无尘室风扇过滤系统的制作方法

1.本发明有关于风扇过滤系统，尤其是一种无尘室风扇过滤系统。


背景技术：

2.风扇过滤系统(ffu，fan filter unit)广泛地应用在半导体工艺的无尘室，用于过滤无尘室中的灰烬等污染物。一般ffu安装在室内的高处。ffu应用马达控制风扇，以驱动气流，再由风扇后端的过滤器达到洁净空气的目的。在使用上，操作者常需要改变马达的转数。传统上改变马达转速的方式，通过调速开关转动控制输入电压进而改变马达转速，此种方式的缺点在于操作者在操作风扇机组时难以得知目前的马达转速，因此也无法对风扇机组进行准确的控制。在系统上往往需要额外通过中控或联控系统链接风扇机组，才能由系统得知转速，此方式相当不便。再者当操作者单独操作风机时也不易由外部控制器得知目前马达转速。
3.再者由于风扇过滤系统的过滤器在长期使用后会造成阻塞而使得在过滤器的前端接近风扇叶片处的排气不顺畅，所以造成紊流；此种紊流会阻扰叶片的转动，使得该叶片的转动变慢，相对的使得该马达的转速及马达电流值变低。若未及时更换过滤器，风扇过滤系统则会持续操作在效率不佳的状态也较耗电，长久下来就必须将过滤器卸下重新清洁或更换过滤网。此项操作相当费时费力。
4.故本发明希望提出一种崭新的风扇过滤系统，以解决上述现有技术上的缺陷。


