一种针对电子厂房初期运行负荷低时防止离心式冷冻机喘振的系统的制作方法

1.本实用新型涉及电子厂房实施相关领域，具体来讲是一种针对电子厂房初期运行负荷低时防止离心式冷冻机喘振的系统。


背景技术：

2.随着智能手机、平板电脑等触摸屏技术为主导的电子显示产品的快速发展以及芯片为核心的国家高端制造战略布局，国内大批的电子企业正在进行快速扩张建厂。电子厂房中冷负荷作为一种主要能源，占工厂年运行费用的比例最高，生产区mau除湿盘管、办公区一般空调、动力站的一般空调、生产区mau的预冷盘管、洁净室干盘管﹑支持区空调、工艺冷却水热交换器、空压机后冷却器﹑工艺真空泵﹑超纯水（upw）等均需要冷负荷的消耗，所以结合电子厂房的特点形成了以低温冷冻水、中温冷冻水为结合的冷负荷供应方式。在受到电子类厂房体量庞大、新工艺知识局限、生产产能规划与订单的匹配性、厂务管理模式及经验、重视程度等原因很多项目出现了工艺设备重要节点“点灯”后，fab厂房同时需要低温冷冻水及中温冷冻水，但因为“点灯”后工艺产能还不是设计之初的阶段及满产产能，所以工艺排风、工艺发热的需求就不大，这样出现低温、中温冷冻水的需求远远小于设计需求，因为一般电子厂房的fab规模比较大，考虑到未来投资成本及运行成本，多采用离心式冷水机组，当负荷小于1台离心式冷水机组15%的时候，离心机出现喘振，低、中温冷冻水水温也得不到控制。随着电子行业对于冷源设备稳定性及冷冻水水温波动的认识，大家越来越重视“点灯”期的冷负荷供应稳定性方案，以便保证电子厂房运营的需要；同时随着各类电子厂房投运后生产工艺的反馈，解决初期阶段离心式冷水机组的喘振及低温、中温冷冻水温度的波动对于电子行业越来越重要。
3.因此开发一种解决电子厂房工艺点灯初期，所需冷负荷比较低，通过低温离心式冷水机组提供两种不同水温，防止低温、中温离心式冷水机组喘振并稳定低温、中温冷冻水水温的设计方法已成为工程中迫切需要解决的问题。


