和第二隔音板均设于筒体的内部，所述第一消音管设于第一隔音板上，所述第二消音管通过第一隔音板与第一腔室连通，所述第三消音管通过第二隔音板与第二腔室连通。
[0006]根据本实用新型的一优选实施例:所述筒体的一端成型有封头法兰，另一端为封口结构，所述封头法兰的外侧安装有第一封头板，所述第一封头板和封头法兰之间还设有密封圈，其中，所述出口法兰设于第一封头板的一端，所述进口法兰设于筒体封口的一端。
[0007]根据本实用新型的一优选实施例:所述筒体的一端成型有封头法兰，另一端为开口结构，所述封头法兰的外侧安装有第一封头板，所述第一封头板和封头法兰之间还设有密封圈，所述开口结构上安装有第二封头板，其中，所述出口法兰设于第一封头板的一端，所述进口法兰设于第二封头板的一端。
[0008]根据本实用新型的一优选实施例:所述筒体的第一腔室内安装有第一减速板，所述第一减速板上均匀的设有若干第一减速孔；所述筒体的第二腔室内安装有第二减速板，所述第二减速板上均匀的设有若干第二减速孔。
[0009]与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于:本实用新型采用隔音装置将筒体分割成两个腔室，同时将进口法兰和出口法兰分别通过消音管与相对的腔室连通，再将两个腔室通过消音管连通，可使通入的气流形成回流，极大的降低了噪音，同时还能避免与厂务端的排风管道相连后发生共振现象。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型的干泵排气管道的消音装置实施例一的结构图。
[0011]图2为本实用新型的干泵排气管道的消音装置实施例二的结构图。
[0012]图3为本实用新型图2中A-A处剖视图。
[0013]图4为本实用新型图2中B-B处剖视图。
[0014]附图标记说明:1、进口法兰，2、第一隔音板，3、第一消音管，4、筒体，5、封头法兰，
6、密封圈，7、第一封头板，8、出口法兰，9、第二消音管，10、固定部件，11、第二隔音板，12、第三消音管，13、第二封头板，14、第一减速板，15、第二减速板。
【具体实施方式】
[0015]下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。
[0016]实施例一:
[0017]参阅图1所示，本实施例提供一种干泵排气管道的消音装置，包括筒体4，设于筒体4内的隔音装置，其中，所述隔音装置将筒体4内部的腔体分割为第一腔室Ql和第二腔室Q2，所述隔音装置上还安装有连通第一腔室Ql和第二腔室Q2的第一消音管3，所述筒体4的两端分别安装有进口法兰I和出口法兰8，所述进口法兰I和出口法兰8分别位于第一腔室Ql和第二腔室Q2的一侧，所述进口法兰I通过一第三消音管12与第二腔室Q2连通，所述出口法兰8通过一第二消音管9与第一腔室Ql连通。
[0018]本实施例中的隔音装置包括第一隔音板2和第二隔音板11，并且，第一隔音板2和第二隔音板11均设于筒体4的内部，将第一消音管3设于第一隔音板2上，第二消音管9通过第一隔音板2与第一腔室Ql连通，将第三消音管12通过第二隔音板11与第二腔室Q2连通。
[0019]在具体使用时，根据制程设备所使用工艺特性的不同，可选择对上述的部分零件喷涂铁氟龙涂层或不作涂层的处理:例如第一消音管3、第二消音管9、第三消音管12的内部以及安装在筒体4内与气体接触的部分，第一隔音板2和第二隔音板11的表面，以及筒体4内部与尾气接触的部分。通过涂层的保护，可以使该装置具备防腐、耐高温的能力，大大增加了其适用范围；同时进口法兰I和出口法兰8均采用KF40的接口形式，这样可以满足大部分泵出口的口径要求。[0020]本实施例中的筒体4的结构为:在筒体4的一端成型有封头法兰5,另一端为封口结构，而封头法兰5的外侧安装有第一封头板7，并且第一封头板7和封头法兰5之间还设有密封圈6，其中，出口法兰8设于第一封头板7的一端，进口法兰I设于筒体4封口的一端。
