波纹管泵的制作方法

1.本发明涉及波纹管泵。


背景技术：

2.通常，波纹管泵利用于半导体制造设备，例如，在半导体制造装置的ic或者液晶的表面清洗等各种处理中使用的药液循环输送等。
3.这种波纹管泵可包括：构成外形的主体；一对波纹管，设置在所述主体，加压并排放药液；移动轴，若通过供应压缩空气交替移动所述波纹管，则实现膨胀/收缩；压缩板，分别配置在所述一对波纹管。
4.此时，在所述主体的内部形成设置所述波纹管的一对泵室，为了封闭所述泵室，在主体的两侧分别紧固盖。所述盖通过螺纹结合组装在主体的两侧，与所述主体组装的前端圆周面可被压入并且组装于形成在主体两侧面的压入槽。
5.如此，在盖组装于主体之后使用的过程中，存在盖以拆卸方向旋转的问题。即，由于盖通过螺纹结合组装于主体，因此因为在波纹管泵的驱动中产生的振动等而以组装方向的反方向旋转，进而出现与主体的组装被拆卸或者松懈的问题。


技术实现要素：

6.技术问题
7.本发明提供一种具有可防止在波纹管泵的主体组装的盖以拆卸方向旋转的结构的波纹管泵。
8.技术方案
9.本发明的一实施例的波纹管泵使用于半导体工艺，包括：主体，在内部形成有抽吸并供应药液的一对泵室，并且具有压缩并供应流进所述泵室的药液的一对波纹管；盖，具有螺纹结合于所述主体两侧的螺纹结合部，并且堵住所述泵室的开放的部分以进行封闭；及控制主体，结合于组装所述盖的所述主体的一侧面，并且控制向所述主体内部供应压缩空气；配置在所述螺纹结合部前端的压入式肋条在组装过程中压入并结合于所述主体，将在压入的所述压入式肋条中向外侧凸出的部分面加工，以与所述主体的一侧面相对应，进而形成面加工部；所述控制主体的至少一部分可紧贴接触于所述面加工部。
10.在所述控制主体的两侧面可凸出配置与所述面加工部紧贴接触的止动件。
11.所述盖形成为圆筒形状，而所述主体的两侧面可形成与所述盖的直径相对应的大小。
12.在所述主体的两侧面沿着圆周方向形成压入所述压入式肋条的压入槽，在所述主体的两侧面中位于上端角落、下端角落及侧端角落的所述压入槽可向外侧开口。
13.将位于形成在所述侧端角落的压入槽的所述压入式肋条中向外侧凸出的部分面加工，可形成所述面加工部。
14.位于形成在所述上端角落及下端角落的压入槽的所述压入式肋条中，向外侧凸出
的部分可位于形成在所述主体的板压入槽上。
15.在所述控制主体的一侧面可具有锁定部，所述锁定部滑动结合于形成在所述主体的锁定槽。
16.在所述主体的上面及下面分别结合上部板及下部板，所述下部板在所述控制主体滑动结合于所述锁定槽之后可结合于所述主体的下面。
17.有益效果
18.本发明可防止在本发明的一实施例的波纹管泵的主体组装的盖以拆卸方向旋转。从而，在波纹管泵的驱动中也可保持坚固的组装状态，因此可提高产品的可靠性。
附图说明
19.图1是本发明的一实施例的波纹管泵的立体图。
20.图2是示出在本发明的一实施例的波纹管泵分离盖的立体图。
21.图3是示出在图1的波纹管泵分离控制主体的立体图。
22.图4是沿着图1的
ⅰ‑ⅰ
线的剖面图。
23.图5是沿着图1的
ⅱ‑ⅱ
线的剖面图。
24.(附图标记说明)
25.10：主体
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11：移动轴
26.12：锁定槽
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14：上部板
27.16：下部板
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18：主体螺纹结合部
28.20：第一泵室
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22：第二泵室
29.24：第一供应室
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26：第二供应室
30.28：止回阀
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30：第一波纹管
31.32：第二波纹管
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40：第一活塞
32.42：第二活塞
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44：第一活塞壳
