一种真空泵系统的制作方法

1.本实用新型涉及真空泵技术领域，具体而言，涉及一种真空泵系统。


背景技术：

2.现有的真空泵系统中，通常采用水环式真空泵，环境温度对水环式真空泵抽气能力影响较大，低温时能够保证其抽气能力，高温时其抽气能力明显下降，且水环真空泵耗电率较高。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种真空泵系统，以解决现有技术中真空泵高温时抽气能力差、耗电率高的技术问题。
4.本实用新型提供一种真空泵系统，包括至少一个第一水环真空泵和至少一个罗茨水环真空泵组，所述第一水环真空泵与所述罗茨水环真空泵组并联连接；
5.所述罗茨水环真空泵组包括相串联的第二水环真空泵和罗茨真空泵。
6.进一步地，所述第二水环真空泵的功率小于所述第一水环真空泵的功率。
7.进一步地，所述罗茨水环真空泵组中，所述第二水环真空泵与所述罗茨真空泵之间连通有第一换热器。
8.进一步地，所述罗茨水环真空泵组中，所述罗茨真空泵的下游连通有汽水分离器。
9.进一步地，所述罗茨水环真空泵组中，所述罗茨真空泵的下游连通有第二换热器。
10.进一步地，所述罗茨水环真空泵组中，所述罗茨真空泵的下游连通有汽水分离器和第二换热器，所述第二换热器与所述汽水分离器串联设置。
11.进一步地，所述罗茨水环真空泵组中，位于所述罗茨真空泵的进气口端与所述罗茨真空泵通过法兰连接。
12.进一步地，所述第二水环真空泵和所述罗茨真空泵均通过法兰与所述第一换热器连接。
13.进一步地，所述第二水环真空泵、所述汽水分离器和所述第二换热器三者之间均通过法兰连接。
14.进一步地，所述第一水环真空泵有两个，且并联设置；所述罗茨水环真空泵组有一个，且与所述第一水环真空泵并联设置；
15.和/或，所述第一水环真空泵和所述罗茨水环真空泵组所在的管路均设置有开关阀，且均能够连通于凝汽器。
16.本实用新型所提供的真空泵系统，能够产生以下有益效果：
17.本实用新型所提供的真空泵系统中，第一水环真空泵并联有罗茨水环真空泵组，利用罗茨水环真空泵组来维持真空，与其并联的第一水环真空泵作为启动建立真空及备用。由于罗茨真空泵具有抽速快、启动快、耗损少、耐高温、机械摩擦小、运行成本低等优点，因此该真空泵系统受高温影响较小，且能够降低耗电率。
附图说明
18.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
19.图1为本实用新型实施例提供的真空泵系统的示意图；
20.图2为图1中真空泵系统中罗茨水环真空泵组的示意图。
21.附图标记说明：
22.100
‑
第一水环真空泵；
23.200
‑
罗茨水环真空泵组；
24.210
‑
第二水环真空泵；220
‑
罗茨真空泵；
25.230
‑
第一换热器；240
‑
汽水分离器；
26.241
‑
排气阀；242
‑
排水阀；243
‑
补水阀；
27.250
‑
第二换热器；251
‑
截止阀；
28.260
‑
进气口端；270
‑
法兰；
29.300
‑
凝汽器；
30.400
‑
开关阀。
具体实施方式
31.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施例做详细的说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
32.本实施例提供一种真空泵系统，如图1和图2所示，该真空泵系统包括至少一个第一水环真空泵100和至少一个罗茨水环真空泵组200，第一水环真空泵100与罗茨水环真空泵组200并联连接。
33.罗茨水环真空泵组200包括相串联的第二水环真空泵210和罗茨真空泵220。
34.本实施例所提供的真空泵系统中，第一水环真空泵100并联有罗茨水环真空泵组200，利用罗茨水环真空泵组200来维持真空，与其并联的第一水环真空泵100作为启动建立真空及备用。由于罗茨真空泵220具有抽速快、启动快、耗损少、耐高温、机械摩擦小、运行成本低等优点，因此该真空泵系统受高温影响较小，且能够降低耗电率。
35.本实施例中，第二水环真空泵210的功率小于第一水环真空泵100的功率。如此设置，第二水环真空泵210前串联一台罗茨真空泵220，罗茨真空泵220作为机械增压泵，第二水环真空泵210作为前级泵，保证甚至提升了第二水环真空泵210入口处的抽气能力，提高了第二水环真空泵210、甚至第一水环真空泵100的抗汽蚀能力，可保证整个水环真空泵系统高效稳定运行。另外，所抽气不凝结气体经罗茨真空泵220增压后，不凝结气体经一台小功率第二水环真空泵210排出。即罗茨真空泵220的抽气能力强，较小功率的罗茨真空泵220即可维持真空工作，节省了功耗，降低了成本。