[0021]本实施例的消音装置主要是安装在干泵与厂务尾气排风管道之间，以实现消音功能，防止喇叭口共振现象的发生，在使用时将进口法兰I与干泵连接，将出口法兰8与厂务尾气排风管道连接，尾气通过第三消音管12进入第二腔室Q2内，形成一级缓冲，进入第二腔室Q2内的尾气再通过第一消音管3进入第一腔室Ql内，形成二级缓冲，而第一腔室Ql内的尾气再通过第二消音管9排出。
[0022]本实用新型的工作原理类似小汽车尾气的消音器原理，也就是说通过共振腔将混合的尾气尽量统一成一个波长频率，并让尾气通过管道内部的细孔分离两部分声波，再将两部分声波最后混合在一起，通过相消干扰原理达到降低声音的效果；同时考虑FAB厂所使用的真空泵对抽速有较高要求，故也可取消共振腔和分流的细孔；制程设备所产生的废气通过真空泵组抽出后仅仅是在该消音装置内部迂回流动，这样一方面能大大缓解气流的压力，另一方面对气流流速的影响不大。
[0023]实施例二:
[0024]参阅图2所示，本实施例的其他结构与实施例一相同，不同之处在于筒体4的结构为:在筒体4的一端成型有封头法兰5，另一端为开口结构，而封头法兰5的外侧安装有第一封头板7，并且第一封头板7和封头法兰5之间还设有密封圈6，在开口结构上安装有第二封头板13，其中，出口法兰8设于第一封头板7的一端，进口法兰I设于第二封头板13的一端。
[0025]参阅图3和图4所示，本实施例为了增加消音效果，在筒体4的第一腔室Ql内安装有第一减速板14，在第一减速板14上均匀的设有若干第一减速孔；在筒体4的第二腔室Q2内安装有第二减速板15，在第二减速板15上均匀的设有若干第二减速孔。这样，通过第一减速板14和第二减速板15和进一步的对风速进行减速,进而进一步降低噪音。
[0026]上述实施例为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种干泵排气管道的消音装置，其特征在于:包括筒体(4)，设于筒体(4)内的隔音装置，所述隔音装置将筒体(4)内部的腔体分割为第一腔室(Ql)和第二腔室(Q2)，所述隔音装置上还安装有连通第一腔室(Ql)和第二腔室(Q2)的第一消音管(3)，所述筒体(4)的两端分别安装有进口法兰(I)和出口法兰(8 )，所述进口法兰(I)和出口法兰(8 )分别位于第一腔室(Ql)和第二腔室(Q2)的一侧，所述进口法兰(I)通过一第三消音管(12)与第二腔室(Q2)连通，所述出口法兰(8)通过一第二消音管(9)与第一腔室(Ql)连通。
2.根据权利要求1所述的干泵排气管道的消音装置，其特征在于:所述隔音装置包括第一隔音板(2)和第二隔音板(11)，所述第一隔音板(2)和第二隔音板(11)均设于筒体(4)的内部，所述第一消音管(3)设于第一隔音板(2)上，所述第二消音管(9)通过第一隔音板(2)与第一腔室(Ql)连通，所述第三消音管(12)通过第二隔音板(11)与第二腔室(Q2)连通。
3.根据权利要求2所述的干泵排气管道的消音装置，其特征在于:所述筒体(4)的一端成型有封头法兰(5)，另一端为封口结构，所述封头法兰(5)的外侧安装有第一封头板(7)，所述第一封头板(7)和封头法兰(5)之间还设有密封圈(6)，其中，所述出口法兰(8)设于第一封头板(7)的一端,所述进口法兰(I)设于筒体(4)封口的一端。
4.根据权利要求2所述的干泵排气管道的消音装置，其特征在于:所述筒体(4)的一端成型有封头法兰(5)，另一端为开口结构，所述封头法兰(5)的外侧安装有第一封头板(7)，所述第一封头板(7)和封头法兰(5)之间还设有密封圈(6)，所述开口结构上安装有第二封头板(13)，其中，所述出口法兰(8)设于第一封头板(7)的一端，所述进口法兰(I)设于第二封头板(13)的一端。
5.根据权利要求4所述的干泵排气管道的消音装置，其特征在于:所述筒体(4)的第一腔室(Ql)内安装有第一减速板(14)，所述第一减速板(14)上均匀的设有若干第一减速孔；所述筒体(4)的第二腔室(Q2)内安装有第二减速板(15)，所述第二减速板(15)上均匀的设有若干第二减速孔。
【文档编号】F04B39/00GK203742938SQ201420000642
【公开日】2014年7月30日 申请日期:2014年1月1日 优先权日:2014年1月1日
【发明者】庞熠 申请人:长沙创芯集成电路有限公司