33.46：第二活塞壳
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50：盖
34.51：螺纹结合部
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52：压入式肋条
35.54：压入槽
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56：板压入槽
36.60：面加工部
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70：控制主体
37.72：止动件
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74：锁定部
38.80：药液流进部
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82：药液排放部
具体实施方式
39.对于本发明可进行各种改变，并且可具有各种实施例，而且将特定实施例示例于附图并进行详细说明。然而，这并不是要将本发明限定于特定实施形态，而是应该理解为包括本发明的思想及技术范围内的所有改变、同等物乃至代替物。在本发明的说明中，若判断对于相关公知技术的具体说明可使本发明的要点不清楚的情况下，省略该详细说明。
40.第一、第二等的用语可用于说明各种构件，但是所述构成不限于所述用语。所述用语只以将一构件从另一构件区分的目的使用。
41.在本技术中使用的用语只是为了说明特定实施例而使用的，并没有要限定本发明
的意图。对于单数的表述，除非在文章有明确表述，否则包括复数的表述。在本技术中，对于“包括”或者“具有”等的用语应该理解为是要指定在说明书上记载的特征、数字、步骤、动作、构件、零部件或者这些的组合的存在，并不提前排除一个或者一个以上的其他特征或者数字、步骤、动作、构件、零部件或者这些的组合的存在或者附加可能性。
42.另外，在说明书全文中，说明“连接”时，这不只意味着两个以上的构件直接连接，还可意味着两个以上的构件通过其他构件间接连接、除了物理性连接的以外的电连接、或者根据位置或者功能使用不同名称但是形成一体的。
43.以下，参照附图，详细说明本发明的波纹管泵的一实施例，在参照附图进行说明时，对于相同或者相对应的构件赋予相同的附图标记，并且省略重复的说明。
44.图1是本发明的一实施例的波纹管泵的立体图；图2是示出在本发明的一实施例的波纹管泵分离盖的立体图；图3是示出在图1的波纹管泵分离控制主体的立体图；
45.图4是沿着图1的
ⅰ‑ⅰ
线的剖面图；图5是沿着图1的
ⅱ‑ⅱ
线的剖面图。
46.如图所示，本发明的一实施例的波纹管泵可包括：主体10，在内部形成抽吸并供应药液的一对泵室20、22，并且具有压缩并供应流进所述泵室20、22的药液的一对波纹管30、32；盖50，具有螺纹结合于所述主体10两侧的螺纹结合部51，并且堵住所述泵室20、22的开放的部分以进行封闭；及控制主体70，结合于组装所述盖50的所述主体10的一侧面，并且控制向所述主体10的内部供应压缩空气。
47.主体10形成波纹管泵的整体外观，大致形成直角六面体形状，并且一侧面可形成曲面。在主体10的内部形成第一泵室20、第二泵室22、第一供应室24及第二供应室26并且正交配置，以将药液的移动距离最小化。例如，如图4所示，泵室20、22配置在主体10的内部左侧及右侧；如图5所示，供应室24、26可与泵室20、22正交地配置在前方及后方。
48.参照图4，在第一泵室20及第二泵室22分别具有第一波纹管30及第二波纹管32。在第一波纹管30及第二波纹管32的前端具有第一压缩板34及第二压缩板36，以加压并送出流进泵室20、22的药液。然后，第一波纹管30及第二波纹管32的后端固定在盖50。
49.重新参照图1至图3，在主体10的一侧面形成锁定槽12。锁定槽12作为滑动结合以下待说明的控制主体70的锁定部74的部分，从主体10的一侧面下端向上方延伸预定高度而成。
50.在主体10的上面及下面分别结合上部板14及下部板16。在本实施例中，下部板16在控制主体70结合于主体10的一侧面的状态下结合于主体10的下面，进而除了主体10的下面以外，还覆盖控制主体70的下面，因此可坚固的保持控制主体70的结合。
