专利名称：配有制冷机的冷阱的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种油扩散泵用的冷阱，特别是涉及一种配有制冷机的冷阱。它主要用于高真空领域，作为扩散泵的隔离返油装置，亦可单独用于如食品、医药、化工领域，作为清洁气源、空间的防返油或其它高沸点污染气体隔离装置。
油扩散泵由于其结构简单、运行可靠、抽速大、成本低廉等优点，在真空领域广泛使用。但在高真空状态下，其工作介质一油蒸气会有少量逸入被抽空间。这些油蒸气对电子工业等高洁度要求领域是十分有害的。目前，国内扩散泵使用的冷阱大多采用水冷方式，温度在20～35℃，挡油效果很不理想，仍有部分有油蒸汽进入工作空间，影响产品质量。在一些特殊场合也有用液氮作冷源，不仅成本高，而且操作不便。
本实用新型的目的在于克服水冷方式的缺陷，而提供一种能实现深冷的冷阱，以更有效地捕集油分子，使扩散泵成为一种较清洁的高真空抽气设备。
为实现上述目的，本实用新型提供一种配有制冷机的冷阱，它包括冷阱20，其内装有一排障板21，冷阱的一端与扩散泵相连，另一端通向被抽空间，其特征在于，所述的冷阱20配有一个作为冷源的制冷机10，制冷机通过其蒸发器11与冷阱相连。
所述的制冷机10包括压缩机12及与之相连的蒸发器11、冷凝器13、低压表15、高压表16及高低压控制器17，蒸发器与冷凝器之间装有蓄液筒14、干燥过滤器18及膨胀阀19。
所述的蒸发器11设置于装在冷阱内的障板21内，它通过高、低压两条通道111、112与制冷机相连。
本实用新型改变了油扩散泵用冷阱的冷却方式。为冷阱配备专用制冷机，可使冷阱实现深度冷却，使冷却温度大大降低，从而可更有效地捕集油分子，防止返油，同时又比液氮作冷源操作简单可靠，并降低了成本。
图1是本实用新型结构示意图。
图2是蒸发器与障板连接结构示意图。
以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。
如
图1所示，本实用新型包括冷阱20、装在冷阱内的障板21及与冷阱相连的制冷机10。冷阱20装在扩散泵抽口处，冷阱内装有一排障板21，障板呈人字形，它固定于制冷机10的蒸发器11上，其间有一定的距离，保证其有大的通导能力。障板由导热性能好的紫铜材料制成。人字形障板使冷阱有良好的遮光性，保证油气分子在通过冷阱通道时，与本冷阱的障板表面至少有一次以上的碰撞，障板与蒸发管路必须保持良好接触，以保证两者之间的导热性良好。冷阱的冷源由制冷机10提供。制冷机可根据使用要求在-30℃～-140℃选择单级或多级复叠式制冷，本例中为单级蒸汽压缩式专用制冷机，它包括蒸发器11、压缩机12、冷凝器13、蓄液筒14、低压表15、高压表16、高低压控制器17、干燥过滤器18及膨胀阀19。蒸发器11设在冷阱内，它通过高、低压两条通道111、112与压缩机12相连。冷凝器13、低压表15、高压表16及高低压控制器17也与压缩机12相连。蒸发器与冷凝器之间装有蓄液筒14、干燥过滤器18及膨胀阀19。上述各部件之间之间用管道连接。本实用新型的制冷机与一般蒸汽压缩制冷机不同的地方在于，它的蒸发器设在冷阱内，由高低压两条通道与制冷机联接。其工作过程是这样的制冷工质经压缩机12压缩后，高温高压气体进入冷凝器13，散热冷凝为高压液态工质，高压液态工质经膨胀阀19通过外连管道进入冷阱内蒸发器11内蒸发吸热，并使联接在蒸发器上的障板表面冷却至-30℃～-140℃。当油分子或分子团与低温的障板表面接触(碰撞)，即被捕集。达到隔离油气分子进入工作空间的目的。-100℃以下的深冷机能有效地吸附水蒸汽，大大提高抽速。在蒸发器C内吸热蒸发后的气态工质再经外连管路进入制冷机，完成一制冷循环。
本实用新型的冷阱的一端连接扩散泵，另一端通向被抽空间，当扩散泵工作时，被抽气体经过冷阱被抽走。而扩散泵中向被抽空间返流的油气，由于其沸点较高，在与冷阱同障板表面接触(碰撞)时，被冷却至液态而附在障板表面(被捕集)。从而既让被抽气体畅通，又有效地隔离了油气的返流。
在安装前，制冷机10与冷阱20是两个独立的装置。在工作时它们之间用管路朕接成一个工作整体。
权利要求1.一种主要用于高真空领域，作为扩散泵的隔离返油装置的配有制冷机的冷阱，它包括冷阱(20)，其内装有一排障板(21)，冷阱的一端与扩散泵相连，另一端通向被抽空间，其特征在于，所述的冷阱(20)配有一个作为冷源的制冷机(10)，制冷机通过其蒸发器(11)与冷阱相连。
2.根据权利要求1所述的配有制冷机的冷阱，其特征在于所述的制冷机(10)包括压缩机(12)及与之相连的蒸发器(11)、冷凝器(13)、低压表(15)、高压表(16)及高低压控制器(17)，蒸发器与冷凝器之间装有蓄液筒(14)、干燥过滤器(18)及膨胀阀(19)。
3.根据权利要求1、2所述的配有制冷机的冷阱，其特征在于所述的蒸发器(11)设置于装在冷阱内的障板(21)内，它通过高、低压两条通道(111)、(112)与制冷机相连。
专利摘要本实用新型涉及一种油扩散泵用的配有制冷机的冷阱,它包括冷阱20,其内装有一排障板21,冷阱的一端与扩散泵相连,另一端通向被抽空间,其内配有一个作为冷源的制冷机10,制冷机通过其蒸发器11与冷阱相连。本实用新型可使冷阱实现深度冷却,使冷却温度大大降低,从而可更有效地捕集油分子,防止返油。
文档编号F04B37/08GK2363082SQ9821589
公开日2000年2月9日 申请日期1998年6月26日 优先权日1998年6月26日
发明者李贵和, 沈励, 朱黎明 申请人:深圳威士达真空系统工程有限公司