技术总结
一种高真空抽气系统，属于抽真空设备技术领域；包括第一机械泵、第二机械泵、第一阀门、分子泵、第二阀门、真空计、第三阀门、真空室、高压氮气源、充气阀、第四阀门、露点传感器、放气阀；在抽气前，向真空室充入高压氮气并维持一定的时间，从而减少真空室的材料放气，提高抽气系统的抽气效率；实现抽高真空的工作过程，本发明可广泛应用于抽真空设备技术领域。
技术研发人员：董栋;祁松松;李灿伦;吴世任;沈洁;景加荣
受保护的技术使用者：上海卫星装备研究所
文档号码：201611062331
技术研发日：2016.11.28
技术公布日：2017.05.31