51.另一方面，在主体10的两侧分别结合堵塞并封闭泵室20、22的开放的部分的盖50。盖50中与主体10相互面对的面凹陷以形成预定的空间，并且盖50大致形成为圆筒形状。在本实施例中，盖50具有螺纹结合部51，所述螺纹结合部51用于螺纹结合于主体10两侧的前端部。螺纹结合部51与配置在主体10的两侧外周面的主体螺纹结合部18螺纹结合。
52.然后，在螺纹结合部51的前端具有压入式肋条52，所述压入式肋条52在螺纹结合盖50时压入并结合于主体10。压入式肋条52插入的同时压入沿着圆周方向形成在主体10两侧的环形状的压入槽54(参照图2)。即，主体10和盖50基本上是通过螺纹结合部51螺纹结合于主体螺纹结合部18来相互结合，而且压入式肋条52压入并结合于压入槽54，进而可使盖50的结合更加坚固。
53.在本实施例中，主体10的两侧面与形成为圆筒形状的盖50的直径相对应，因此在主体10的两侧面中在上端角落、下端角落及侧端角落形成的压入槽54向外侧开口。在图1中，主体10的两侧面中左侧端形成为曲面，因此虽然压入槽54未向外侧开口，但是形成在剩余三个角落的压入槽54可向外侧开口。
54.此时，将在位于形成在侧端角落的压入槽54的压入式肋条52中向外侧凸出的部分面加工。由于压入槽54是加工主体10的两侧面中的角落而成的，因此向外侧开口，在压入式肋条52压入的过程中可向开口的方向凸出。由于压入式肋条52是用合成树脂制成的，因此在加压于压入槽54的过程中可向外侧凸出并变形一部分。
55.在压入式肋条52中，如上所述，面加工从在侧端角落形成的压入槽54凸出的部分，位于上端角落及下端角落的压入式肋条52的凸出的部分可位于形成在主体10的板压入槽56。虽未在本附图中具体示出压入式肋条52的凸出的部分，但是在压入槽54凸出的部分可位于与压入槽54相对应形成的板压入槽56上。
56.如图3所示，压入式肋条52从螺纹结合部51的前端延伸，以具有比螺纹结合部51的厚度更薄的厚度。
57.另一方面，在盖50螺纹结合于主体10之后因为在波纹管泵的驱动中产生的振动等而以组装方向的反方向旋转，进而可拆卸或者松懈与主体10的组装。将压入式肋条52中向外侧凸出的部分面加工，以使压入式肋条52与主体10的一侧面相对应，进而如图3形成了面加工部60。
58.如上所述，压入式肋条52在结合盖50的过程中是被压入的部分，而且盖50通常用合成树脂材料制成，因此在压入过程中压入式肋条52可向外侧凸出，即比主体10的一侧面更加凸出。若面加工如此凸出的压入式肋条52，以与主体10的一侧面一致，则可如图3平滑形成，以与主体10的一侧面具有同一平面。
59.若在该状态下控制主体70结合于主体10的一侧面，则控制主体70的至少一部分可紧贴接触于面加工部60。在图1示出了在控制主体70的两侧面凸出配置的止动件72紧贴接触于面加工部60，但是不限于此，而是使控制主体70的至少一部分紧贴接触于面加工部60即可。例如，若控制主体70的两侧面比图1更加向两侧延伸凸出，则自然可与面加工部60紧贴接触。
60.如上所述，若控制主体70的至少一部分紧贴接触于面加工部60，则限制螺纹结合于主体10的盖50以组装方向的反方向旋转，因此可从根本上防止盖50的组装被拆卸或者松懈。即，在本实施例中，适当面加工在盖50通过压入向外侧凸出的压入式肋条52，利用与结合控制主体70的面之间的接触，防止盖50以拆卸组装的方向旋转。
61.参照图4及图5，在主体10的内部移动轴11设置在中心。移动轴11以主体10的左右方向往返移动，两侧端部延伸至泵室20、22与各个波纹管30、32连接。
62.第一活塞40及第二活塞42分别组装于第一活塞壳44及第二活塞壳46。第一活塞壳44及第二活塞壳46位于第一波纹管30及第二波纹管32内侧，分别由头部和身体部构成。对于活塞40、42，若注入压缩空气，则移动活塞壳44、46，以辅助波纹管30、32交替收缩/膨胀。
63.另一方面，止回阀28设置在供应室24、26的同时位于供应室24、26上部及下部以交替做动作，同时阻止或者开放药液移动，以使药液交替供应于泵室20、22，并且可排放波纹管30、32抽吸的药液。
64.在主体10的一侧面下部具有向供应室24、26流进药液的药液流进部80，在上面具有与泵室20、22连接的药液排放部82。
65.以上，参照特定的实施例说明了本发明的特征，在该技术领域中具有普通知识的人员可理解为在不超出在权利要求书的范围记载的本发明的思想及领域的范围内可对本发明的进行各种修改和更改。