36.本实施例中，如图2所示，罗茨水环真空泵组200中，第二水环真空泵210与罗茨真空泵220之间连通有第一换热器230。以对第二水环真空泵210与罗茨真空泵220之间管路流
通的流体进行降温，降低流通至第二水环真空泵210内流体的温度，进而保证第二水环真空泵210的工作环境温度，使其在正常的温度环境中工作，进而保证其抽气能力。
37.本实施例中，如图2所示，罗茨水环真空泵组200中，罗茨真空泵220的下游连通有汽水分离器240。汽水分离器240具有排气阀241、排水阀242和补水阀243，汽水分离器240可以将汽水分离，气体通过排气阀241排走，液体留在汽水分离器240中，如汽水分离器240中的液体较多，可通过排水阀242排走多于液体，如汽水分离器240中液体较少，则可通过补水阀243补充液体。
38.本实施例中，如图2所示，罗茨水环真空泵组200中，罗茨真空泵220的下游连通有第二换热器250。第二换热器250的设置，可以继续对第二水环真空泵210中流通的液体进行换热降温，进一步保证第二水环真空泵210的工作环境温度。
39.本实施例中，如图2所示，罗茨水环真空泵组200中，第二换热器250与汽水分离器240串联设置。
40.本实施例中，如图2所示，罗茨水环真空泵组200中，位于罗茨真空泵220的进气口端260与罗茨真空泵220通过法兰270连接。
41.本实施例中，如图2所示，罗茨水环真空泵组200中，第二水环真空泵210和罗茨真空泵220均通过法兰270与第一换热器230连接。
42.本实施例中，如图2所示，罗茨水环真空泵组200中，第二水环真空泵210、汽水分离器240和第二换热器250三者之间均通过法兰270连接。
43.本实施例中，通过设置法兰270连接相应零部件，连接方式具有简单、牢固、容易拆装和维护的优点。
44.本实施例中，如图2所示，罗茨水环真空泵组200中，第二换热器250与第二水环真空泵210之间设置有截止阀251，该截止阀251用来控制是否连通第二换热器250，当该第二水环真空泵210内液体温度较适宜，不影响其抽气能力时，可以将该截止阀251关闭，即无需第二换热器250对其进行换热降温，从而节省能源。当第二水环真空泵210内液体温度较高，已经影响了其抽气能力时，则打开该截止阀251，连通第二换热器250，以对第二水环真空泵210进行换热降温，使其保持良好的抽气能力。
45.本实施例中，如图1所示，整个真空泵系统中，第一水环真空泵100有两个，且并联设置；罗茨水环真空泵组200有一个，且与第一水环真空泵100并联设置；和/或，第一水环真空泵100和罗茨水环真空泵组200所在的管路均设置有开关阀400，且均能够连通于凝汽器300。
46.罗茨真空泵具有如下优点：
47.1)噪音低；
48.2)启动快，效率高、耗损少，抽速快、耐高温；较宽的压力范围内有较大的抽气速率。如同作用于前级泵上用于提高其高抽速和极限真空度的“加速器”；
49.3)转子无需润滑，泵腔内无油，可获得清洁真空；
50.4)对称且精密动平衡的转子运转平稳可靠，振动小，转子动平衡条件好；
51.5)泵腔内气体垂直流动，有利于被抽气体中的灰尘与冷凝物的排除；
52.6)机械摩擦损失小，驱动功率小；
53.7)结构紧凑，体积小占地面积小，安装方便；
54.8)运转维护费用低，寿命高；
55.9)可抽除可凝性气体；
56.10)驱动功率小、故障率低，油耗低。
57.本实用新型实施例正式利用了罗茨真空泵的上述优点，巧妙地将其设置于整个真空泵系统中，以整体优化真空泵系统。
58.总之，本实施例所提供的真空泵系统中，可以通过罗茨水环真空泵组来维持该真空泵系统的真空，第一水环真空泵作为启动建立真空及备用。保证了整个真空泵系统的抽气能力，并降低了耗损及耗电量，从而降低成本。此外，罗茨真空泵作为机械增压泵，第二水环真空泵作为前级泵，不仅保证甚至提升了第二水环真空泵入口处的抽气能力，而且提高了第二水环真空泵、甚至第一水环真空泵的抗汽蚀能力，可保证整个水环真空泵系统高效稳定运行。
59.最后，还需要说明的是，在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或者操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或者操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
60.对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。