技术实现要素：

5.所以本发明的目的为解决上述现有技术上的问题，本发明中提出一种无尘室风扇过滤系统，可以快速且方便地操作马达的转速及使得系统更省电，并使得过滤器的使用效率更高、使用寿命更长。也可由操作者自由排定过滤器更换的优先级，更有故障及异常通报机制。应用本发明的方式，当马达的电流受到后端过滤器紊流阻力增加而下降，使得马达所驱动的风扇的出风减少时，本发明可应用自动或手动方式将马达的转速持续增加到不同的级数，使得该马达所驱动的风扇的出风速可以维持在固定范围，因此可以维持后端的过滤器一定的过滤功能。本发明的结构可更加准确地控制风扇机组的运作，并且也通过led灯体的显示可轻易得知马达转速。本发明提供一种简易且方便的改变马达转速的方式，可以维持后端风扇的出风速，而不需要通过额外的中控或联控系统即可得知转速，相对的操作者由于操作方便，所以可利用调整马达转速而提高过滤器的效率，因此可以拉长过滤器使用期限，中间不必清洗或更换。整体上节省人工及相对应的清理成本。
6.为达到上述目的本发明中提出一种无尘室风扇过滤系统，用于具有无尘室的生产工艺环境，可以过滤无尘室中的空气，达到更高的洁净度；该无尘室风扇过滤系统包含一马达风扇组，包含一马达；该马达连接一电源；一风扇连接该马达，由该马达驱动；其中当该风扇启动时用于将位于该风扇一端的过滤器的前方的空气扰动而通过该过滤器以过滤空气；一智能动力模块(ipm，intelligent power module)，包含一马达电流控制器，通过一电源控制器连接到该马达与该电源的连接线路之间；该马达电流控制器用于控制该电源控制器
而改变该电源输入该马达的电流值；一马达电流检测器，连接该电源控制器，用于读取该马达的马达电流值，以了解该马达的马达电流值变化情况；一马达速度控制器(motor mcu，motor micro control unit)连接该智能动力模块的该马达电流控制器；其中该马达速度控制器用于控制该马达电流控制器，进而改变该马达的转速并进行需要的转速调变；以及一马达转速控制钮组，包含多个按钮连接该马达速度控制器，该按钮用于控制该马达的转速，当该马达速度控制器接收到该按钮的信号时，即找出对应的转速而传送信号到该马达电流控制器，以控制该马达的转速；因此用户可通过按压该按钮而改变该马达的转速。
7.由下文的说明可更进一步了解本发明的特征及其优点，阅读时并请参考附图。
附图说明
8.下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
9.图1显示本发明的组件组合架构示意图。
10.图2显示马达电流值未经调整的变化示意图。
11.图3显示本发明中马达电流值经多次调整的变化示意图。
12.图4显示本发明的另一组件组合架构示意图。
13.附图标记说明1
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电源81
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马达电流检测器2
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电源控制器90
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马达速度自动调整单元5
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马达风扇组91
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重力传感器10
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马达92
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声音传感器11
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马达电流控制器100空气30
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过滤器500马达动力模块40
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马达速度控制器511第一按钮50
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马达转速控制钮组512第二按钮51
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按钮600电控模块60
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灯排组700中控端人机界面70
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风扇800电子信息装置80
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智能动力模块。
具体实施方式
14.现就本发明的结构组成，及所能产生的功效与优点，配合说明书附图，举本发明的一较佳实施例详细说明如下。
15.请参考图1至图4所示，显示本发明的无尘室风扇过滤系统，用于具有无尘室的生产工艺环境(如电子、半导体、晶圆、或者是家用或其他一般应用产品等工艺)，可以过滤无尘室中的空气，达到更高的洁净度，该无尘室风扇过滤系统包含下列组件：一马达风扇组5，包含：一马达10；该马达10为dc马达10，应用dc马达10可以使整个系统的功率较ac马达节省30%。该马达10连接一电源1。
16.一风扇70连接该马达10，由该马达10驱动。
17.其中当该风扇70启动时用于将位于该风扇70一端的过滤器30的前方的空气100扰动而通过该过滤器30以过滤空气。
18.上述的该马达风扇组5安装在一马达动力模块500中。