技术实现要素：

4.因此，为了解决上述不足，本实用新型在此提供一种针对电子厂房初期运行负荷低时防止离心式冷冻机喘振的系统，解决电子厂房点灯初期，所需冷负荷低，通过低温离心式冷水机组提供两种不同水温，防止低温、中温离心式冷水机组喘振并稳定低温、中温冷冻水水温的设计方法；考虑低温、中温冷冻机运行负荷低的时候将两个系统的负荷均转移到低温系统中，在由低温系统通过热交换器换热后提供中温负荷的方法；从而实现工厂投入初期系统内离心式冷水机组不喘振及稳定低温、中温冷冻水供水水温。本设计方法具有施工简单、造价合理、占地小、能有效提升离心式冷水机组运行稳定性、节能性及供水水温稳定性的特性，从而防止低温、中温离心式冷水机组喘振并稳定低温、中温冷冻水供水水温，保证电子工厂生产工艺对于冷负荷的需求。
5.本实用新型是这样实现的，构造一种针对电子厂房初期运行负荷低时防止离心式冷冻机喘振的系统，其特征在于：具有低温冷冻机、低温冷冻水泵、冷却水泵a、中温冷冻机、中温冷冻水泵、冷却水泵b及板式换热器；其中，低温冷冻机、低温冷冻水泵、冷却水泵a连接形成一条支路，中温冷冻机、中温冷冻水泵、冷却水泵b连接形成一条支路，两条支路通过板式换热器连通。
6.本实用新型具有如下优点：本实用新型在此公开了一种针对电子厂房初期运行负荷低时防止离心式冷冻机喘振的系统；该设计方法是考虑在工厂投入初期阶段将中温冷冻水负荷由低温离心冷水机组负担并通过板换换热的方式达到可以同时提供低温冷冻水和中温冷冻水的目的。本实用新型具有施工简单、造价合理、占地小、能有效提升离心式冷水机组运行稳定性、节能性及供水水温稳定性的特性，从而防止低温、中温离心式冷水机组喘振并稳定低温、中温冷冻水供水水温，保证电子工厂生产工艺对于冷负荷的需求。
附图说明
7.图1是本实用新型对应的实施系统框架示意图。
8.其中：低温冷冻机1、低温冷冻水泵2、冷却水泵a3、中温冷冻机4、中温冷冻水泵5、冷却水泵b6及板式换热器7。
具体实施方式
9.下面将结合附图1对本实用新型进行详细说明，同时对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
10.本实用新型在此提供一种针对电子厂房初期运行负荷低时防止离心式冷冻机喘振的系统，其特征在于：具有低温冷冻机1、低温冷冻水泵2、冷却水泵a3、中温冷冻机4、中温冷冻水泵5、冷却水泵b6及板式换热器7；其中，低温冷冻机1、低温冷冻水泵2、冷却水泵a3连接形成一条支路，中温冷冻机4、中温冷冻水泵5、冷却水泵b6连接形成一条支路，两条支路通过板式换热器7连通。
11.解决电子厂房点灯初期，所需冷负荷低，通过低温离心式冷水机组提供两种不同水温，防止低温、中温离心式冷水机组喘振并稳定低温、中温冷冻水水温的设计方法，如图1所示，当电子厂房点灯初期阶段将中温冷冻机4关闭，开启低温冷冻机1、低温冷冻水泵2、中温冷冻水泵5及板式换热器7，分别供应低温及中温冷冻水；随着生产订单的稳定待生产工艺负荷上升后关闭板式换热器7，开启低温冷冻机1、低温冷冻水泵2、中温冷冻机4中温冷冻水泵5，分别供应低温及中温冷冻水。
12.本实用新型通过改进在此提供一种电子厂房低、中温冷冻水供应系统设备设置的形式，如图1所示， 具体是提供一种解决电子厂房点灯初期，所需冷负荷低，通过低温离心式冷水机组提供两种不同水温，防止低温、中温离心式冷水机组喘振并稳定低温、中温冷冻水水温设计方法；可以按照如下方式予以实施：当初期生产负荷时，在低温冷冻水系统和中温冷冻水系统之间设置中间板换，将中温冷冻水负荷由低温离心冷水机组负担并通过板换换热的方式达到可以同时提供低温冷冻水和中温冷冻水的目的；当生产负荷提升后，在综
合考虑机组稳定性和节能性的情况下，关闭板换与低、中温之间的阀门，分别运行低、中温离心式冷冻机，满足同时提供低温冷冻水和中温冷冻水的目的。
13.本实用新型适用于电子厂房初期投运的冷负荷供应系统方案技术领域，具体来讲涉及到电子厂房冷冻水供应系统中解决电子厂房初期运行状态，冷负荷低，防止发生的离心式冷冻机在部分负荷时喘振、冷冻水供水水温上下波动的方法，即一种针对电子厂房初期运行负荷低时防止离心式冷冻机喘振的设计方法。
14.本实用新型改进之后，在低温冷冻水系统和中温冷冻水系统之间设置中间板换，将中温冷冻水负荷由低温离心冷水机组负担并通过板换换热的方式达到可以同时提供低温冷冻水和中温冷冻水的目的；使其成为一种既能有效提升离心式冷水机组运行稳定性及节能性又能提升冷冻水供水水温稳定性的的低、中温冷冻水供应体系。
15.本实用新型具有如下优点：该设计方法是考虑在工厂投入初期阶段将中温冷冻水负荷由低温离心冷水机组负担并通过板换换热的方式达到可以同时提供低温冷冻水和中温冷冻水的目的，本实用新型具有施工简单、造价合理、占地小、能有效提升离心式冷水机组运行稳定性、节能型及供水水温稳定性的特性，从而防止低温、中温离心式冷水机组喘振并稳定低温、中温冷冻水供水水温，保证电子工厂生产工艺对于冷负荷的需求。
16.在液晶面板、半导体等电子工厂的冷冻水应用中，考虑到系统综合节能性，所以会考虑设置两种水温的冷冻水供应系统；低温冷冻机1供回水温为7
‑
14℃，通过低温冷冻水泵2给生产区mau除湿盘管，部分支持区、办公区、动力站的一般空调冷却盘管等提供冷负荷；中温冷冻机4供回水温为14
‑
21℃，通过中温冷冻水泵5给生产区mau的预冷盘管、洁净室干盘管﹑支持区空调、工艺冷却水热交换器、空压机后冷却器﹑工艺真空泵﹑超纯水（upw）等提供冷负荷；当电子厂房点灯初期阶段将中温冷冻机4关闭，开启低温冷冻机1、低温冷冻水泵2、中温冷冻水泵5及板式换热器7，分别供应低温及中温冷冻水；随着生产订单的稳定待生产工艺负荷上升后关闭板式换热器7，开启低温冷冻机1、低温冷冻水泵2、中温冷冻机4中温冷冻水泵5，分别供应低温及中温冷冻水。该设计方法是在生产初期工艺产能低，特别是工艺排风没有开启的情况下，低温、中温冷冻机运行负荷低时将两个系统的负荷均转移到低温系统中，在由低温系统通过热交换器换热后提供中温负荷的方法。本实用新型具有施工简单、造价合理、系统节能、提高系统运行和水温稳定性的特性，从而能够在低负荷条件下满足冷冻机的运行需要，防止冷冻机出现喘振的现象，保证低温及中温冷冻水水温稳定的要求。本专利中的设计方法，不仅考虑到未来的系统节能性的需要，而且可以保证系统初期的运行需要，最重要可以在系统运行初期稳定的提供两种不同水温冷冻水并消除了冷冻机的喘振问题。
17.对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。