一种多功能真空泵测试罩的制作方法

文档序号:21368567发布日期:2020-07-04 04:44阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多功能真空泵测试罩,其特征在于:包括外壳(14)、水冷管(18)、加热丝和反射罩(23),所述外壳(14)外侧设有水冷管(18),所述外壳(14)内部设有反射罩(23)和加热丝,所述外壳(14)一端设有可打开的第一密封盖(1),另一端闭合且设有待测泵口;所述外壳(14)上设有进气口(9)、测温口(7)、测压口(26)、piv观测口和多个抽气口,其中所述多个抽气口包括与主泵连接的主抽气口(15)和与粗抽泵连接的粗抽口(10)。

2.根据权利要求1所述的多功能真空泵测试罩,其特征在于:所述进气口(9)与一个进气管道(24)相连,且所述进气管道(24)置于所述外壳(14)内,所述进气管道(24)出气端折弯使管道出气口(241)位于外壳(14)的中轴线上,并且所述管道出气口(241)朝向与所述待测泵口相反一侧。

3.根据权利要求2所述的多功能真空泵测试罩,其特征在于:所述外壳(14)的内径为d,所述进气管道(24)口径为0.1d。

4.根据权利要求1所述的多功能真空泵测试罩,其特征在于:所述测温口(7)内设有测温热电偶,所述测压口(26)内设有真空计。

5.根据权利要求1或4所述的多功能真空泵测试罩,其特征在于:所述测压口(26)设于外壳(14)轴向方向距离闭合端0.5d位置处。

6.根据权利要求1所述的多功能真空泵测试罩,其特征在于:所述外壳(14)上设有两个piv观测口,且沿着所述外壳(14)轴向看去,第一piv观测口(6)和第二piv观测口(22)轴线呈90度,其中第一piv观测口(6)设于外壳(14)上侧,第二piv观测口(22)与进气口(9)相对分设于外壳(14)两侧。

7.根据权利要求1所述的多功能真空泵测试罩,其特征在于:所述加热丝包括中心加热丝(28)和外加热丝(25),所述中心加热丝(28)沿着外壳(14)中轴线设置且呈螺旋状,外加热丝(25)设于外壳(14)内壁上且设于反射罩(23)内侧,所述外加热丝(25)呈鼠笼状。

8.根据权利要求7所述的多功能真空泵测试罩,其特征在于:述外壳(14)内设有不同长度的陶瓷杆,其中中心加热丝(28)通过沿着外壳(14)径向设置的第一陶瓷杆(21)固定,外加热丝(25)和反射罩(23)通过第二陶瓷杆(27)固定于外壳(14)内壁上。

9.根据权利要求1所述的多功能真空泵测试罩,其特征在于:所述外壳(14)一侧设有可打开的第一密封盖(1),另一侧固设有第二密封盖(11),所述外壳(14)以及第一密封盖(1)和第二密封盖(11)上均设有水冷管(18),所述主抽气口(15)和粗抽口(10)均设于外壳(14)上且轴线位于同一平面,并且沿着所述外壳(14)轴向看去,所述主抽气口(15)和粗抽口(10)轴线呈90度。

10.根据权利要求1所述的多功能真空泵测试罩,其特征在于:所述外壳(14)一侧设有可打开的第一密封盖(1),另一侧设有带主抽气口(15)的法兰盘(29),所述外壳(14)上设有与不同粗抽泵相连的粗抽口(10)和侧抽气口(30),所述粗抽口(10)和侧抽气口(30)轴线处于同一平面,且沿着所述外壳(14)轴向看去,所述粗抽口(10)轴线与侧抽气口(30)轴线呈90。


技术总结
本发明涉及真空泵测试领域,具体地说是一种多功能真空泵测试罩,包括外壳、水冷管、加热丝和反射罩,所述外壳外侧设有水冷管,所述外壳内部设有反射罩和加热丝,所述外壳一端设有可打开的第一密封盖,另一端闭合且设有待测泵口;所述外壳上设有进气口、测温口、测压口、PIV观测口和多个抽气口,其中所述多个抽气口包括与主泵连接的主抽气口和与粗抽泵连接的粗抽口。本发明集加热、冷却、抽气、进气、测压、测温、PIV观察等一系列功能于一身,能够使真空泵测试罩内的气体环境满足要进行的真空泵性能测试的要求,同时其测试结果的稳定性和准确性也得到提高。

技术研发人员:刘坤;张朔熙;王光玉;孔祥玲;刘志东;迟小宇;谢元华;郝明;巴德纯
受保护的技术使用者:东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
技术研发日:2018.12.26
技术公布日:2020.07.03
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