19.一智能动力模块(ipm，intelligent power module) 80，包含：一马达电流控制器11，通过一电源控制器2连接到该马达10与该电源1的连接线路之间。该马达电流控制器11用于控制该电源控制器2而改变该电源1输入该马达10的电流值。该马达电流控制器11控制该电源控制器2的可变电阻的电阻大小，而改变该电源1输入到该马达10的电流大小，因此控制该马达10的转速。
20.一马达电流检测器81，连接该电源控制器2，用于读取该马达10的马达电流值，以了解该马达10的马达电流值变化情况。
21.一马达速度控制器40(motor mcu，motor micro control unit)连接该智能动力模块80的该马达电流控制器11。其中该马达速度控制器40用于控制该马达电流控制器11，进而改变该马达10的转速并进行需要的转速调变。
22.一马达转速控制钮组50，包含多个按钮51连接该马达速度控制器40，该按钮51用于控制该马达10的转速，当该马达速度控制器40接收到该按钮51的信号时，即找出对应的转速而传送信号到该马达电流控制器11，以控制该马达10的转速。因此用户可通过按压该按钮51而改变该马达10的转速。本例中该多个按钮51包含一第一按钮511及一第二按钮512，该第一按钮511用于控制该马达10的启动及关闭；该第二按钮512则用于控制该马达10的转速，每次当该第二按钮512被按压时，该马达速度控制器40会依序找出不同级数的转速而指令该马达电流控制器11以控制该马达10切换到对应的转速，即通过该第二按钮512在每次被按压时将控制该马达10依序切换到不同级数的转速，达到多段式变速的目的。较佳的该马达速度控制器40内所设定的转速为五个不同的转速，因此可以通过该第二按钮512的连续按压而控制该马达10在此五个转速中切换。
23.上述的操作方式，使得操作者不必进入计算机，再执行许多相关指令，而且操作者也不必了解整个操作的作业环境。应用本发明的方式，即使操作者不了解马达速度控制器40的软件接口及相关的操作指令，也可以直接通过按压按钮51改变马达10的转速。
24.一灯排组60连接该马达速度控制器40，该灯排组60的灯号对应到上述的该马达转速控制钮组50。该灯排组60可以以灯号显示该马达10的转速。所以操作者可以直接目视灯号而知道该马达10的转速，而且也可以知道按压不同按钮51时，该马达10的转速变化情况。
25.其中该马达速度控制器40接收来自该智能动力模块80的马达电流值。如图4所示，该马达速度控制器40还包括一马达速度自动调整单元90连接该智能动力模块80，当该智能动力模块80所检测的该马达电流值下降时，该马达速度自动调整单元90可以依据该马达电流值所下降的值或比例，调整该马达10的电流，以使得该马达10的转速增加，以维持该风扇70的出风速于一定的范围之内，因此可以维持后端的过滤器30一定的过滤功能。
26.如图2所示，在操作时的第一段时间t1中随着过滤器30的紊流阻力增加，该马达10的马达电流值会下降，而使得该风扇70的出风减少。此时本发明中该马达速度自动调整单元90将该马达10的转速调整到第二级，如图3所示，该马达10的初始马达电流值a2会高于前一级的初始马达电流值a1。当上述紊流阻力仍随着时间再度增加(图3中的第二段时间t2)而使得该马达电流值再次下降时，该马达速度自动调整单元90会再将该马达10的转速调整至下一级，此一动作系可反复进行，直到调整到最高级转速为止。因此操作相当方便。使用者不用常常检测该过滤器30的过滤能力，仍可维持系统的运作。主要是由于检测该过滤器30的过滤能力的作业相当繁复，应用本发明的调整马达转速以维持风扇出风速的方式可以减少该过滤器30的检测次数，延长过滤器30的使用期间。
27.维持上述该风扇70的出风速的方式也可以应用手动方式操作该马达转速控制钮组50达成。
28.上述的该智能动力模块80、该电源控制器2、该马达速度控制器40、该灯排组60及该马达转速控制钮组50安装在一电控模块600中。
29.其中该马达速度控制器40可应用网络连接一中控端人机接口700，远程的操作者可通过该中控端人机界面700监控该马达风扇组5、该马达速度控制器40及该智能动力模块80的信息，并通过该中控端人机接口700控制该马达速度控制器40，以达到远程控制马达的目的。该中控端人机接口700也连接到远程的操作者的电子信息装置800，使远程的操作者在任何位置皆可通过该电子信息装置800进入该中控端人机接口700进行所需要的监控作业。
30.本发明还包括一重力传感器91连接该马达速度控制器40，系位于安装该马达10的该马达动力模块500处，该重力传感器91主要用于测量该马达10及该马达动力模块500的震动，并将测量的信号传送到该马达速度控制器40。
31.本发明还包括一声音传感器92连接该马达速度控制器40，位于安装该马达10的该马达动力模块500处，该声音传感器92主要是用于测量该马达10工作时的杂音，并将测量的信号传送到该马达速度控制器40判断是否异常。
32.本发明的优点为可以快速且方便地操作马达的转速及使得系统更省电，并使得过滤器的使用效率更高、使用寿命更长。也可由操作者自由排定过滤器更换的优先级，更有故障及异常通报机制。应用本发明的方式，当马达的电流受到后端过滤器紊流阻力增加而下降，使得马达所驱动的风扇的出风减少时，本发明可应用自动或手动方式将马达的转速持续增加到不同的级数，使得该马达所驱动的风扇的出风速可以维持在固定范围，因此可以维持后端的过滤器一定的过滤功能。本发明的结构可更加准确的控制风扇机组的运作，并且也通过led灯体的显示可轻易得知马达转速。本发明提供一种简易且方便的改变马达转速的方式，可以维持后端风扇的出风速，而不需要通过额外的中控或联控系统即可得知转速，相对的操作者由于操作方便，所以可利用调整马达转速而提高过滤器的效率，因此可以
拉长过滤器使用期限，中间不必清洗或更换。整体上节省人工及相对应的清理成本。
33.上列详细说明是针对本发明的一可行实施例的具体说明，但该实施例并非用以限制本发明的保护范围，凡未脱离本发明所为的等效实施或变更，均应包含于本发明的保护范围中。